一种石英坩埚的制作方法

本技术涉及晶体生长装置，具体为一种石英坩埚。

背景技术：

1、卤化物闪烁晶体综合性能优良，是一种非常重要非常实用的闪烁晶体，应用广泛。比如溴化镧，溴化铈，碘化锶，碘化锂，clyc系列晶体等等。这些晶体原料存在一个共性，特别容易吸水潮解，容易氧化。

2、卤化物晶体生长时，在真空干燥手套箱将无水低氧的原料，转入预先处理和烘干的石英坩埚内，然后将石英管真空焊接密封。

3、由于晶体生长工艺复杂，要求严苛，生长这些晶体时，尤其是生长大尺寸晶体时，很容易出现因为生长工艺等非原料质量原因的晶体生长质量不良。常规的生长用石英坩埚，其主体部分上下等径。在这种情况之前，生长不良的晶体如果直接进行二次生长的话，因为晶锭与石英坩埚内部间隙太小，加上表面析出杂质以及晶锭脱落碎颗粒的影响，石英坩埚大概率会在升温过程直接碎裂，导致晶体生长失败，原料浪费。如果将石英坩埚破碎后取出晶锭，那么晶锭要二次使用的话，必须进行破碎和烘干等处理，处理成本高昂之外，质量也得不到保证，且石英坩埚升温完成后不方便取下进行位置的有效转移，用手直接拿取容易受伤，因此，需要提供一种石英坩埚，以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种石英坩埚，解决了上述背景中提到的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种石英坩埚，包括：

3、石英坩埚主体，所述石英坩埚主体内部设置有晶体；

4、所述石英坩埚主体包括粗管、顶部与细管，所述细管设置于粗管下端，所述顶部设置于粗管上端，所述细管下端设置有底部，所述粗管外表面一侧设置有凸柱，所述粗管一侧通过凸柱设置有卡紧组件；

5、所述卡紧组件包括弧形托板，所述弧形托板设置于凸柱下端。

6、优选的，所述卡紧组件还包括有条形柱、缓冲件与按压板，所述条形柱一端通过连接块与弧形托板固定连接，所述条形柱上端表面开设有安装槽，所述缓冲件设置于安装槽内部。

7、优选的，所述缓冲件包括座管、限位柱与复位弹簧，所述座管下端与安装槽底面固定连接，所述复位弹簧设置于座管内部，所述限位柱下端插入座管内部，所述限位柱上端与按压板下端表面固定连接。

8、优选的，所述按压板靠近弧形托板一端固定设置有弧形顶板，所述弧形顶板下端表面中心设置有卡柱，所述凸柱上开设有与卡柱相互配合的卡孔。

9、优选的，所述顶部用于与真空设备连接，同时在顶部进行石英真空密封焊接。

10、优选的，所述粗管的内径是细管内径的1.3-1.6倍，所述粗管的高度不低于细管高度。

11、优选的，所述细管高度略高于所需晶体的高度，所述底部设置为锥形。

12、与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：

13、1、该石英坩埚，利用粗管与细管连接处过渡台阶将晶锭支撑在粗管的大腔体内，在这种晶锭位置下，可以将晶锭再次进行二次生长，晶锭熔化的时候，由于晶锭和大尺寸腔体内部空隙很大，晶锭边界与坩埚接触宽松，相对自由，不会因为热膨胀或者导致石英坩埚主体碎裂。

14、2、该石英坩埚，通过设置卡紧组件，实现驱动条形柱，可有效移动石英坩埚主体同步移动，进行位置的移动与晶锭位置的调节，避免工作人员直接接触，保护工作人员安全。

技术特征：

1.一种石英坩埚，包括：

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚，其特征在于，所述卡紧组件(3)还包括有条形柱(301)、缓冲件(304)与按压板(305)，所述条形柱(301)一端通过连接块与弧形托板(303)固定连接，所述条形柱(301)上端表面开设有安装槽(302)，所述缓冲件(304)设置于安装槽(302)内部。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚，其特征在于，所述缓冲件(304)包括座管、限位柱与复位弹簧，所述座管下端与安装槽(302)底面固定连接，所述复位弹簧设置于座管内部，所述限位柱下端插入座管内部，所述限位柱上端与按压板(305)下端表面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚，其特征在于，所述按压板(305)靠近弧形托板(303)一端固定设置有弧形顶板(306)，所述弧形顶板(306)下端表面中心设置有卡柱(307)，所述凸柱(2)上开设有与卡柱(307)相互配合的卡孔(201)。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚，其特征在于，所述顶部(102)用于与真空设备连接，同时在顶部(102)进行石英真空密封焊接。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚，其特征在于，所述粗管(101)的内径是细管(103)内径的1.3-1.6倍，所述粗管(101)的高度不低于细管(103)高度。

7.根据权利要求1所述的一种石英坩埚，其特征在于，所述细管(103)高度略高于所需晶锭(4)的高度，所述底部设置为锥形。

技术总结
本技术涉及晶体生长装置技术领域，且公开了一种石英坩埚，包括石英坩埚主体，石英坩埚主体包括粗管、顶部与细管，细管设置于粗管下端，顶部设置于粗管上端，细管下端设置有底部，粗管外表面一侧设置有凸柱，粗管一侧通过凸柱设置有卡紧组件。该石英坩埚，利用粗管与细管连接处过渡台阶将晶锭支撑在粗管的大腔体内，在这种晶锭位置下，可以将晶锭再次进行二次生长，晶锭熔化的时候，由于晶锭和大尺寸腔体内部空隙很大，晶锭边界与坩埚接触宽松，相对自由，不会因为热膨胀或者导致石英坩埚主体碎裂。

技术研发人员：廖永建,周里华
受保护的技术使用者：惠磊光电科技（上海）有限公司
技术研发日：20230920
技术公布日：2024/4/24