一种单晶炉内置加料器卸料装置的制作方法

本实用新型涉及单晶棒加工技术领域，尤其是一种单晶炉内置加料器卸料装置。

背景技术：

单晶生长炉是生产单晶硅棒的设备，其生产过程为将装满多晶硅料的石英坩埚放入单晶炉内在负压状态下加热融化为液体硅料，再通过籽晶拉制成单晶硅。当石英坩埚内的液体硅料全部被拉制成单晶硅棒，待冷却后打开单晶炉取出单晶硅棒成品。单晶炉在拉制单晶的过程中，一直处于高温负压状态且石英坩埚冷却后不能再加热使用。固体硅料在融化成液体状态后，所占石英坩埚的容积会减少很多，这样就有空间加入更多的多晶硅料。现有技术中没有自动加入硅料的装置，晶棒尺寸较小，一定程度上造成了坩埚浪费、能源浪费。

所以，如何提供一种单晶炉内置加料器卸料装置，解决现有技术中无法自动加料的缺陷，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉内置加料器卸料装置，解决现有技术中存在的缺陷，具体方案如下：

一种单晶炉内置加料器卸料装置，包括加料器本体、顶盖、所述顶盖设于所述加料器本体的顶部，所述顶盖的上部还设有悬挂装置，所述加料器本体的底部设有卸料口，所述加料器本体的中部设有支撑环，所述悬挂装置包括连接板，所述连接板中心的设有挂钩，所述连接板的两侧设有悬挂杆，所述悬挂杆活动穿过所述顶盖以及所述支撑环，控制所述卸料口的开启。

具体的，所述卸料口包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板的一端通过第一铰接销与加料器本体铰接，所述第一挡板的另一端通过相对设置的第一组悬挂杆与所述连接板固定连接，所述第二挡板的一端通过第二铰接销与所述加料器本体铰接，所述第二挡板的另一端通过相对设置的第二组悬挂杆与所述连接板固定连接。

具体的，所述悬挂杆为钢丝绳。

具体的，所述加料器本体的上半部分还设有所述悬挂杆的锁紧装置。

具体的，所述加料器本体的四周还设有保护杆。

具体的，所述保护杆的数量有4条，均匀分布在所述加料器本体的四周。

具体的，所述保护杆的下部靠近所述卸料口的位置上还安装有放置硅料溅射的装置。

具体的，适用于CZ单晶生长炉。

本实用新型具有的优点是：1、利用内置加料器和所装硅料本身的重量，来控制加料器卸料开口的打开和关闭状态，具有很好的安全性和可控制性。2、结构简单，容易制作。3、有效降低单晶棒加工厂家的生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的单晶炉内置加料器卸料装置立体结构示意图。

图2为卸料口闭合状态结构示意图。

图3为卸料口打开状态结构示意图。

图中： 10、加料器本体 11、支撑环 12、顶盖 20、连接板 21、挂钩 22、悬挂杆 221、第一组悬挂杆 222、第二组悬挂杆 23、锁紧装置 30、卸料口 301、第一挡板 302、第二挡板 303、第一铰接销 304、第二铰接销 40、保护杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-3所示，图1为本实用新型提供的单晶炉内置加料器卸料装置立体结构示意图，图2为卸料口闭合状态结构示意图，图3为卸料口打开状态结构示意图。

本实用新型请求保护一种单晶炉内置加料器卸料装置，包括加料器本体10、顶盖12、所述顶盖12设于所述加料器本体10的顶部，所述顶盖12的上部还设有悬挂装置，所述加料器本体10的底部设有卸料口30，所述加料器本体10的中部设有支撑环11，所述悬挂装置包括连接板20，所述连接板20中心的设有挂钩21，挂钩与驱动电机（未图示）连接，所述连接板20的两侧设有悬挂杆22，所述悬挂杆22活动穿过所述顶盖12以及所述支撑环11，控制所述卸料口30的开启。

工作原理如下：

在装有硅料的内置加料器被提入单晶炉副室后，在驱动电机的作用下，内置加料器缓缓下降到石英坩埚（未图示）上部，下降到一定高度后，因为支撑环11的尺寸大于单晶炉内阀室（未图示）内圆的尺寸，整个内置加料器的重量会由支撑环11支撑，此时与驱动电机连接的悬挂杆22将不再受力，这时，卸料口30处会因为硅料的重量和本身的自重，处于打开状态，硅料将全部漏如入石英坩埚内。当内置加料器中的硅料卸完之后，加料器会再次被驱动电机提起，悬挂杆22重新受力拉紧，控制卸料开口关闭。

具体的，所述卸料装口30包括第一挡板301和第二挡板302，所述第一挡板301的一端通过第一铰接销303与加料器本体10铰接，所述第一挡板301的另一端通过相对设置的第一组悬挂杆221与所述连接板20固定连接，所述第二挡板302的一端通过第二铰接销304与所述加料器本体10铰接，所述第二挡板302的另一端通过相对设置的第二组悬挂杆222与所述连接板20固定连接。

优选的，所述悬挂杆22为钢丝绳。

进一步的，所述加料器本体10的上半部分还设有所述悬挂杆22的锁紧装置30。可以根据需要及时的固定悬挂杆，仅在需要卸料才拔下锁紧装置，可以避免硅料的意外洒落，保证操作安全。

更进一步的，所述加料器本体10的四周还设有保护杆40，保护杆的设置可以保护加单晶炉副室内壁不被划伤，起到顺滑的作用。

具体的，所述保护杆40的数量有4条，均匀分布在所述加料器本体10的四周。

具体的，所述保护杆40的下部靠近所述卸料口30的位置上还安装有放置硅料溅射的装置（未图示）。

具体的，装置适用于CZ型号单晶生长炉。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护之内。