一种单晶炉副室清理装置的制作方法

本技术涉及单晶硅制造，具体涉及一种单晶炉副室清理装置。

背景技术：

1、单晶炉副室是单晶炉的一部分，主要用于晶体生长时置于副室中的提升装置被向上提拉。副室在单晶硅生产时容易积灰，在单晶直拉过程中，积灰容易掉落在结晶界面，从而引发位错，导致断线现象的发生，副室积灰是生产断线的主要因素之一。

2、副室积灰清理是单晶生产管控的其中一个关键环节，目前市场上清理副室时使用的副室清理杆存在清理头重，导致摩擦力大，使用不方便；副室清理头易变形和损坏，导致副室清理杆整体易报废；无法彻底、干净的清理副室。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种单晶炉副室清理装置，通过清理头的整体构造、清理件包覆于圆圈结构的外围，以及清理头与清理杆的可拆卸式连接，解决了清理时摩擦力大，使用不方便；清理头易变形和损坏；无法彻底的清扫副室的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

3、一种单晶炉副室清理装置，包括清理件和清理杆，所述清理杆的上端设置一个清理头，所述清理件位于清理头的上部，所述清理头包括圆圈结构、加强筋和设置多个孔的支撑杆，圆圈结构的内周面与支撑杆的外周面固定连接，加强筋用于连接圆圈结构和支撑杆的底端。

4、优选地，所述清理杆具有一个与支撑杆内径相同的外径，在清理杆的顶端设置多个孔，将其穿进支撑杆中，使清理杆的孔与支撑杆的孔相对应。

5、优选地，所述清理件采用松软吸水性材料，将清理件包覆于整个圆形结构的外围，使清理件与副室的内壁接触。

6、优选地，所述支撑杆的孔通过螺栓与清理杆的孔进行连接。

7、优选地，所述清理头的圆形结构的外径小于副室的内径。

8、优选地，所述清理头的各部位采用焊接方式连接。

9、优选地，所述清理头采用不锈钢材质制成。

10、本实用新型具有的有益效果：在本实用新型中，通过加强筋连接的圆圈结构和支撑杆，采用焊接的方式作为一个整体；清理件包覆于清理头圆圈结构的外围，同时清理头和清理杆通过螺栓进行可拆卸式固定连接，减少了清理头与副室的摩擦，避免了清理头的变形与损坏，使得副室清理更彻底，并且可拆卸的连接使单个部件进行替换，有利于节约成本。

技术特征：

1.一种单晶炉副室清理装置，包括清理件（11）和清理杆（13），其特征在于，所述清理杆（13）的上端设置一个清理头（12），所述清理件（11）位于清理头（12）的上部，所述清理头（12）包括圆圈结构（121）、加强筋（122）和设置多个孔的支撑杆（123），圆圈结构（121）的内周面与支撑杆（123）的外周面固定连接，加强筋（122）用于连接圆圈结构（121）和支撑杆（123）的底端。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清理杆（13）具有一个与支撑杆（123）内径相同的外径，在清理杆（13）的顶端设置多个孔，将其穿进支撑杆（123）中，使清理杆（13）的孔与支撑杆（123）的孔相对应。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清理件（11）采用松软吸水性材料，将清理件（11）包覆于整个圆形结构的外围，使清理件（11）与副室的内壁接触。

4.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述支撑杆（123）的孔通过螺栓（14）与清理杆（13）的孔进行连接。

5.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清理头（12）的圆形结构的外径小于副室的内径。

6.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清理头（12）的各部位采用焊接方式连接。

7.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述清理头（12）采用不锈钢材质制成。

技术总结
本技术公开了一种单晶炉副室清理装置，包括清理件和清理杆，所述清理杆的上端设置一个清理头，所述清理件位于清理头的上部。所述清理头包括圆圈结构、加强筋和支撑杆，支撑杆设置多个孔，圆圈结构的内周面与支撑杆的外周面固定连接，加强筋用于连接圆圈结构和支撑杆的底端。所述清理杆具有一个与支撑杆内径相同的外径，在清理杆的一端设置多个孔，将其穿进支撑杆中，使清理杆的孔与支撑杆的孔相对应。本技术减少了清理头与副室的摩擦，避免了清理头的变形与损坏，使得副室清理更彻底，并且可拆卸的连接使单个部件进行替换，有利于节约成本。

技术研发人员：龚小伦,关树军,洪华,路建华,陈爱华,王平
受保护的技术使用者：乐山市京运通新材料科技有限公司
技术研发日：20230309
技术公布日：2024/1/13