一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室的制作方法

本技术涉及成膜设备，特别是涉及一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室。

背景技术：

1、以往，在如绝缘栅双极型晶体管等功率器件那样的需要膜厚比较大的结晶膜的半导体元件的制造中，应用了外延生长技术。

2、在外延生长技术所使用的气相生长方法中，在将基板载放到成膜室内的状态下，使成膜室内的压力为常压或负压。然后，在对基板进行加热的同时，向成膜室内供给反应性气体。于是，在基板的表面上气体产生热解反应或氢还原反应而形成气相生长膜。

3、为了制造膜厚较大的气相生长膜，需要将基板均匀地加热并且使从外部供给的反应性气体与基板表面不断接触。所以，采用了在使基板高速旋转的同时进行成膜处理的技术。

4、立式成膜设备反应室连续进行成膜工艺，腔室内部杂质和固定沉积堆积影响后续制备的晶片质量，需要定期对腔室内部进行清洁维护。但是基于成膜反应室的立式结构，清洁维护过程存在诸多困难。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，以解决现有技术存在的问题，能够降低清洁维护的难度，提高清洁维护效率。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：本实用新型提供一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，包括反应室上分体、反应室下分体和提升转移机构，所述反应室上分体与所述反应室下分体可拆分连接，所述反应室上分体的侧壁上设置有电极盒；所述提升转移机构的输出端与所述反应室上分体连接，用于带动所述反应室上分体提升并转移至远离所述反应室下分体的一侧；所述提升转移机构的输出端上还设置有电缆连接器，所述电缆连接器与供电电源、所述电极盒均通过电缆进行连接，且所述电缆连接器与所述供电电源的电缆连接端具有快插结构。

3、优选的，所述电缆连接器与所述电极盒的电缆连接端具有双锁紧电缆接头。

4、优选的，所述反应室上分体的顶部边缘设置有气管固定架，所述气管固定架上间隔固定有若干与所述反应室顶部的进气室连通的进气管；供气柜上设置有供气管，所述供气管与所述进气管通过连接管连通，且所述供气管与所述进气管的端部均设置有快接接头。

5、优选的，所述反应室上分体和所述反应室下分体的侧壁中均设置有冷水循环通道，所述冷水循环通道的进水口、出水口通过快接接头与供水管连接。

6、优选的，所述反应室下分体连通有排气管，所述排气管通过波纹管与排气系统连通。

7、优选的，所述反应室下分体还通过闸阀连接有搬运系统。

8、优选的，所述提升转移机构包括旋转提升部和与所述旋转提升部的输出端连接的立柱，所述立柱位于所述反应室上分体、所述反应室下分体的一侧；所述立柱的顶部通过悬臂与所述反应室上分体固定连接。

9、优选的，所述电缆连接器固定在所述立柱上。

10、本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

11、1、本实用新型通过将成膜反应室设置成上下可拆分连接的反应室上分体和反应室下分体，采用提升转移的方式将反应室上分体与反应室下分体进行分离，实现将成膜反应室分段依次开启进行全面清洁维护的目的，不仅降低了清洁维护的难度，还可以提高效率；

12、2、本实用新型通过在提升转移机构的输出端上设置电缆连接器，并将电缆连接器同时与供电电源、电极盒通过电缆进行连接，在进行反应室上分体的拆除转移时，仅需要将供电电源与电缆连接器之间的电缆自电缆连接器的一端进行拆除，固定在提升转移机构输出端的电缆连接器与电极盒的位置相对固定，不需要将二者之间的电缆进行拆除，可以避免因拆装电极盒连接端导致的耗费时间长的问题；

13、3、本实用新型中进气管通过气管固定架固定在反应室上分体上，当反应室上分体进行移动时，进气管可以随反应室上分体同步移动；同时将进气室的进气管延伸至反应室上分体边缘，更便于进气管通过连接管与供气管进行连接，采用快接接头也可以提高拆装效率。

技术特征：

1.一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，包括反应室上分体、反应室下分体和提升转移机构，所述反应室上分体与所述反应室下分体可拆分连接，所述反应室上分体的侧壁上设置有电极盒；所述提升转移机构的输出端与所述反应室上分体连接，用于带动所述反应室上分体提升并转移至远离所述反应室下分体的一侧；所述提升转移机构的输出端上还设置有电缆连接器，所述电缆连接器与供电电源、所述电极盒均通过电缆进行连接，且所述电缆连接器与所述供电电源的电缆连接端具有快插结构。

2.根据权利要求1所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述电缆连接器与所述电极盒的电缆连接端具有双锁紧电缆接头。

3.根据权利要求1所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述反应室上分体的顶部边缘设置有气管固定架，所述气管固定架上间隔固定有若干与所述反应室顶部的进气室连通的进气管；供气柜上设置有供气管，所述供气管与所述进气管的端部均设置有快接接头，且所述供气管与所述进气管通过连接管连通。

4.根据权利要求3所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述反应室上分体和所述反应室下分体的侧壁中均设置有冷水循环通道，所述冷水循环通道的进水口、出水口通过快接接头与供水管连接。

5.根据权利要求4所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述反应室下分体连通有排气管，所述排气管通过波纹管与排气系统连通。

6.根据权利要求5所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述反应室下分体还通过闸阀连接有搬运系统。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述提升转移机构包括旋转提升部和与所述旋转提升部的输出端连接的立柱，所述立柱位于所述反应室上分体、所述反应室下分体的一侧；所述立柱的顶部通过悬臂与所述反应室上分体固定连接。

8.根据权利要求7所述的拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，其特征在于，所述电缆连接器固定在所述立柱上。

技术总结
本技术公开一种拆装时可快捷脱开系统连接的成膜反应室，涉及成膜设备技术领域，包括反应室上分体、反应室下分体和提升转移机构，反应室上分体与反应室下分体可拆分连接，反应室上分体上设置有电极盒；提升转移机构的输出端与反应室上分体连接；提升转移机构的输出端上还设置有电缆连接器，电缆连接器与供电电源、电极盒均通过电缆进行连接；本技术通过采用提升转移的方式实现将成膜反应室分段依次开启进行全面清洁维护的目的，不仅降低了清洁维护的难度，还可以提高效率；而且固定在提升转移机构输出端的电缆连接器与电极盒的位置相对固定，不需要将二者之间的电缆进行拆除，可以避免因拆装电极盒连接端导致的耗费时间长的问题。

技术研发人员：刘鹏,徐文立,沈磊
受保护的技术使用者：宁波恒普技术股份有限公司
技术研发日：20230331
技术公布日：2024/1/14