一种防止硅芯断损的升降装置的制造方法

文档序号:8574640阅读:254来源:国知局
一种防止硅芯断损的升降装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于硅芯制备技术领域,具体涉及一种防止硅芯断损的升降装置。
【背景技术】
[0002]近年来,由于硅芯生产的多元化,硅芯制备通常采用区熔法。由于硅是半导体材料,具有温度越高,电阻越低的负阻效应。区熔法拉制的硅芯用于多晶硅生产载体,适用于还原炉内加热后或高压击穿后生长多晶硅。硅芯的生产工艺从最早的一次拉制一根的一炉次工艺,发展到现在一炉次能够拉制十多根,生产效率大大提高,但是区熔法生产硅芯时对操作要求较高,多根硅芯拉制工艺完全实现自动化控制较困难。而硅芯的直径范围为7-10mm,目前存在操作者劳动强度大的问题,并且在拉制完成以后,从上炉室剪制的过程中,由于时间原因而导致硅芯的整体温度仍然比较高,同时硅芯又是一种易断、易碎产品,其长度在2500-2800mm之间,因此经常发生硅芯掉落事件,导致成品硅芯断损率高,造成成本的浪费。
[0003]目前主要是采用升降装置来避免硅芯掉落,以希望把硅芯断损损耗降到最低。现有的升降装置主要存在以下问题:
[0004]第一,升降装置通过液压传动来实现控制。然而液压传动方式需要利用液压油,但硅芯炉室内通常不能出现油类的物质,这样就会使拉制出的硅芯出现不合格的现象,从而提高了硅芯的造价,使得成本高。
[0005]第二,现有的升降装置结构复杂,且不易操作,更重要的是,不能很好的保护拉制成的娃芯。
[0006]由于硅芯掉落而导致的硅芯断损的数目非常严重,每年因硅芯断损而导致的损失数量巨大,在多晶硅生产企业中,接近80%的企业还在采用硅芯当载体来生产多晶硅,因此对整个行业来说硅芯成品后的断损率是不能被忽视的。因此,亟需一种升降装置,以解决上述技术问题。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足,提供一种不需要采用液压油,且结构简单、便于操作的防止硅芯断损的升降装置。
[0008]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是该防止硅芯断损的升降装置包括依次相连的驱动机构、齿轮机构、升降机构和托盘,托盘支撑在升降机构上,齿轮机构在驱动机构的驱动下转动,升降机构能够将齿轮传动机构中的旋转运动转换为直线运动,以使托盘在升降机构的带动下作升降运动。
[0009]优选的是,所述升降机构包括内螺纹管、螺杆和防旋转管,所述内螺纹管与齿轮机构的输出端相连,所述螺杆设于内螺纹管内部并与内螺纹管螺纹连接,螺杆的下端为棱柱结构,所述防旋转管套设在螺杆下端的棱柱结构上,以使得螺杆无法随内螺纹管转动。
[0010]优选的是,所述螺杆下端的棱柱结构为六棱柱,相应地,防旋转管采用六角管。
[0011]优选的是,所述齿轮机构包括大锥齿轮和与大锥齿轮啮合的小锥齿轮,所述大锥齿轮的输入端与驱动机构相连,小锥齿轮与内螺纹管连接。
[0012]优选的是,所述大锥齿轮的齿数大于小锥齿轮的齿数。
[0013]优选的是,所述驱动机构采用手动驱动机构,该手动驱动机构包括转轴和手柄,大锥齿轮固设在转轴上,手柄与转轴的一端连接。
[0014]优选的是,所述托盘的形状与硅芯炉的内部形状相适配。
[0015]优选的是,该装置还包括缓冲面板,缓冲面板设置在托盘上,缓冲面板采用防烫、有弹性的材料制成。
[0016]优选的是,所述缓冲面板采用高温玻璃棉毡或海绵制成。
[0017]本实用新型升降装置的有益效果是:由于该升降装置不需要采用液压油,而是用硅脂来润滑,不会污染炉室而达到高纯卫生的要求,即可以解决硅芯炉中的卫生问题,避免不合格品的出现;该升降装置通过手动驱动机构实现手动调节托盘的高度,从而可解决因不同类型的硅芯炉的高度不一的问题,也可以避免因硅芯炉内部的支撑支架高度不够而无法使用的现象,因而可适用于现有的硅芯生产的一芯炉、三芯炉、五芯炉、六芯炉、七芯炉等一系列的硅芯拉制设备中(根据尺寸大小可适当调节装置的高度),并能够很好地保护线圈及硅芯的完好,使硅芯的断损率降到最低;通过在托盘上安置缓冲面板,硅芯在下落过程中,与缓冲面板形成软性碰撞,形成缓冲的效果,因而可以保护硅芯,以避免硅芯发生断损。
[0018]该升降装置的结构简单,且使用方便、制作成本低、且使用时不会影响硅芯的正常生产。
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型实施例1中防止硅芯断损的升降装置的结构示意图;
[0020]图2为本实用新型实施例1中防止硅芯断损的升降装置的立体图;
[0021]图3为本实用新型实施例1中防止硅芯断损的升降装置在硅芯炉内部的安装位置图。
[0022]图中:1-托盘;2_内螺纹管;3-轴承;4_小维齿轮;5_大维齿轮;6_手柄;7_转轴;8-轴承;9-螺母;10_螺栓;11_机箱;12-安装座;13-防旋转管;14_螺杆;15_支架;16-底座;17-硅芯炉;18-缓冲面板。
【具体实施方式】
[0023]下面将结合本实用新型中的附图,对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0024]本实用新型防止硅芯断损的升降装置包括依次相连的驱动机构、齿轮机构、升降机构和托盘,托盘支撑在升降机构上,齿轮机构在驱动机构的驱动下转动,升降机构能够将齿轮传动机构中的旋转运动转换为直线运动,以使托盘在升降机构的带动下作升降运动。
[0025]以下结合实施例对本实用新型进行详细说明。
[0026]实施例1:
[0027]如图1、2所示,本实施例中,该防止硅芯断损的升降装置包括机座,还包括依次相连的驱动机构、齿轮机构、升降机构和托盘1,托盘支撑在升降机构上,齿轮机构在驱动机构的驱动下转动,升降机构能够将齿轮传动机构中的旋转运动转换为直线运动,以使托盘I在升降机构的带动下作升降运动。
[0028]其中,机座包括底座16、支架15和机箱11。所述齿轮机构设于机箱11内。本实施例中,具体地,底座16为圆形底座,支架15包括三根支撑杆,三根支撑杆均设在底座16上,机箱11安装在安装座12上,安装座12安装在三根支撑杆的上端。
[0029]本实施例中,支架中的三根支撑杆根据现在三点定位原理能够起到很好的稳固作用,且拆卸和安装都极为方便。
[0030]优选地,本实施例中,所述升降机构包括内螺纹管2、螺杆14和防旋转管13,螺杆14的上部设有外螺纹,螺杆的下部为六棱柱结构,螺杆的上部安装在内螺纹管内并与内螺纹管2之间螺纹连接,防旋转管13为六角管,防旋转管13套设在螺杆下部的六棱柱结构上,以用于约束螺杆14,使螺杆14无法随内螺纹管2
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