一种连续加料硅单晶炉的制作方法

本技术涉及硅单晶炉，尤其涉及一种连续加料硅单晶炉。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。

2、由中国公告号为cn209652473u提出的一种单晶炉连续投料输送机构。包括主炉室，主炉室内设有热场保温桶与石英坩埚；主炉室和热场保温桶侧壁上设有投料口。主炉室侧壁投料口处设有阀门；投料机构包括圆筒状的外壳体，外壳体前端设有波纹管用于连接阀门；外壳体内部前侧设有输料管，输料管下方的外壳体内设有支撑装置；外壳体底部后侧设有直线运动机构，直线运动机构上设有旋转机构安装板；旋转机构安装板上设有旋转机构和进料装置，输料管后端与旋转机构相连，后侧端口连接进料装置。本实用新型节省了时间，降低多晶硅料落入石英坩埚中时激起的硅液波动，大幅提高了生产效率，提高石英坩埚利用率有效降低成本。

3、上述技术方案在进行投料时，其每次投料的总量都不一样，使得硅单晶炉每次加工的原料总量都不一样，从而造成每次成品总量都不一样，但由于硅单晶炉中的加工条件是不变的，因此原料的数量多寡极易对成品质量造成影响。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中在进行投料时，其每次投料的总量都不一样，但由于硅单晶炉中的加工条件是不变的，因此原料的数量多寡极易对成品质量造成影响的问题，而提出的一种连续加料硅单晶炉。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种连续加料硅单晶炉，包括硅单晶炉主体，所述硅单晶炉主体上固定安装有送料机构，所述送料机构上固定设置有料斗，所述料斗上开设有环槽，所述环槽中设置有滑块，所述滑块上固定连接有导料板，所述导料板上固定连接有承载板，所述承载板上开设有开口，所述承载板上固定连接有与开口对应设置的导料管，所述承载板中开设有收纳腔；

4、所述硅单晶炉主体上一体连接有安装凸缘，所述安装凸缘上固定安装有与承载板活动相抵的称重传感器；

5、所述料斗中设置有用于对开口进行封闭的封闭机构。

6、优选地，所述滑块滑动套设于环槽中，所述滑块为环状结构。

7、优选地，所述封闭机构包括固定安装于料斗中并与称重传感器电信连接的电机，所述电机输出端固定连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠上配套安装有螺母，所述螺母上固定连接有主动齿条，所述收纳腔中设置有从动齿条，所述料斗中通过轴承转动安装有转轴，所述转轴上固定套装有与主动齿条以及从动齿条啮合连接的齿轮，所述从动齿条上开设有导向槽，所述收纳腔中固定连接有与导向槽对应设置的导向块。

8、优选地，所述滚珠丝杠通过轴承转动安装于料斗上，所述滚珠丝杠水平设置于主动齿条下方位置。

9、优选地，所述转轴水平设置于导料管两侧位置，所述主动齿条水平设置于安装凸缘下方位置，所述承载板上开设有用于活动套设齿轮的活动通孔。

10、优选地，所述导向槽水平开设于从动齿条上表面位置，所述导向块与导向槽滑动连接。

11、与现有技术相比，本实用新型具备以下优点：

12、1、本实用新型通过环槽与滑块，使得导料板与承载板是活动设置的，从而使得称重传感器能更好地对承载板进行称重，有助于提高称重传感器的准确度。

13、2、本实用新型中通过称重传感器启动电机并驱动滚珠丝杠进行旋转，滚珠丝杠通过螺母带动主动齿条进行水平移动，主动齿条通过齿轮带动从动齿条进行水平移动，使得开口处于开启状态，以此实现定量送料。

技术特征：

1.一种连续加料硅单晶炉，包括硅单晶炉主体(1)，其特征在于，所述硅单晶炉主体(1)上固定安装有送料机构(2)，所述送料机构(2)上固定设置有料斗(3)，所述料斗(3)上开设有环槽(4)，所述环槽(4)中设置有滑块(5)，所述滑块(5)上固定连接有导料板(6)，所述导料板(6)上固定连接有承载板(7)，所述承载板(7)上开设有开口(8)，所述承载板(7)上固定连接有与开口(8)对应设置的导料管(9)，所述承载板(7)中开设有收纳腔(10)；

2.根据权利要求1所述的一种连续加料硅单晶炉，其特征在于，所述滑块(5)滑动套设于环槽(4)中，所述滑块(5)为环状结构。

3.根据权利要求1所述的一种连续加料硅单晶炉，其特征在于，所述封闭机构包括固定安装于料斗(3)中并与称重传感器(12)电信连接的电机(13)，所述电机(13)输出端固定连接有滚珠丝杠(14)，所述滚珠丝杠(14)上配套安装有螺母(15)，所述螺母(15)上固定连接有主动齿条(16)，所述收纳腔(10)中设置有从动齿条(17)，所述料斗(3)中通过轴承转动安装有转轴(18)，所述转轴(18)上固定套装有与主动齿条(16)以及从动齿条(17)啮合连接的齿轮(19)，所述从动齿条(17)上开设有导向槽(20)，所述收纳腔(10)中固定连接有与导向槽(20)对应设置的导向块(21)。

4.根据权利要求3所述的一种连续加料硅单晶炉，其特征在于，所述滚珠丝杠(14)通过轴承转动安装于料斗(3)上，所述滚珠丝杠(14)水平设置于主动齿条(16)下方位置。

5.根据权利要求4所述的一种连续加料硅单晶炉，其特征在于，所述转轴(18)水平设置于导料管(9)两侧位置，所述主动齿条(16)水平设置于安装凸缘(11)下方位置，所述承载板(7)上开设有用于活动套设齿轮(19)的活动通孔。

6.根据权利要求3所述的一种连续加料硅单晶炉，其特征在于，所述导向槽(20)水平开设于从动齿条(17)上表面位置，所述导向块(21)与导向槽(20)滑动连接。

技术总结
本技术涉及硅单晶炉技术领域，尤其涉及一种连续加料硅单晶炉，包括硅单晶炉主体，硅单晶炉主体上固定安装有送料机构，送料机构上固定设置有料斗，料斗上开设有环槽，环槽中设置有滑块，滑块上固定连接有导料板，导料板上固定连接有承载板，承载板上开设有开口，承载板上固定连接有与开口对应设置的导料管，通过环槽与滑块，使得导料板与承载板是活动设置的，从而使得称重传感器能更好地对承载板进行称重，有助于提高称重传感器的准确度，通过称重传感器启动电机并驱动滚珠丝杠进行旋转，滚珠丝杠通过螺母带动主动齿条进行水平移动，主动齿条通过齿轮带动从动齿条进行水平移动，使得开口处于开启状态，以此实现定量送料。

技术研发人员：唐建强,戴永丰,谭明,王嘉嘉
受保护的技术使用者：浙江宇辰智能装备有限公司
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/1/15