一种电子级二氧化碳纯化设备的制作方法

本技术涉及电子级二氧化碳纯化设备，尤其涉及一种电子级二氧化碳纯化设备。

背景技术：

1、电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业，由于所用气体的品质多、质量要求高，人们把这类在电子工业中所用的气体统称为电子特种气体，简称电子特气；其中电子级二氧化碳在主要用于激光、电子工业、超临界萃取、反应堆气体冷却及科学研究领域；

2、目前，电子级二氧化碳的生产方法，主要采用纯度大于99.9％，含有水分、甲烷和其它一些杂质的工业级二氧化碳为原料，通过将液态的二氧化碳进行汽化、冷却、再汽化来获取较高纯度的电子级二氧化碳；其中汽化后的二氧化碳在冷却成液态后需要进行过滤，目的是将液态中的杂质过滤掉来提高二氧化碳的纯度，但是，由于液态二氧化碳过滤后一些杂质会堆积在过滤板上不能及时处理，随着杂质堆积越开越多，这样会造成过滤板被堵塞而不能进行过滤工作。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在过滤工作容易出现滤孔堵塞的缺点，而提出的一种电子级二氧化碳纯化设备。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、设计一种电子级二氧化碳纯化设备，包括第一汽化器、冷却机构、过滤机构和第二汽化器；所述第一汽化器的出口端与冷却机构的进口端接通，所述冷却机构的出口端与过滤机构的进口端接通，所述过滤机构的出口端与第二汽化器接通。

4、优选的，所述冷却机构包括第一安装箱、若干冷凝板、进气管和导液管；若干所述冷凝板均固定安装在第一安装箱的内侧、且沿着竖直方向等距分布，若干所述冷凝板交替分布在第一安装箱内、且形成一条s型通道，所述进气管的一端与第一汽化器的出口端接通，所述进气管的另一端与第一安装箱内部接通。

5、优选的，若干所述冷凝板均为倾斜结构，若干所述冷凝板上均开设有漏孔，若干所述漏孔均匀分布在冷凝板上。

6、优选的，所述过滤机构包括第二安装箱、过滤板和出液管；所述第二安装箱固定安装在第一安装箱的底端，所述过滤板固定安装在第二安装箱的内侧，所述出液管的一端与第二安装箱的底端接通，所述出液管的另一端与第二汽化器接通。

7、优选的，所述过滤机构还包括导流板、推送板和气缸；所述导流板固定安装在第二安装箱的内侧、且位于过滤板的下方，所述导流板为倾斜结构，所述推送板滑动安装在第二安装箱内侧的底端，所述气缸固定安装在第二安装箱的外侧、且输出端与推送板固定连接。

8、优选的，所述过滤机构还包括清理件，所述清理件包括往复丝杆、滑块、清理毛刷和电机；所述往复丝杆转动安装在第二安装箱的内侧，所述滑块的顶端螺纹安装在往复丝杆上，所述滑块的底端与清理毛刷固定连接，所述清理毛刷与过滤板的顶面贴合，所述电机固定安装在第二安装箱的外侧、且输出轴与往复丝杆固定连接。

9、本实用新型提出的一种电子级二氧化碳纯化设备，有益效果在于：

10、1、第一汽化器可以将液态的二氧化碳进行加热汽化，从而使得液态二氧化碳中的部分杂质可以与液态的二氧化碳分离；第二汽化器可以对冷却后的液态二氧化碳进行二次加热汽化，进而可以使得液态二氧化碳中的杂质可以与二氧化碳分离；同时液态的二氧化碳可以经过过滤板进行过滤，这样使得液态二氧化碳中杂质被过滤掉，这样可以大大提高二氧化碳的纯度；

11、2、通过启动电机可以使得往复丝杆转动，由于滑块与往复丝杆螺纹连接，同时滑块的底部被过滤板限制，所以滑块会沿着往复丝杆的轴线方向往复平移，从而使得清理毛刷沿着过滤板的表面进行往复滑动，这就使得清理毛刷可以将过滤板上堆积的杂质清理干净，有效避免过滤板被杂质堵塞而影响过滤工作的问题。

技术特征：

1.一种电子级二氧化碳纯化设备，其特征在于，包括第一汽化器(1)、冷却机构(2)、过滤机构(3)和第二汽化器(4)；所述第一汽化器(1)的出口端与冷却机构(2)的进口端接通，所述冷却机构(2)的出口端与过滤机构(3)的进口端接通，所述过滤机构(3)的出口端与第二汽化器(4)接通；

2.根据权利要求1所述的电子级二氧化碳纯化设备，其特征在于，所述过滤机构(3)还包括导流板(33)、推送板(34)和气缸(35)；所述导流板(33)固定安装在第二安装箱(31)的内侧、且位于过滤板(32)的下方，所述导流板(33)为倾斜结构，所述推送板(34)滑动安装在第二安装箱(31)内侧的底端，所述气缸(35)固定安装在第二安装箱(31)的外侧、且输出端与推送板(34)固定连接。

3.根据权利要求2所述的电子级二氧化碳纯化设备，其特征在于，所述过滤机构(3)还包括清理件(37)，所述清理件(37)包括往复丝杆(371)、滑块(372)、清理毛刷(373)和电机(374)；所述往复丝杆(371)转动安装在第二安装箱(31)的内侧，所述滑块(372)的顶端螺纹安装在往复丝杆(371)上，所述滑块(372)的底端与清理毛刷(373)固定连接，所述清理毛刷(373)与过滤板(32)的顶面贴合，所述电机(374)固定安装在第二安装箱(31)的外侧、且输出轴与往复丝杆(371)固定连接。

技术总结
本技术涉及电子级二氧化碳制备技术领域，尤其是一种电子级二氧化碳纯化设备，包括第一汽化器、冷却机构、过滤机构和第二汽化器；第一汽化器的出口端与冷却机构的进口端接通，冷却机构的出口端与过滤机构的进口端接通，过滤机构的出口端与第二汽化器接通。本技术的液态的二氧化碳可以经过过滤板进行过滤，这样使得液态二氧化碳中杂质被过滤掉，这样可以大大提高二氧化碳的纯度。

技术研发人员：姚文涛,章俊
受保护的技术使用者：合肥先微半导体材料有限公司
技术研发日：20230609
技术公布日：2024/1/15