一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置的制作方法

本技术涉及一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，属于金刚石单晶合成。

背景技术：

1、金刚石俗称“金刚钻”，也就是我们常说的钻石的原身，它是一种由碳元素组成的矿物，是自然界由单质元素组成的粒子物质，是碳同素异形体，化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一，在通过化学气相沉积法合成单晶金刚石时需要用到合成基台，在合成单晶金刚石时，温度是金刚石合成重要影响因素，但是基台是固定的，只能通过调节合成箱内部的输出功率来调节温度，调节输出功率又会影响金刚石的生长速率，影响金刚石单晶合成效率。

2、为此，我们提出一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，能够对基台的高度进行调节，进而调节基台上的金刚石与合成箱内部的等离子体之间的距离，进而调节温度，不需要调节输出功率，避免影响金刚石单晶合成效率，降低合成金刚石单晶的成本。

2、本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，包括底座、万向轮、合成箱、基台本体、升降柱和升降组件，所述升降组件设置在所述升降柱内部且与所述基台本体对应，所述升降组件包括升降电机、升降结构和连接结构，所述升降电机和所述升降结构设置在所述升降柱内部，所述连接结构设置在所述合成箱内部且与所述基台本体对应，所述万向轮设置在所述底座底部，所述合成箱设置在所述底座顶部，所述基台本体设置在所述合成箱内部，所述升降柱固定焊接在所述底座顶部且设置在所述合成箱背侧。

3、优选的，为了方便对升降组件进行安装，所述升降柱内部开设有升降腔和升降槽，所述升降电机通过螺栓安装在所述升降腔内部，所述升降结构设置在所述升降槽内部。

4、优选的，为了方便进行升降工作，所述升降结构包括螺纹杆、螺纹环和螺纹块，所述螺纹杆两端分别转动安装在所述升降槽内底壁上和固定焊接在所述升降电机的输出轴上，所述螺纹环螺纹啮合套设在所述螺纹杆上，所述螺纹块固定焊接在所述螺纹环一侧。

5、优选的，为了方便与基台本体连接，所述连接结构包括l板和密封柱，所述l板固定焊接在所述螺纹块一侧，所述密封柱固定焊接在所述l板底部且设置在所述合成箱内部。

6、优选的，为了方便调节微波等离子体和基台本体之间的距离，进而调控温度，所述合成箱顶部开设有密封调节孔，所述合成箱内顶壁上设置有微波等离子体，所述密封柱设置在所述密封调节孔内部，所述基台本体固定焊接在所述密封柱底端一侧且与所述微波等离子体对应。

7、优选的，为了方便对合成工作进行把控，所述合成箱一侧开设有观察窗和开合门，所述开合门设置在所述观察窗底部。

8、优选的，为了方便保证装置稳定停放，所述底座底部开设有收纳槽，所述收纳槽一侧开设有安全滑槽，所述收纳槽内部设置有稳定组件，所述稳定组件包括气缸和稳定结构，所述气缸通过螺栓安装在所述收纳槽内顶壁上，所述稳定结构设置在所述收纳槽内部且与所述万向轮对应。

9、优选的，为了对万向轮和收纳槽的相对位置进行控制，所述稳定结构包括收纳板和安全滑块，所述收纳板固定焊接在所述气缸的输出轴上，所述安全滑块固定焊接在所述收纳板一侧且滑动连接在所述安全滑槽内部，所述万向轮设置在所述收纳板底部且与所述收纳槽对应。

10、本实用新型的有益效果是：本实用新型通过升降电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹环移动，螺纹环通过螺纹块带动l板移动，l板带动密封柱升降，密封柱带动基台本体进行升降，进而控制基台本体和微波等离子体之间的距离，进而控制基台本体表面的金刚石生长温度，不需要调节微波输出功率，避免影响金刚石单晶合成效率，降低合成金刚石单晶的成本，简单实用。

技术特征：

1.一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，包括底座(1)、万向轮(2)、合成箱(3)、基台本体(4)、升降柱(5)和升降组件(6)，其特征在于：所述升降组件(6)设置在所述升降柱(5)内部且与所述基台本体(4)对应，所述升降组件(6)包括升降电机(7)、升降结构(8)和连接结构(9)，所述升降电机(7)和所述升降结构(8)设置在所述升降柱(5)内部，所述连接结构(9)设置在所述合成箱(3)内部且与所述基台本体(4)对应，所述万向轮(2)设置在所述底座(1)底部，所述合成箱(3)设置在所述底座(1)顶部，所述基台本体(4)设置在所述合成箱(3)内部，所述升降柱(5)固定焊接在所述底座(1)顶部且设置在所述合成箱(3)背侧。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述升降柱(5)内部开设有升降腔和升降槽，所述升降电机(7)通过螺栓安装在所述升降腔内部，所述升降结构(8)设置在所述升降槽内部。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述升降结构(8)包括螺纹杆(10)、螺纹环(11)和螺纹块(12)，所述螺纹杆(10)两端分别转动安装在所述升降槽内底壁上和固定焊接在所述升降电机(7)的输出轴上，所述螺纹环(11)螺纹啮合套设在所述螺纹杆(10)上，所述螺纹块(12)固定焊接在所述螺纹环(11)一侧。

4.根据权利要求3所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述连接结构(9)包括l板(13)和密封柱(14)，所述l板(13)固定焊接在所述螺纹块(12)一侧，所述密封柱(14)固定焊接在所述l板(13)底部且设置在所述合成箱(3)内部。

5.根据权利要求4所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述合成箱(3)顶部开设有密封调节孔，所述合成箱(3)内顶壁上设置有微波等离子体，所述密封柱(14)设置在所述密封调节孔内部，所述基台本体(4)固定焊接在所述密封柱(14)底端一侧且与所述微波等离子体对应。

6.根据权利要求5所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述合成箱(3)一侧开设有观察窗(15)和开合门(16)，所述开合门(16)设置在所述观察窗(15)底部。

7.根据权利要求1所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述底座(1)底部开设有收纳槽，所述收纳槽一侧开设有安全滑槽，所述收纳槽内部设置有稳定组件(17)，所述稳定组件(17)包括气缸(18)和稳定结构(19)，所述气缸(18)通过螺栓安装在所述收纳槽内顶壁上，所述稳定结构(19)设置在所述收纳槽内部且与所述万向轮(2)对应。

8.根据权利要求7所述的一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，其特征在于：所述稳定结构(19)包括收纳板(20)和安全滑块(21)，所述收纳板(20)固定焊接在所述气缸(18)的输出轴上，所述安全滑块(21)固定焊接在所述收纳板(20)一侧且滑动连接在所述安全滑槽内部，所述万向轮(2)设置在所述收纳板(20)底部且与所述收纳槽对应。

技术总结
本技术公开了一种金刚石单晶合成基台的稳定升降装置，涉及金刚石单晶合成技术领域，包括底座、万向轮、合成箱、基台本体、升降柱和升降组件，通过升降电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹环移动，螺纹环通过螺纹块带动L板移动，L板带动密封柱升降，密封柱带动基台本体进行升降，进而控制基台本体和微波等离子体之间的距离，进而控制基台本体表面的金刚石生长温度，不需要调节微波输出功率，避免影响金刚石单晶合成效率，降低合成金刚石单晶的成本，简单实用。

技术研发人员：王凯,秦静
受保护的技术使用者：美若科技有限公司
技术研发日：20230523
技术公布日：2024/1/14