一种单晶炉用加料器连接装置的制作方法

文档序号:33061240发布日期:2023-01-25 01:20阅读:128来源:国知局
一种单晶炉用加料器连接装置的制作方法

1.本实用新型属于单晶硅制备领域,具体涉及一种单晶炉用加料器连接装置。


背景技术:

2.单晶硅制备中,二次加料工艺已在行业内广泛应用,该工艺的执行需配合二次加料器方可实现,现有加料器与单晶炉重锤多采用金属挂钩形式连接。然而,目前此种连接方式存在如下问题:(1)安装及拆除较为繁琐;(2)使用螺丝固定存在金属磨损粉末掉落风险,挂钩小部件较多长时间使用易掉落导致金属污染。


技术实现要素:

3.实用新型目的:本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种能够有效避免金属污染的加料器连接装置,以提高劳动效率,降低使用风险。
4.为了实现上述目的,本实用新型采取的技术方案如下:
5.一种单晶炉用加料器连接装置,包括连接头和转接杆;所述转接杆包括连接杆,以及位于连接杆端部的卡接头;所述连接头内,设有用于容纳所述转接杆的卡接空腔,顶部留有用于连接单晶炉重锤的安装槽;所述转接杆的卡接头卡接在连接头的卡接空腔内,连接杆从连接头的底部贯穿出来,并用于连接加料器连接杆。
6.进一步地,所述连接头的侧面,开有用于所述转接杆插接至卡接空腔内的插接通槽。
7.更进一步地,所述连接头的侧面,设有用于覆盖住所述插接通槽的防脱环;所述防脱环套设在连接头的侧壁外部。
8.更进一步地,所述连接头的外壁底部环向设有用于承托所述防脱环的环向凸台。
9.作为选择地,所述防脱环与连接头外壁之间,通过内外螺纹连接方式套接。
10.具体地,所述安装槽内壁设有内螺纹,所述单晶炉重锤通过内外螺纹配合安装在安装槽内。
11.具体地,所述连接杆远离卡接头的另一端为空心杆,内部设有内螺纹,所述连接加料器连接杆通过内外螺纹连接方式与连接杆连接固定。
12.进一步地,所述卡接空腔与上方的安装槽相互连通。
13.更进一步地,所述连接头的侧壁上,对应卡接空腔位置贯穿开设有排气通孔。
14.优选地,所述卡接空腔的截面为t形。
15.有益效果:
16.本实用新型加料器连接装置采用组合体安装结构,提高了安装的便捷性;各部件之间形成组合体结构,避免使用小部件,同时组合体之间采用t型开孔结合沉孔进行连接避免了使用螺纹结构金属粉末的掉落风险。此外,采用卡接形式结合防脱环结构设计,双重防护保证该连接装置的使用安全性。
附图说明
17.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明,本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
18.图1该装置的连接原理示意图。
19.图2是该装置的连接头结构示意图。
20.图3是该装置的转接杆结构示意图。
21.图4是该装置的防脱环结构示意图。
22.图5是该装置的立体结构示意图。
23.图6是该装置的使用原理三维图。
24.图7是单晶炉重锤与石墨夹头连接方式图。
25.其中,各附图标记分别代表:
26.1连接头;11卡接空腔;12安装槽;13插接通槽;14环向凸台;15排气通孔;2 转接杆;21连接杆;22卡接头;3单晶炉重锤;4加料器连接杆;5防脱环。
具体实施方式
27.根据下述实施例,可以更好地理解本实用新型。
28.说明书附图所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。
29.如图1和图5所示,该单晶炉用加料器连接装置包括连接头1和转接杆2;所述转接杆2包括连接杆21,以及位于连接杆21端部的卡接头22;所述连接头1内,设有用于容纳所述转接杆2的卡接空腔11,顶部留有用于连接单晶炉重锤3的安装槽12;所述转接杆2的卡接头22卡接在连接头1的卡接空腔11内,连接杆21从连接头1的底部贯穿出来,并用于连接加料器连接杆4。卡接空腔11的截面为t形,顶部用于卡接住卡接头22,下方用于导出连接杆21。
30.单晶炉重锤3为单晶炉配件,其上部与单晶炉籽晶绳100相连接,下部与石墨夹头200及籽晶300相连接。直径通常在50-100mm,长度200-500mm(见附图7)。主要作用为保持上述部件(籽晶绳、石墨夹头及籽晶)拉晶时平稳运行,避免摆动、划弧异常。其次单晶炉重锤可用于进行二次加料时与加料器的相关部件进行连接,需将下部石墨夹头200及籽晶300取下即可漏出下部螺纹端,与本连接装置进行连接。
31.如图2所示,连接头1的侧面,开有用于所述转接杆2插接至卡接空腔11内的插接通槽13。进一步地,如图4和图5所示,连接头1的侧面,设有用于覆盖住所述插接通槽13的防脱环5;防脱环5套设在连接头1的侧壁外部。连接头1的外壁底部环向设有用于承托所述防脱环5的环向凸台14。防脱环5与连接头1外壁之间,可以通过内外螺纹连接方式套接,也可以就光滑的套接在连接头1上,通过环向凸台14承托住。
32.连接头1的安装槽12内壁设有内螺纹,所述单晶炉重锤3通过内外螺纹配合安装在
安装槽12内。
33.如图3所示,连接杆21远离卡接头22的另一端为空心杆,内部设有内螺纹,所述连接加料器连接杆4通过内外螺纹连接方式与连接杆21连接固定。
34.卡接空腔11与上方的安装槽12相互连通。连接头1的侧壁上,对应卡接空腔11 位置贯穿开设有排气通孔15。
35.如图6所示,使用时,先将转接杆2的连接杆21与加料器连接杆4通过螺纹连接固定好。将防脱环5自连接头1顶部套入连接头1,自然下降至环向凸台14处。然后,将防脱环5提升至插接通槽13完全露出,将转接杆2自插接通槽13卡入卡接空腔11 内,自然下降卡入连接头1内部沉孔,放下防脱环5封闭插接通槽13。二次加料过程中,只需要再将上述组装好的组合体,通过安装槽12与单晶炉重锤3相连接即可。
36.该装置可避免金属污染,各部件之间形成组合体结构,避免使用小部件易磨损掉落的风险,同时组合体之间采用卡接形式进行连接避免了螺纹结构金属粉末的掉落风险。同时,该装置使用安全性高,连接头1采用t型开孔结合内部沉孔结构,可保证转接杆2卡入后卡紧牢固不易脱落。同时插接通槽13外采用环形防脱环5封闭,该防脱环为环形结构受到自身重力的影响紧密贴合插接通槽13,可有效避免转接杆2脱出。双安全结构的设计可充分保证该连接装置的使用安全性。
37.本实用新型提供了一种单晶炉用加料器连接装置的思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
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