本技术涉及金刚石长晶，具体而言，涉及一种生长腔体组件。
背景技术：
1、金刚石是自然界已知硬度最高、热导率最高的材料，杨氏模量、弹性模量、声传播速度高，光学透过性好，具有宽禁带、高电子迁移率，室温化学稳定性好等特性，并且具有良好的生物相容性、优异的抗辐射性能，可用于高端刀具，高功率激光器的发射窗口，激光晶体、大功率紫外/红外光学仪器的镜头，生物传感器、高能粒子探测器，音响振膜等领域。
2、mpcvd法，即微波等离子体化学气相淀积法，是大尺寸、高净度金刚石生长的最佳方法。目前，mpcvd法是在真空腔体中生长金刚石，存在以下问题：
3、在金刚石长晶过程中，无法测量金刚石在长晶过程中的生长厚度，而导致不能及时调整调节生长参数，进而不便于调控金刚石长晶情况。
技术实现思路
1、本实用新型的目的包括，例如，提供了一种生长腔体组件，其能够快速高效地测量金刚石生长厚度，调节生长参数，从而便于控制金刚石长晶厚度。
2、本实用新型的实施例可以这样实现：
3、第一方面，本实用新型提供一种生长腔体组件，包括：
4、腔体；
5、刻度标尺，所述刻度标尺包括多个设置在所述腔体内壁上的刻度单元，多个所述刻度单元沿腔体的高度方向依次布置。
6、在可选的实施方式中，所述刻度单元镶嵌在所述腔体的内壁上；所述刻度单元的表面与所述腔体的内壁表面齐平。
7、在可选的实施方式中，所述腔体的内壁上设有多个容纳槽，多个所述刻度单元一一对应地嵌设在多个所述容纳槽内，每一个所述容纳槽均与对应的所述刻度单元匹配，且每一个所述刻度单元的表面均与所述腔体的内壁表面齐平。
8、在可选的实施方式中，所述刻度单元可拆卸地设置于所述腔体的内壁上。
9、在可选的实施方式中，所述刻度单元均沿所述腔体的内周面的方向延伸；所述刻度单元呈圆弧形或圆环形；沿所述腔体的高度方向，相邻两个所述刻度单元之间间隔设置。
10、在可选的实施方式中，所述刻度单元的材质为惰性金属；
11、和/或，所述刻度单元的材质为金、银中任一种。
12、在可选的实施方式中，所述腔体上设置有透明的观察窗；
13、所述生长腔体组件还包括图像采集机构，所述图像采集机构设置于所述腔体外，且所述图像采集机构的采像窗口朝向所述观察窗及所述刻度标尺。
14、在可选的实施方式中，所述观察窗正对所述刻度标尺，所述图像采集机构的采像窗口正对所述观察窗。
15、在可选的实施方式中，所述图像采集机构为高精度相机。
16、在可选的实施方式中，还包括基板台和样品台；
17、所述样品台设置于所述腔体内的底部，所述基板台设置于所述样品台的顶部；
18、所述基板台用于放置金刚石籽晶。
19、在可选的实施方式中，所述样品台可升降地设置于所述腔体内的底部；
20、所述生长腔体组件还包括控制器，所述控制器分别与所述图像采集机构、所述样品台电连接。
21、本实用新型实施例的有益效果包括，例如：
22、本方案的生长腔体组件包括腔体和刻度标尺。其中腔体作为放置金刚石籽晶，以及金刚石沉积长晶的容器。而刻度标尺的刻度单元设置在腔体内壁上，刻度单元沿腔体高度方向依次布置。使用时金刚石籽晶与预设刻度单元对齐，通过观察金刚石长晶后的顶部对齐的刻度单元与预设刻度单元之间的距离/刻度数，就能够得到长晶的厚度。可以理解的是，这里的预设刻度单元可以是0刻度线。同时，因为多个刻度单元是沿腔体高度方向延伸，如此刻度单元的延伸方向就是长晶的厚度方向，从而保障对长晶厚度地准确测量。综上，生长腔体组件能够快速、便捷地测量金刚石长晶的厚度，同时实现直观观察金刚石厚度，便于调节生长参数，便于控制金刚石长晶厚度。
1.一种生长腔体组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生长腔体组件，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的生长腔体组件，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的生长腔体组件，其特征在于：
5.根据权利要求2所述的生长腔体组件，其特征在于：
6.根据权利要求1所述的生长腔体组件，其特征在于：
7.根据权利要求1-6中任一项所述的生长腔体组件，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的生长腔体组件，其特征在于：
9.根据权利要求7所述的生长腔体组件，其特征在于：
10.根据权利要求9所述的生长腔体组件，其特征在于：