一种晶体生长提拉装置的制作方法

本技术涉及晶体生长设备，更具体地涉及一种晶体生长提拉装置。

背景技术：

1、助熔剂法生长晶体方法是高温熔液晶体生长法的一种，是目前最成功的晶体生长方法之一。通过助熔剂的引入降低了高温熔液的共熔点，可以生长非一致熔融的化合物晶体。在过去的30年中，通过四元素以上的多元元素组合的新晶体探索，制备出新型的晶体结构成分，利用单晶表征技术揭示化合物内在特性的潜力，可以开创广阔的研究领域，在晶体的提拉过程中，晶体生长装置内晶体刚形成的区域温度较高，而靠近籽晶杆入口的区域相对于晶体形成的区域温度较低。

2、所以现有技术中的问题是：由于从装置内部至外部的温度变化较大，籽晶杆提拉晶体时，晶体周围的温度降低较快，且可能会出现温度不稳定的情况，不利于晶体的生长。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种晶体生长提拉装置，为达到当温度变化较大，温度降低时，晶体提拉生长装置也可以很好促进晶体生长的目的。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种晶体生长提拉装置，包括基板，所述基板的上端固定连接有电加热器，所述电加热器的上端设置有炉体，所述基板的上端设置有用于晶体生长的提拉机构，所述炉体上设置有用于晶体提拉过程中利于晶体生长的恒温机构。

3、在进一步的技术方案中，所述提拉机构包括伺服电机、转动轴、滚珠丝杠、丝杠螺母和籽晶杆，所述伺服电机固定连接在所述基板的上端，所述转动轴固定连接在所述伺服电机的输出端，所述滚珠丝杠固定连接在所述转动轴的上端，所述丝杠螺母螺纹连接在所述滚珠丝杠的外侧，所述籽晶杆设置在所述丝杠螺母的一侧，通过上述结构，使得丝杠螺母带动一侧的籽晶杆对炉体内的晶体进行稳定提拉。

4、在进一步的技术方案中，所述恒温机构包括多组加热丝、多个温度控制器和多个温度传感器，多组所述加热丝固定连接在所述炉体的外侧，多个所述温度控制器分别固定连接在两个相邻的所述加热丝之间，多个所述温度传感器分别固定连接在所述炉体的内壁，且所述温度传感器和所述温度控制器电性连接，所述加热丝和所述温度控制器电性连接，通过上述结构，降低了晶体生长后向上提拉的过程中晶体周围的温度的变化速率，并使炉体上端的温度始终保持稳定，从而提高晶体的生长质量。

5、在进一步的技术方案中，所述丝杠螺母的一侧固定连接有连接杆，所述籽晶杆设置在所述连接杆的下端，连接杆能够对籽晶杆起到固定支撑的效果。

6、在进一步的技术方案中，所述基板上开设有多个安装孔，工作人员通过安装孔能够对本装置进行快速固定。

7、在进一步的技术方案中，所述滚珠丝杠的上端固定连接有挡板，挡板能够尽量避免丝杠螺母在滚珠丝杠上发生滑脱。

8、在进一步的技术方案中，所述连接杆的下端固定连接有环形座，所述环形座的下端开设有螺纹槽，所述籽晶杆的上端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆和所述螺纹槽螺纹连接，能够便于工作人员对籽晶杆进行拆卸更换。

9、在进一步的技术方案中，所述挡板的下端固定连接有橡胶垫，橡胶垫能够尽量避免挡板和丝杠螺母的上端发生刚性接触。

10、在进一步的技术方案中，所述基板的上端固定连接有固定板，所述固定板的一侧开设有限位滑槽，所述丝杠螺母的一侧固定连接有滑杆，所述滑杆和所述限位滑槽滑动连接，能够对丝杠螺母起到限位效果。

