基板切断控制系统、基板切断控制方法、程序以及基板切断系统与流程

本发明涉及一种基板切断控制系统、基板切断控制方法、程序以及基板切断系统，其中，该基板切断控制系统对在基板上形成划线痕的划线装置、和使基板沿划线痕断开的断开装置进行控制，该基板切断控制方法对这些装置进行控制，该程序使计算机执行基板切断控制方法，该基板切断系统具备划线装置、断开装置、以及上述的基板切断控制系统。

背景技术：

1、作为对玻璃等平面状的基板进行切断而生成基板小片的方法，公知有如下方法：在基板上形成沿加工线的划线痕，并使形成了划线痕的基板断开(切断)而生成基板小片。为了实现该基板切断方法，公知有一种系统，其具备在基板上形成划线痕的划线装置、以及使基板沿划线痕断开的断开装置。已知，在该系统中，对表示划线装置及断开装置的状态的数据进行收集并监控(例如，参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2020-80177号公报

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、在以往的系统中，当通过监控装置状态而识别为基板小片的生成状态不适当时，需要使该系统停止，由用户对装置的参数等进行调整。因此，在以往的系统中，难以提高基板小片的生成效率。另外，由于从识别出基板小片的生成状态不适当到使系统停止需要时间，因此也有可能在系统停止之前的期间生成大量的生成状态不适当的基板小片。此外，在对装置的参数等进行调整时，需要基于感觉和经验的熟练的技术，因此能够对装置的参数等适当地进行调整的用户也有限。

3、本发明的目的在于，在具备划线装置和断开装置的系统中，不使该系统停止，不需要熟练的技术，适当地调整上述装置的控制参数。

4、(二)技术方案

5、下面作为用于解决问题的手段而说明多个方式。这些方式能够根据需要任意组合。

6、本发明一方式的基板切断控制系统控制：在基板上形成划线痕的划线装置、使基板沿划线痕断开的断开装置。基板切断控制系统具备：状态数据收集装置、品质数据收集装置、参数计算装置。

7、状态数据收集装置收集：表示在基板上形成划线痕时的划线装置的状态的第一状态数据、表示使基板断开时的断开装置的状态的第二状态数据。

8、品质数据收集装置收集：表示通过使基板断开而切出的基板小片的品质的品质数据。

9、参数计算装置基于第一状态数据、第二状态数据、品质数据来计算：在基板上形成划线痕时的划线装置的第一控制参数、使基板断开时的断开装置的第二控制参数。

10、在上述的基板切断控制系统中，参数计算装置基于表示划线装置的状态的第一状态数据、表示断开装置的状态的第二状态数据、表示切断基板而生成的基板小片的品质的品质数据，自动地计算划线装置、断开装置的控制参数。因此，上述的基板切断控制系统不使划线装置及断开装置停止，不需要熟练的技术，能够适当地调整划线装置及断开装置的控制参数。其结果为，能够抑制：基板小片的生成效率因控制参数的调整而降低；大量生成不适当的切断状态的基板小片。

11、在上述的基板切断控制系统中，可以是，第一状态数据包含如下的至少一种，即：与在划线装置中产生的振动相关的数据、与划线装置按压基板的量相关的数据、与划线装置对基板施加的力的变动相关的数据。上述的数据是能够对划线痕的形成状态产生影响的数据，因此通过使第一状态数据为上述的数据，从而能够适当地监控基板小片的切断状态。

12、在上述的基板切断控制系统中，可以是，第二状态数据包含如下的至少一种，即：与使基板断开时产生的声音相关的数据、与断开装置按压基板的量相关的数据、与断开装置按压基板的力相关的数据。上述的数据是能够对基板的断开状态产生影响的数据，因此通过使第二状态数据为上述的数据，从而能够适当地监控基板小片的切断状态。

13、在上述的基板切断控制系统中，可以是，第一控制参数包含如下的至少一种，即：划线装置对基板施加的力、划线装置相对于基板的扫描速度、划线装置相对于基板的加减速度。上述的参数与在基板上形成划线痕的条件相关，因此通过使第一控制参数为上述的参数，从而能够以使得基板小片的切断状态适当的方式使划线装置动作。

14、在上述的基板切断控制系统中，可以是，第二控制参数包含如下的至少一种，即：断开装置对基板施加的力、使基板断开的顺序。上述的参数与使基板断开的条件相关，因此通过使第二控制参数为上述的参数，从而能够以使得基板小片的切断状态适当的方式使断开装置动作。

15、本发明另一方式的基板切断控制方法控制：在基板上形成划线痕的划线装置、使基板沿划线痕断开的断开装置。基板切断控制方法具备以下的步骤。

16、◎收集：表示在基板上形成划线痕时的划线装置的状态的第一状态数据、表示使基板断开时的断开装置的状态的第二状态数据。

17、◎收集：表示通过使基板断开而切出的基板小片的品质的品质数据。

18、◎基于第一状态数据、第二状态数据、品质数据来计算：在基板上形成划线痕时的划线装置的控制参数、使基板断开时的断开装置的控制参数。

19、在上述的基板切断控制方法中，基于表示划线装置的状态的第一状态数据、表示断开装置的状态的第二状态数据、表示切断基板而生成的基板小片的品质的品质数据，自动地计算划线装置、断开装置的控制参数。因此，上述的基板切断控制方法不使划线装置及断开装置停止，不需要熟练的技术，能够适当地调整划线装置及断开装置的控制参数。其结果为，能够抑制：基板小片的生成效率因控制参数的调整而降低；大量生成不适当的切断状态的基板小片。

20、本发明此外另一方式的基板切断系统具备：划线装置、断开装置、基板切断控制系统。划线装置在基板上形成划线痕。断开装置使基板沿划线痕断开。基板切断控制系统对划线装置、断开装置进行控制。

21、基板切断控制系统具有：状态数据收集装置、品质数据收集装置、参数计算装置。状态数据收集装置收集：表示在基板上形成划线痕时的划线装置的状态的第一状态数据、表示使基板断开时的断开装置的状态的第二状态数据。品质数据收集装置收集：表示通过使基板断开而切出的基板小片的品质的品质数据。参数计算装置基于第一状态数据、第二状态数据、品质数据来计算：在基板上形成划线痕时的划线装置的第一控制参数、使基板断开时的断开装置的第二控制参数。

22、在上述的基板切断系统中，参数计算装置基于表示划线装置的状态的第一状态数据、表示断开装置的状态的第二状态数据、表示切断基板而生成的基板小片的品质的品质数据，自动地计算划线装置、断开装置的控制参数。因此，上述的基板控制系统不使划线装置及断开装置停止，不需要熟练的技术，能够适当地调整划线装置及断开装置的控制参数。其结果为，能够抑制：基板小片的生成效率因控制参数的调整而降低；大量生成不适当的切断状态的基板小片。

23、(三)有益效果

24、不使划线装置和断开装置停止，不需要熟练的技术，能够适当地调整上述装置的控制参数。其结果为，能够抑制：基板小片的生成效率因控制参数的调整而降低；大量生成不适当的切断状态的基板小片。