一种单片式外延设备及方法与流程

本发明涉及外延炉的，具体为一种单片式外延设备及方法。

背景技术：

1、外延片是半导体工艺当中的一种，在bipolar工艺中，硅片最底层是p型衬底硅，然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层，再后来在外延层上注入基区、发射区等等，最后基本形成纵向npn管结构，外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片，外延硅片在生产时需要利用外延炉进行加工处理，现有的有些外延炉内的托板上会设置若干个基座，从而可以同时加工若干个外延硅片，但是大多基座是与托板固定连接，这样当其中一个基座损坏后，就需要更换整个托板。

技术实现思路

1、（一）解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本发明提供了一种单片式外延设备及方法，具备避免其中一个基座损坏导致需要更换整个托板的情况产生，同时可以更换不同大小的基座，这样就可以同时加工不同大小的硅片等优点，解决了有些外延炉内的托板上会设置若干个基座，从而可以同时加工若干个外延硅片，但是大多基座是与托板固定连接，这样当其中一个基座损坏后，就需要更换整个托板的问题。

3、（二）技术方案

4、为实现上述避免其中一个基座损坏导致需要更换整个托板的情况产生，同时可以更换不同大小的基座，这样就可以同时加工不同大小的硅片目的，本发明提供如下技术方案：一种单片式外延设备及方法，包括炉体，炉体上方设置有顶盖，炉体上设置有连接台，炉体上固定安装有支撑板，顶盖设置在支撑板上，连接台上设置有托板，托板上侧开设有若干个凹槽，每个凹槽内均活动连接有基座，每个基座外侧壁均开设有环形壁槽，托板上侧设置有固定板，固定板上开设有若干个通槽，每个通槽分别套在每个环形壁槽上，托板中心处开设有连接槽，固定板上固定贯穿有连接管，连接管内螺纹连接有固定柱，固定柱下端固定安装有圆板，连接管与连接槽活动连接，圆板上侧与托板下侧贴合，通过若干个基座可以同时加工若干个外延硅片，向下旋转移动固定柱，当固定柱与连接管分离后，就可以向上移动固定板，从而就可以将若干个基座逐一取出，逐一就可以方便用户更换，同时可以方便用户逐一清洗每个基座，从而避免其中一个基座损坏导致需要更换整个托板的情况产生，同时可以更换不同大小的基座，这样就可以同时加工不同大小的硅片。

5、优选的，所述连接台上侧开设有滑槽，滑槽内活动连接有两个滑板，两个滑板均与托板下侧固定连接，顶盖内侧壁固定安装有升降环，升降环下侧向上凹陷，升降环内固定安装有按压环，两个滑板上侧均固定安装有握把。

6、优选的，所述按压环下侧开设有若干个活动槽，每个活动槽内均活动连接有活动球，托板上侧开设有若干个导向槽，每个导向槽内均活动连接有导向杆，每个导向杆均与固定板下侧固定连接。

7、优选的，所述炉体前侧固定安装有工作台，工作台下侧固定安装有支撑块，工作台左右两侧均固定安装有两个支撑条，两个支撑条上均设置有活动柱，两个活动柱相互靠近的一端均固定安装有方块。

8、优选的，两个所述方块相互靠近的一侧均开设有两个横槽，四个横槽内均活动连接有活动杆，每个活动杆上均固定安装有压力弹簧a，每个压力弹簧a分别与四个横槽内侧壁固定连接，托板侧壁开设有四个槽口。

9、优选的，两个所述方块相互靠近的一侧均固定安装有一组夹板，每个夹板上均开设有小槽，两组夹板上均设置有升降杆，两个升降杆分别与四个小槽活动连接，两个组夹板之间设置有收料板，收料板上开设有若干个观察槽，两个升降杆均活动贯穿收料板。

10、优选的，两个所述升降杆上均活动套接有圆盒，两个圆盒分别与两组夹板中处于下方的两个夹板固定连接，两个圆盒内均活动连接有压力弹簧b，两个压力弹簧b下端分别与两个圆盒下内壁固定连接，两个压力弹簧b上端均固定安装有压力环，两个压力环分别与两个圆盒上内壁贴合，两个压力环分别固定套接在两个升降杆上，两个升降杆之间设置有横条，横条两端分别与两个升降杆固定连接。

