玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及通过OVD法（外部沉积法）、VAD法（气相轴向沉积法）、MMD法（多燃 烧器多层沉积法）等使玻璃微粒沉积在起始棒上来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积 体制造方法以及对该玻璃微粒沉积体进行加热从而使其透明化的玻璃母材制造方法。
【背景技术】
[0002] 作为现有的玻璃母材制造方法，已知的是包括以下工序的制造方法：通过OVD法 或VAD法等制作玻璃微粒沉积体的沉积工序，以及对该玻璃微粒沉积体进行加热从而制作 透明的玻璃母材的透明化工序。
[0003] 例如，专利文献1公开了可在预制件（玻璃母材）形成时使用的、能使不含卤化物 的八甲基环四硅氧烷（OMCTS)等含硅化合物氧化的精密燃烧器。
[0004] 专利文献2公开了能够使SiCl4&GeCl4或OMCTS等含硅化合物发生水解反应或 氧化反应的线型燃烧器。
[0005] [现有技术文献]
[0006] [专利文献]
[0007] 专利文献1 :日本特表平11-510778号公报
[0008] 专利文献2 :美国专利6743011号公报
【发明内容】
[0009] 发明要解决的问题
[0010] 然而，在专利文献1以及专利文献2中记载的燃烧器中，将在燃烧器的火焰内生成 的玻璃微粒沉积在起始棒上从而制造玻璃微粒沉积体时，在提高玻璃原料收率的方面有改 善的余地。
[0011] 因此，本发明是鉴于以上问题而进行的，且其目的在于提供能够提高玻璃微粒沉 积体的玻璃原料收率的玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法。
[0012] 解决问题的方案
[0013] 作为可以解决上述课题的微粒沉积体的制造方法，本发明具有如下的沉积工序： 在反应容器内设置起始棒和玻璃微粒生成用燃烧器，向所述燃烧器中导入玻璃原料，在所 述燃烧器所形成的火焰内使玻璃原料发生火焰热分解反应以生成玻璃微粒，并且使生成的 玻璃微粒沉积在所述起始棒上，从而制作玻璃微粒沉积体；
[0014] 在所述沉积工序中，每一个燃烧器至少设置两个从所述燃烧器喷出玻璃原料的出 射口，并将从一个玻璃原料的出射口喷出的玻璃原料的流速设为4m/s以上60m/s以下。
[0015] 另外，作为可以解决上述课题的玻璃母材的制造方法，本发明提供这样一种玻璃 母材的制造方法，其具有如下的透明化工序：通过上述任意一种玻璃微粒沉积体的制造方 法而制造玻璃微粒沉积体，对该制造的玻璃微粒沉积体进行加热来制造透明的玻璃母材。
[0016] 发明的效果
[0017] 根据本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法，可以提高玻 璃微粒沉积体的玻璃原料收率。
[0018] 附图简要说明
[0019] 图1是示出可以实施本发明的实施方式的一个例子的玻璃微粒沉积体的制造方 法的制造装置的构成图。
[0020] 图2(a)是从燃烧器面一侧观察在图1所示的制造装置中生成玻璃微粒的燃烧器 的一个例子的平面图，（b)是（a)的平面图的燃烧器面的原料喷口附近的放大图。
[0021] 图3示出了本发明的实施方式所述的燃烧器的原料喷口的其他例子，并且是燃烧 器面的原料喷口附近的放大图。
[0022] 图4是示出在图1所示的制造装置中生成玻璃微粒的燃烧器的另一个例子的前视 图。
【具体实施方式】
[0023] (本发明的实施方式的说明）
[0024] 首先，举例说明本发明的实施方式的内容。
[0025] 本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法的实施方式的一个例子具有以下（1)~（9) 的任一特征。
[0026] (1) 一种玻璃微粒沉积体的制造方法，具有如下的沉积工序：在反应容器内设置 起始棒和玻璃微粒生成用燃烧器，向所述燃烧器中导入玻璃原料，在所述燃烧器所形成的 火焰内使玻璃原料发生火焰热分解反应以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉积在所 述起始棒上，从而制作玻璃微粒沉积体；
[0027] 在所述沉积工序中，每一个燃烧器至少设置两个从所述燃烧器喷出玻璃原料的出 射口，并将从一个玻璃原料的出射口喷出的玻璃原料的流速设为4m/s以上60m/s以下。
[0028] 根据具有这种特征的玻璃微粒沉积体的制造方法，使从玻璃微粒生成用燃烧器的 各出射口喷出的玻璃原料适当扩展，可以促进玻璃原料和形成火焰的气体的搅拌，从而提 高玻璃原料收率。
[0029] (2)在具有上述（1)的特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积工序中，优 选上述每一个燃烧器设置三个以上的上述出射口。
[0030] (3)在具有上述（1)的特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积工序中，优 选上述每一个燃烧器设置五个以上的上述出射口。
[0031] (4)在具有上述⑴~（3)中任一特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积 工序中，优选将从上述一个玻璃原料的出射口喷出的原料玻璃的流速设为lOm/s以上40m/ s以下。
[0032] (5)在具有上述（1)~（3)的任一特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积 工序中，优选将从上述一个玻璃原料的出射口喷出的原料玻璃的流速设为15m/s以上30m/ s以下。
[0033] (6)在具有上述（1)~（3)的任一特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积 工序中，优选将上述玻璃原料以气体状态供给至各上述出射口。
[0034] (7)在具有上述（1)~（3)的任一特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积 工序中，优选使上述玻璃原料成为气体状态，并将上述气体状态的玻璃原料和惰性气体混 合，从而供给至各上述出射口。
[0035] (8)在具有上述（1)~（7)的任一特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积 工序中，优选供给至上述燃烧器的上述玻璃原料为硅氧烷。
[0036] 根据该构成，在生成玻璃微粒时不会产生HC1等有害物质，并且可以抑制玻璃微 粒沉积体的制造成本。
[0037] (9)在具有上述（1)~（7)的任一特征的玻璃微粒沉积体的制造方法的上述沉积 工序中，优选供给至上述燃烧器的上述玻璃原料为八甲基环四硅氧烷（OMCTS)。
[0038] 本发明的玻璃母材的制造方法的实施方式的一个例子具有以下（10)或（11)的任 一特征。
[0039] (10)通过上述（1)~（9)中的任一玻璃微粒沉积体的制造方法制造玻璃微粒沉积 体，并且具有对该制造的玻璃微粒沉积体进行加热，从而制造透明的玻璃母材的透明化工 序。
[0040] 根据具有这种特征的玻璃母材的制造方法，能够提高玻璃微粒沉积体的玻璃原料 收率。
[0041] (11)在上述（10)的玻璃母材的制造方法中，优选通过OVD法、VAD法、MMD法中的 任意一种进行上述沉积工序中的玻璃微粒向上述起始棒的沉积。
[0042] (本发明的实施方式的具体内容）
[0043] 基于图1~图4对本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方 法的实施方式的一个例子进行说明。需要说明的是，以下的说明中，作为玻璃微粒沉积体 的制造方法，列举使用〇VD(OutsideVaporDeposition)法的例子，但在以下说明的实施 方式中，可以用作玻璃微粒沉积体的制造方法的方法不限于0VD法。也可以使用与0VD法 一样从玻璃原料中利用火焰热分解反应使玻璃沉积的方法，例如，VAD(VaporPhaseAxial Deposition)法或MMD(MultiburnerMultilayerDeposition)法等。
[0044] 图1是能够