一种硅酸铋晶体压电切型及其应用

文档序号:37274258发布日期:2024-03-12 21:06阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,所述硅酸铋晶体的化学式为bi12sio20,结晶于立方晶系,物理坐标轴x、y和z轴分别平行于晶体学坐标轴a、b和c轴,物理学坐标轴x、y和z轴相互垂直并遵循右手螺旋法则;晶片样品的厚度、长度和宽度方向分别记为t、l和w;所述压电切型选自以下任一种:

2.如权利要求1所述的硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,所述选项(a)中,α=45°,β=55°,纵向伸缩振动模式d11=27.3pc/n。

3.如权利要求1所述的硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,所述选项(b)中,β=45°,γ=55°,纵向伸缩振动模式d22=27.3pc/n。

4.如权利要求1所述的硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,所述选项(c)中,γ=45°,厚度切变振动模式d15=47.2pc/n。

5.如权利要求1所述的硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,所述选项(d)中,β=45°,厚度切变振动模式d34=47.2pc/n。

6.如权利要求1所述的硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,将所述(xytl)α/β切型或(yztl)β/γ切型加工成圆环形晶片。

7.如权利要求1所述的硅酸铋晶体压电切型,其特征在于,将所述(xzl)γ切型或(zyl)β切型加工成方片异形状晶片,所述方片异形状为中间具有圆孔的方片。

8.如权利要求1~7任一项所述的硅酸铋晶体压电切型的应用,其特征在于,所述应用为将所述硅酸铋晶体压电切型应用于高温压电振动传感领域。

9.如权利要求8所述的应用,其特征在于,所述应用为将所述硅酸铋晶体压电切型用于压缩式或剪切式高温压电振动加速度计元器件中。

10.如权利要求9所述的应用,其特征在于,所述压缩式或剪切式高温压电振动加速度计元器件在25~650℃温度范围内的输出灵敏度变化率为5~8%。


技术总结
本发明公开了一种硅酸铋晶体压电切型及其应用,本发明提供的硅酸铋晶体压电切型具有高压电活性和低串扰响应的优势,同时具有良好的温度稳定性,在25~650℃温度范围内实现了稳定的信号输出,有利于提高压电传感器件的灵敏度和服役温度,在压电传感技术领域具有明朗的应用前景。本发明提供的硅酸铋晶体压电切型的加工方法简单,特别是厚度切变振动模态晶体切型,只需绕Y轴或Z轴旋转一次即可直接加工出最优晶体切型,样品制备简便。

技术研发人员:赵显,武广达,樊梦迪,程秀凤,于法鹏
受保护的技术使用者:山东大学
技术研发日:
技术公布日:2024/3/11
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