单晶炉炉压检测装置的制作方法

本技术涉及炉压检测装置，更具体地说是单晶炉炉压检测装置。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、公开号为cn203474957u的中国专利文件，涉及一种单晶炉炉压检测报警补偿系统，包括设置在炉体内对炉体内炉压进行检测的检测器，以及能够接收检测器检测结果的控制器，控制器连接一报警器，还包括对炉体内炉压进行自动补偿的补偿装置。检测器实时对炉压进行检测并将检测的结果即时发送给控制器，一旦检测到炉压高于或低于设定的范围内时，控制器便会向报警器发出信号使报警器报警，同时控制器操作控制阀打开以及启动补偿器进行补压，在炉压达到设定的范围内时，控制器便会关闭控制阀并停止补偿器的工作。该技术方案能够实时对炉压进行检测，并能够对炉压进行补偿，从而保证炉压能够满足单晶炉工作的需求。

3、上述技术方案借助安装于单晶炉内的检测器进行监测，而检测器位于单晶炉内，单晶炉内的设备运行会对检测器造成影响，甚至于对检测器造成损坏，同时在检测器损坏时，工作人员需要将单晶炉进行关闭检修，由此会影响单晶炉的运行效率。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供单晶炉炉压检测装置，通过借助第一阀门的设置，可以使连接管与单晶炉断开，使得工作人员可以在不关闭单晶炉的情况下对连接管内的检测器进行检修维护，既可以有效保障单晶炉的运行效率，也能提高工作人员检修检测器时的便捷性，且将检测器安装于单晶炉外部，可以避免单晶炉内的结构对检测器造成损坏，保障检测器的使用寿命和使用效果，以解决上述背景技术中出现的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：单晶炉炉压检测装置，包括用于检测单晶炉内炉压的检测器，所述检测器外部设有用于连通单晶炉的连接组件；

3、所述连接组件上方设有安装在单晶炉上的警示组件；

4、所述连接组件下方设有安装在单晶炉上的压力补偿组件；

5、所述连接组件包括连接管，所述连接管套设于检测器外部，所述连接管远离检测器的一端设有第一阀门。

6、在一个优选地实施方式中，所述警示组件包括控制器，所述控制器下方设有警报器，所述控制器和警报器均安装于单晶炉上，通过检测器对与单晶炉相连通的连接管内的压力进行监测，并将监测传输给控制器进行分析判断，而后根据分析结构启闭警示器。

7、在一个优选地实施方式中，所述压力补偿组件包括支撑板，所述支撑板顶部设有补偿管，所述支撑板和补偿管安装于单晶炉上，所述补偿管外部设有第二阀门，所述补偿管远离第二阀门的一端设有炉压补偿器，借助炉压补偿器的设置，可以依据需要对单晶炉内的压力进行输送调节。

8、在一个优选地实施方式中，所述检测器远离连接管的一端外部套设有安装筒，所述安装筒远离检测器的一侧固定设有安装柱，所述安装柱远离安装筒的一侧设有安装板，所述安装板设在连接管远离第一阀门的一侧，通过安装筒和安装柱的设置，便于对检测器进行支撑固定，保障检测器的稳定性，同时借助安装板对连接管进行封堵密封。

9、在一个优选地实施方式中，所述安装板靠近连接管的一端外部固定套接有第一封环，所述第一封环靠近连接管的一侧设有第二封环，所述第一封环和第二封环相靠近的一侧均开设有封槽，所述封槽内部设有密封圈，通过第一封环和第二封环上密封圈，可以保障整体结构的密封性，避免出现泄漏的情况。

10、在一个优选地实施方式中，所述第一封环和第二封环外部均固定套接有固定环，两个固定环通过螺栓相连接，借助螺栓对两个固定环进行连接固定，可以提高工作人员拆装安装板时的便捷性。

11、在一个优选地实施方式中，所述安装板靠近连接管的一侧固定设有密封环，所述密封环远离安装板的一端延伸至连接管内部，通过密封环的设置，可以提高对连接管的密封性。

12、本实用新型的技术效果和优点：通过借助第一阀门的设置，可以使连接管与单晶炉断开，之后再拆卸由螺栓相连接固定环，使得工作人员可以对连接管内的检测器进行检修维护，并借此可以使工作人员在不关闭单晶炉的情况下对连接管内的检测器进行检修维护，既可以有效保障单晶炉的运行效率，也能提高工作人员检修检测器时的便捷性，且将检测器安装于单晶炉外部，可以避免单晶炉内的结构对检测器造成损坏，保障检测器的使用寿命和使用效果。

技术特征：

1.单晶炉炉压检测装置，包括用于检测单晶炉(19)内炉压的检测器(1)，其特征在于：所述检测器(1)外部设有用于连通单晶炉(19)的连接组件；

2.根据权利要求1所述的单晶炉炉压检测装置，其特征在于：所述检测器(1)远离连接管(2)的一端外部套设有安装筒(4)，所述安装筒(4)远离检测器(1)的一侧固定设有安装柱(5)，所述安装柱(5)远离安装筒(4)的一侧设有安装板(6)，所述安装板(6)设在连接管(2)远离第一阀门(3)的一侧。

3.根据权利要求2所述的单晶炉炉压检测装置，其特征在于：所述安装板(6)靠近连接管(2)的一端外部固定套接有第一封环(7)，所述第一封环(7)靠近连接管(2)的一侧设有第二封环(8)，所述第一封环(7)和第二封环(8)相靠近的一侧均开设有封槽(9)，所述封槽(9)内部设有密封圈(10)。

4.根据权利要求3所述的单晶炉炉压检测装置，其特征在于：所述第一封环(7)和第二封环(8)外部均固定套接有固定环(11)，两个固定环(11)通过螺栓相连接。

5.根据权利要求2所述的单晶炉炉压检测装置，其特征在于：所述安装板(6)靠近连接管(2)的一侧固定设有密封环(12)，所述密封环(12)远离安装板(6)的一端延伸至连接管(2)内部。

6.根据权利要求1所述的单晶炉炉压检测装置，其特征在于：所述警示组件包括控制器(13)，所述控制器(13)下方设有警报器(14)，所述控制器(13)和警报器(14)均安装于单晶炉(19)上。

7.根据权利要求1所述的单晶炉炉压检测装置，其特征在于：所述压力补偿组件包括支撑板(15)，所述支撑板(15)顶部设有补偿管(16)，所述支撑板(15)和补偿管(16)安装于单晶炉(19)上，所述补偿管(16)外部设有第二阀门(17)，所述补偿管(16)远离第二阀门(17)的一端设有炉压补偿器(18)。

技术总结
本技术公开了单晶炉炉压检测装置，具体涉及炉压检测装置技术领域，包括用于检测单晶炉内炉压的检测器，所述检测器外部设有用于连通单晶炉的连接组件；所述连接组件上方设有安装在单晶炉上的警示组件；所述连接组件下方设有安装在单晶炉上的压力补偿组件。本技术通过借助第一阀门的设置，可以使连接管与单晶炉断开，使得工作人员可以在不关闭单晶炉的情况下对连接管内的检测器进行检修维护，既可以有效保障单晶炉的运行效率，也能提高工作人员检修检测器时的便捷性，且将检测器安装于单晶炉外部，可以避免单晶炉内的结构对检测器造成损坏，保障检测器的使用寿命和使用效果。

技术研发人员：薛占福,罗乾,苏鑫,韩永龙,高玉顺,罗艳
受保护的技术使用者：阳光能源（青海）有限公司
技术研发日：20230306
技术公布日：2024/1/13