一种增加相机观察视野的炉盖的制作方法

本技术涉及单晶炉辅助设备，具体是一种增加相机观察视野的炉盖。

背景技术：

1、直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

2、对于具有高压内腔的单晶炉来说，观察窗是相对于炉体独立的结构，观察窗需要承受很大的压力，为了保证晶棒的品质，对观察窗的密闭性、安全及可靠性均有极高的要求。

3、单晶炉晶体生长自动控制系统大多采用ccd(chargecoupleddevices)相机，利用视觉图像采集与处理技术，来实现晶体生长过程的自动控制；炉盖上设置的观察窗的位置是固定的，ccd相机通过支架安装在单晶炉的炉盖上，相机以一定倾斜角度通过观察窗观察拉晶状态，可通过调节支架来对相机方位进行调节，用于观测炉内实时得晶棒直径、液口距、液面亮度等，为了达到最佳控制效果，ccd相机相对于炉体观察窗的位置需要不断调整。

4、如中国专利文献cn217104137u公开的一种应用于单晶炉的炉盖，该专利的观察窗向上侧凸出，其凸出的部分会影响到相机的观察视野，当凸出的部分越高，相机在同一高度的摆动角度越窄，由于观察视角缩窄，操作者观察受限导致不能准确地通过ccd相机观察单晶炉内部晶棒生成过程，遇到异常时不能及时做成处理。

5、因此，需要对炉盖进行改良，以更好地提高其观察视野。

技术实现思路

1、针对上述提到现有的炉盖观察视野较差的技术问题，本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：

2、一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上设有观察窗，所述观察窗设有凹陷设置在所述炉盖本体上的安装腔，所述安装腔的底部设有安装腔观察口、以及位于所述安装腔观察口上侧的观察窗组件。

3、进一步地，所述炉盖本体设有上盖体、以及位于所述上盖体下侧的下盖体，所述上盖体设有上盖体开口，所述下盖体上设有下盖体开口，所述观察窗由所述上盖体开口延伸至所述下盖体开口。

4、进一步地，所述炉盖本体为弧形结构。

5、进一步地，所述观察窗倾斜设置在所述炉盖本体上。

6、为了提高观察窗组件的稳定性，所述观察窗组件包括压板、与所述压板连接的玻璃，所述压板设有压板开口，所述安装腔观察口的边沿形成支撑部用于支撑所述玻璃。

7、为了提高压板与玻璃之间的稳定性，所述压板设有压板容置腔，所述压板容置腔用于容置所述玻璃。

8、为了提高玻璃的稳定性，所述观察窗组件还包括与所述玻璃连接的密封件，所述安装腔设有容置所述密封件的安装腔凹槽。

9、为了提高观察窗的冷却效果，所述上盖体与下盖体之间形成换热通道，所述换热通道上设有第一水道和第二水道，所述观察窗位于所述第一水道和所述第二水道之间。

10、为了提高观察窗的冷却效果，所述观察窗的外侧设有冷却台，所述观察窗与所述冷却台之间设有冷却腔，所述冷却腔与所述第一水道和所述第二水道连通，所述冷却台设有与所述安装腔观察口连通的冷却台观察口。

11、为了提高观察窗的冷却效果，所述安装腔观察口的内壁设有安装腔延伸部，所述安装腔延伸部与所述冷却台观察口的内壁连接，所述冷却腔包括位于所述观察窗侧面的第一冷却腔、以及位于所述观察窗底部与所述冷却台底部之间的第二冷却腔。

12、本实用新型的有益效果如下：

13、1、本实用新型的安装腔通过凹陷设置在炉盖本体上，避免观察窗向上凸出从而阻挡观察视线，凹陷设置的安装腔能够增加相机在同一高度的摆动角度，进一步使得观察视角的广角度增大，操作者能够更加准确地观察单晶炉内部晶棒生成过程，便于及时处理异常。

14、2、本实用新型的换热通道能够对伸入炉盖本体内的安装腔进行冷却，进一步对观察窗组件进行冷却降温，避免单晶炉内的高压高温条件，对观察窗组件的寿命造成影响。

技术特征：

1.一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体(1)，其特征在于：所述炉盖本体(1)上设有观察窗(2)，所述观察窗(2)设有凹陷设置在所述炉盖本体(1)上的安装腔(3)，所述安装腔(3)的底部设有安装腔观察口(31)、以及位于所述安装腔观察口(31)上侧的观察窗组件(4)；所述炉盖本体(1)为弧形结构；所述观察窗(2)倾斜设置在所述炉盖本体(1)上；

2.根据权利要求1所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述观察窗组件(4)包括压板(41)、与所述压板(41)连接的玻璃(42)，所述压板(41)设有压板开口(411)，所述安装腔观察口(31)的边沿形成支撑部(311)用于支撑所述玻璃(42)。

3.根据权利要求2所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述压板(41)设有压板容置腔(412)，所述压板容置腔(412)用于容置所述玻璃(42)。

4.根据权利要求2所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述观察窗组件(4)还包括与所述玻璃(42)连接的密封件(43)，所述安装腔(3)设有容置所述密封件(43)的安装腔凹槽(32)。

5.根据权利要求1所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述上盖体(11)与下盖体(12)之间形成换热通道(5)，所述换热通道(5)上设有第一水道(51)和第二水道(52)，所述观察窗(2)位于所述第一水道(51)和所述第二水道(52)之间。

6.根据权利要求5所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述观察窗(2)的外侧设有冷却台(6)，所述观察窗(2)与所述冷却台(6)之间设有冷却腔(7)，所述冷却腔(7)与所述第一水道(51)和所述第二水道(52)连通，所述冷却台(6)设有与所述安装腔观察口(31)连通的冷却台观察口(61)。

7.根据权利要求6所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述安装腔观察口(31)的内壁设有安装腔延伸部(312)，所述安装腔延伸部(312)与所述冷却台观察口(61)的内壁连接，所述冷却腔(7)包括位于所述观察窗(2)侧面的第一冷却腔(71)、以及位于所述观察窗(2)底部与所述冷却台(6)底部之间的第二冷却腔(72)。

技术总结
本技术涉及单晶炉辅助设备技术领域，具体是一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上设有观察窗，所述观察窗设有凹陷设置在所述炉盖本体上的安装腔，所述安装腔的底部设有安装腔观察口、以及位于所述安装腔观察口上侧的观察窗组件。本技术的安装腔通过凹陷设置在炉盖本体上，避免观察窗向上凸出从而阻挡观察视线，凹陷设置的安装腔能够增加相机在同一高度的摆动角度，进一步使得观察视角的广角度增大，操作者能够更加准确地观察单晶炉内部晶棒生成过程，便于及时处理异常。

技术研发人员：牛明华,邹逸杰,张志增,蒙程道,张贤芸
受保护的技术使用者：中山市汇创精密科技有限公司
技术研发日：20230518
技术公布日：2024/1/15