11、在进一步的技术方案中，所述转动轴的上端固定连接有硅胶垫，硅胶垫能够尽量避免转动轴的上端和丝杠螺母之间发生刚性接触。

12、1.本实用新型通过设有的温度传感器能够感应监测炉体内壁的不同高度的温度，调节温度传感器至晶体生长的最佳温度，开启加热丝，加热丝能够对炉体的不同高度进行加热，解决现有技术中由于从装置内部至外部的温度变化较大，籽晶杆提拉晶体时，晶体周围的温度降低较快，且可能会出现温度不稳定的情况，不利于晶体的生长问题，达到了降低了晶体生长后向上提拉的过程中晶体周围的温度的变化速率，并使炉体上端的温度始终保持稳定，从而提高晶体的生长质量的技术效果。

13、2.本实用新型通过设有的伺服电机的输出端带动转动轴向一侧转动，转动轴带动滚珠丝杠转动，滚珠丝杠带动丝杠螺母向上移动，丝杠螺母带动一侧的籽晶杆对炉体内的晶体进行稳定提拉，保证晶体的安全。

技术特征：

1.一种晶体生长提拉装置，包括基板，其特征在于：所述基板的上端固定连接有电加热器，所述电加热器的上端设置有炉体，所述基板的上端设置有用于晶体生长的提拉机构，所述炉体上设置有用于晶体提拉过程中利于晶体生长的恒温机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述提拉机构包括伺服电机、转动轴、滚珠丝杠、丝杠螺母和籽晶杆，所述伺服电机固定连接在所述基板的上端，所述转动轴固定连接在所述伺服电机的输出端，所述滚珠丝杠固定连接在所述转动轴的上端，所述丝杠螺母螺纹连接在所述滚珠丝杠的外侧，所述籽晶杆设置在所述丝杠螺母的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述恒温机构包括多组加热丝、多个温度控制器和多个温度传感器，多组所述加热丝固定连接在所述炉体的外侧，多个所述温度控制器分别固定连接在两个相邻的所述加热丝之间，多个所述温度传感器分别固定连接在所述炉体的内壁，且所述温度传感器和所述温度控制器电性连接，所述加热丝和所述温度控制器电性连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述丝杠螺母的一侧固定连接有连接杆，所述籽晶杆设置在所述连接杆的下端。

5.根据权利要求1所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述基板上开设有多个安装孔。

6.根据权利要求2所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述滚珠丝杠的上端固定连接有挡板。

7.根据权利要求4所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述连接杆的下端固定连接有环形座，所述环形座的下端开设有螺纹槽，所述籽晶杆的上端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆和所述螺纹槽螺纹连接。

8.根据权利要求6所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述挡板的下端固定连接有橡胶垫。

9.根据权利要求2所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述基板的上端固定连接有固定板，所述固定板的一侧开设有限位滑槽，所述丝杠螺母的一侧固定连接有滑杆，所述滑杆和所述限位滑槽滑动连接。

10.根据权利要求2所述的一种晶体生长提拉装置，其特征在于：所述转动轴的上端固定连接有硅胶垫。

技术总结
本技术涉及晶体生长设备技术领域，且公开了一种晶体生长提拉装置，包括基板，所述基板的上端固定连接有电加热器，所述电加热器的上端设置有炉体，所述基板的上端设置有用于晶体生长的提拉机构，所述炉体上设置有用于晶体提拉过程中利于晶体生长的恒温机构，所述恒温机构包括多组加热丝、多个温度控制器和多个温度传感器，多组所述加热丝固定连接在所述炉体的外侧，多个所述温度控制器分别固定连接在两个相邻的所述加热丝之间，多个所述温度传感器分别固定连接在所述炉体的内壁，通过上述结构，降低了晶体生长后向上提拉的过程中晶体周围的温度的变化速率，并使炉体上端的温度始终保持稳定，从而提高晶体的生长质量。

技术研发人员：曹国峰,李勇,李翔
受保护的技术使用者：宁夏晶创智能装备有限公司
技术研发日：20230717
技术公布日：2024/1/5