一种拉晶炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，特别是涉及拉晶炉。
【背景技术】
[0002]晶粒是制造半导体致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二铋，作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐，晶粒里面的分子排列越整齐，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
[0004]制造晶棒时，对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶，拉晶是在拉晶炉中进行的。
[0005]拉晶中有细微温度的差别、速度差别、冷却速度差别都可以生产出不同规格的晶棒，满足生产不同型号半导体致冷件的需要。
[0006]拉晶炉具有炉架，在炉架上有上下设置的引导杆，还有加热盘穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置，升降装置运行可以实现加热盘的升降，加热盘中间有加热孔，在炉架上有加持晶棒的加持部件，加持部件在加热孔上面和下面的炉架设置，这样晶棒就穿过加热孔，上下移动加热盘就可以对竖直设置的晶棒进行拉晶；现有技术中，一个拉晶炉上只有一组引导杆和一个加热盘，在这一组引导杆上穿插一个加热盘，它具有产量低的缺点，另夕卜，其不能生产出多种规格的晶棒，不能满足一些生产的要求。
【发明内容】
[0007]本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种产量高、可以生产多组规格的拉晶炉。
[0008]本实用新型的技术方案是这样实现的:一种拉晶炉，包括炉架，在炉架上有上下设置的引导杆，还有加热盘穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置，所述的加热盘里面有加热管，升降装置运行可以实现加热盘的升降，加热盘中间有一个或多个穿插晶棒的加热孔，在炉架上有加持晶棒的加持部件，加持部件在加热孔上面和下面的炉架上设置，其特征是:所述的加热盘、升降装置是多个的，所述的引导杆是和加热盘对应的组数，每个加热盘分别穿插在一组引导杆中，每个加热盘连接一个升降装置，所述的加热盘在炉架中间从左至右设置或平面阵列。
[0009]进一步地讲，所述的加热盘下面连接冷却盘，加热盘和冷却盘之间有保温材料，所述的冷却盘内部有冷却液的循环管，冷却液的循环管连接冷却液的输送装置。
[0010]进一步地讲，所述的加热盘、升价装置，冷却液的输送装置分别连接控制装置。
[0011]进一步地讲，所述的控制装置具有每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元。
[0012]进一步地讲，每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元还有设定单
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[0013]进一步地讲，所述的加热盘周围的炉架上还安装有挡板。
[0014]本实用新型的有益效果是:
[0015]1、这样的拉晶炉具有产量高、可以生产多组规格晶棒的优点；
[0016]2、所述的加热盘下面连接冷却盘，加热盘和冷却盘之间有保温材料，所述的冷却盘内部有冷却液的循环管，冷却液的循环管连接冷却液的输送装置，具有拉晶后可以及时冷却、拉晶效果更好的优点；
[0017]3、所述的加热盘、升价装置，冷却液的输送装置分别连接控制装置，具有可以实现集中控制的优点；
[0018]4、所述的控制装置具有每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元，具有可以实现单独控制加热温度、升降速度，冷却温度等的优点，可以生产出不同型号的晶棒。
[0019]5、所述的加热盘周围的炉架上还安装有挡板，还具有保温效果更好的优点。
【附图说明】
[0020]图1是本实用新型的结构示意图。
[0021]图2是图1的A— A方向的结构示意图。
[0022]其中:1、炉架 2、引导杆 3、加热盘 4、升降装置 5、加热管 6、加热孔
7、晶棒 8、加持部件 9、冷却盘10、保温材料 11、冷却液的循环管 12、控制装置13、挡板。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0024]如图1、2所示，一种拉晶炉，包括炉架1，在炉架上有上下设置的引导杆2，还有加热盘3穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置4，所述的加热盘里面有加热管5，升降装置运行可以实现加热盘3的升降，加热盘中间有一个或多个穿插晶棒的加热孔6，在炉架上有加持晶棒7的加持部件8，加持部件在加热孔上面和下面的炉架上设置，其特征是:所述的加热盘、升降装置是多个的，所述的引导杆是和加热盘对应的组数，每个加热盘分别穿插在一组引导杆中，每个加热盘连接一个升降装置，所述的加热盘在炉架中间从左至右设置或平面阵列，图2显示了平面阵列4个加热盘的结构示意图。
[0025]这样，一次就可以用多个加热盘对晶棒进行加热，具有产量高的优点。
[0026]进一步地讲，所述的加热盘下面连接冷却盘9，加热盘和冷却盘之间有保温材料10，所述的冷却盘内部有冷却液的循环管11，冷却液的循环管连接冷却液的输送装置，这样在加热后可以实现急冷，适合一些生产的要求。
[0027]进一步地讲，所述的加热盘、升价装置，冷却液的输送装置分别连接控制装置12，这样可以分别控制加热的温度，升降的速，冷却的温度等。
[0028]进一步地讲，所述的控制装置具有每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元，这样可以对每个加热盘单独控制，生产出不同型号的晶棒。
[0029]进一步地讲，每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元还有设定单元，这样可以根据需要单独设定。
[0030]进一步地讲，所述的加热盘周围的炉架上还安装有挡板13，这样具有保温效果好的优点，挡板最好是玻璃。
[0031]以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的结构特征并不限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围内。
【主权项】
1.一种拉晶炉，包括炉架，在炉架上有上下设置的引导杆，还有加热盘穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置，所述的加热盘里面有加热管，升降装置运行可以实现加热盘的升降，加热盘中间有一个或多个穿插晶棒的加热孔，在炉架上有加持晶棒的加持部件，加持部件在加热孔上面和下面的炉架上设置，其特征是:所述的加热盘、升降装置是多个的，所述的引导杆是和加热盘对应的组数，每个加热盘分别穿插在一组引导杆中，每个加热盘连接一个升降装置，所述的加热盘在炉架中间从左至右设置或平面阵列。2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘下面连接冷却盘，加热盘和冷却盘之间有保温材料，所述的冷却盘内部有冷却液的循环管，冷却液的循环管连接冷却液的输送装置。3.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘、升价装置，冷却液的输送装置分别连接控制装置。4.根据权利要求3所述的拉晶炉，其特征是:所述的控制装置具有每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元。5.根据权利要求4所述的拉晶炉，其特征是:每一个加热盘、升价装置、冷却液的输送装置的开关单元还有设定单元。6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的拉晶炉，其特征是:所述的加热盘周围的炉架上还安装有挡板。
【专利摘要】本实用新型涉及半导体致冷件生产技术领域的设备，是一种拉晶炉，包括炉架，在炉架上有上下设置的引导杆，还有加热盘穿插在引导杆上，加热盘连接着升降装置，所述的加热盘里面有加热管，在炉架上有加持晶棒的加持部件，所述的加热盘、升降装置是多个的，所述的引导杆是和加热盘对应的组数，每个加热盘分别穿插在一组引导杆中，每个加热盘连接一个升降装置，所述的加热盘在炉架中间从左至右设置或平面阵列，所述的加热盘下面连接冷却盘，加热盘和冷却盘之间有保温材料，所述的冷却盘内部有冷却液的循环管，冷却液的循环管连接冷却液的输送装置，这样的拉晶炉具有产量高、可以生产多组规格晶棒的优点。
【IPC分类】C30B15/00
【公开号】CN204959079
【申请号】CN201520679139
【发明人】陈磊, 刘栓红, 赵丽萍, 张文涛, 蔡水占, 郭晶晶, 张会超, 陈永平, 王东胜, 惠小青, 辛世明, 田红丽
【申请人】河南鸿昌电子有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年9月6日