11、优选的，两个所述方块上均贴合有限位板，两个限位板上均活动套接有固定半盒，两个固定半盒分别与两个支撑条上侧固定连接，两个限位板上均固定套接有两个限位半框。

12、一种单片式外延设备的使用方法包括一下步骤：

13、第一步：通过向下旋转移动固定柱，当固定柱与连接管分离后，就可以向上移动固定板，从而就可以将若干个基座逐一取出。

14、第二步：通过两个握把，就可以将托板放置在连接台上，将两个滑板放置在滑槽内后将托板放置在大致位置后，就可以向下移动顶盖，从而可以通过顶盖向下移动带动升降环向下移动，这样就可以通过升降环下侧的凹陷处挤压两个滑板，从而可以推动托板移动到准确位置。

15、第三步：通过两个握把就可以将托板抬起，然后带动托板向四个活动杆之间移动，这样就可以通过托板的弧形面挤压四个活动杆，这样就可以使四个活动杆分别进入四个横槽内，当四个活动杆分别对准四个横槽后，四个压力弹簧a的回弹就可以分别带动四个活动杆进入四个横槽内，这样就可以将托板进行支撑，然后就可以旋转两个方块，从而可以使托板翻面，这样就可以使每个硅片进行下料处理。

16、第四步：通过在旋转下料处理前将收料板插入两组夹板之间，这样就可以在翻转托板下落的硅片接住。

17、（三）有益效果

18、与现有技术相比，本发明提供了一种单片式外延设备及方法，具备以下有益效果：

19、1、该单片式外延设备及方法，通过若干个基座可以同时加工若干个外延硅片，向下旋转移动固定柱，当固定柱与连接管分离后，就可以向上移动固定板，从而就可以将若干个基座逐一取出，逐一就可以方便用户更换，同时可以方便用户逐一清洗每个基座，从而避免其中一个基座损坏导致需要更换整个托板的情况产生，同时可以更换不同大小的基座，这样就可以同时加工不同大小的硅片。

20、2、该单片式外延设备及方法，通过两个握把，就可以将托板放置在连接台上，而只需要将两个滑板放置在滑槽内后将托板放置在大致位置后，就可以向下移动顶盖，从而可以通过顶盖向下移动带动升降环向下移动，这样就可以通过升降环下侧的凹陷处挤压两个滑板，从而可以推动托板移动到准确位置，然后挤压环就可以向下施加压力将托板进行固定，从而方便用户安装与拆卸托板。

21、3、该单片式外延设备及方法，通过若干个活动球可以有效减少按压环与托板之间的摩擦力，通过若干个导向槽与若干个导向杆可以方便用户进行定位，从而可以方便用户将固定板放置在合适位置。

22、4、该单片式外延设备及方法，通过两个握把就可以将托板抬起，然后带动托板向四个活动杆之间移动，这样就可以通过托板的弧形面挤压四个活动杆，这样就可以使四个活动杆分别进入四个横槽内，当四个活动杆分别对准四个横槽后，四个压力弹簧a的回弹就可以分别带动四个活动杆进入四个横槽内，这样就可以将托板进行支撑，然后就可以旋转两个方块，从而可以使托板翻面，这样就可以使每个硅片进行下料处理。

23、5、该单片式外延设备及方法，通过在旋转下料处理前将收料板插入两组夹板之间，这样就可以在翻转托板下落的硅片接住，然后抽出收料板就可以将每个硅片取出，从而可以方便用户使用，这样就可以提高工作效率。

24、6、该单片式外延设备及方法，通过向下移动横条，就可以带动两个升降杆向下移动，从而就可以抽出收料板，而当需要固定收料板时，将收料板插入两组夹板后，松开横条后，两个压力弹簧b的回弹就可以分别配合两个压力环带动两个升降杆向上移动将收料板进行固定。

25、7、该单片式外延设备及方法，通过翻转托板后，就可以向相互靠近的方向移动两个限位板，从而可以是两个限位板分别与两个方块贴合，这样就可以阻止两个方块旋转，从而可以在用户取下收料板时发生翻转影响出料。