本发明涉及一种新颖化合物、含有该化合物而成的通过照射活性能量线而产生碱与自由基的光聚合引发剂、及含有该光聚合引发剂的感光性树脂组合物。
背景技术：
：以往已知通过照射光、红外线、电子束或X射线等活性能量线而产生强酸的光酸产生剂、或将该光酸产生剂调配于树脂成分中的化学增幅型抗蚀剂，它们被用于各种用途中。此种化学增幅型抗蚀剂中，通过照射活性能量线所产生的强酸作为催化剂对树脂成分发挥作用，使树脂对显影液的溶解性发生变化，借此进行图案形成。迄今为止以高感度化或高解像度化为目的进行了各种抗蚀剂材料的开发，但光酸产生剂与树脂的组合受到限定，从而要求开发新的化学增幅型抗蚀剂。利用活性能量线照射的单体或预聚物的光硬化技术大致分为自由基系、阳离子系及阴离子系这3种，这些之中，成为开发最广泛的对象的是对光自由基引发剂进行光照射而使乙烯基单体聚合的技术。另外，也研究利用光的作用产生酸，将该酸作为催化剂而进行阳离子聚合的技术。然而，于自由基聚合系的情形时，会因空气中的氧而阻碍聚合反应，因此需要用来阻隔氧的特别设计。另外，于阳离子聚合系的情形时，虽于不会受到氧的阻碍的方面有利，但被指出存在如下担忧：自硬化后也残存的光酸产生剂产生的强酸具有腐蚀性或导致树脂发生改性。因此，强烈期望开发出不含如强酸那样的腐蚀性物质，不会受到空气中的氧的阻碍而能高效率且迅速地进行反应的感光性树脂组合物。根据此种状况，业界提出使用阴离子系光碱产生剂的感光性树脂组合物，所述阴离子系光碱产生剂将通过光的作用所产生的碱用于聚合反应或化学反应中。然而，可以列举如下缺点：与自由基系光聚合引发剂或阳离子系光酸产生剂相比，阴离子系光碱产生剂的光感度较差，必须照射较强的活性能量线。因此，寻求一种能够通过光照射高感度地分解而产生反应性较高的碱的光碱产生剂。如果能够进而与碱一并同时产生自由基等活性种，那么能够更高效率地进行硬化。于专利文献1中揭示一种感光性树脂组合物，其含有光自由基聚合引发剂、光碱产生剂及具有环氧基的丙烯酸酯树脂。通过照射活性能量线自该感光性树脂组合物产生自由基与胺，通过该自由基首先诱发丙烯酸酯基的聚合反应，其次通过实施加热使该胺与环氧基反应而获得硬化物。然而，自专利文献1中所使用的肟系光碱产生剂产生的胺是单官能，并不作为环氧树脂的交联剂发挥功能，因此存在如下问题：为了提高硬化物的交联密度，必须进而大量添加硬化收缩率较大的丙烯酸酯化合物。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2015-110765号公报非专利文献非专利文献1：J.Photopolym.Sci.Technol.,Vol.27,No.2(2014),p223-225非专利文献2：有光晃二等人，高分子论文集，Vol.71,No.2(2014),p53-58(Feb.,25,2014)技术实现要素：[发明要解决的问题]本发明是鉴于如上所述的课题而成，其目的在于提供一种能够通过照射活性能量线而产生碱与自由基的新颖化合物、含有该新颖化合物而成的光聚合引发剂及含有该光聚合引发剂的感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物为高感度且保存稳定性优异，且能够获得并无金属腐蚀性的硬化物。[解决问题的技术手段]本发明者等人为了解决所述课题而反复努力研究，结果发现通过使用特定结构的化合物作为光聚合引发剂，能够解决所述课题，从而完成本发明。即，本研究涉及：(1)一种化合物，其是以下述式(1)表示：[化1](式(1)中，R1表示氢原子、羟基、烷氧基或所述取代基以外的有机基，于R1存在数个的情形时，各个R1可以相互相同也可以不同。R2至R6分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、烷氧基、巯基、硫基(sulfidegroup)、硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、氰基、亚磺酸基(sulfinogroup)、磺基、磺酸酯基(sulfonatogroup)、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基(phosphonatogroup)、氨基、铵基或所述取代基以外的有机基。另外，存在于同一苯环上的选自R2至R6中的2个以上也可以键结而形成环结构；X表示自含有环结构的饱和烃除去n个氢原子而成的残基。n表示1至6的整数)；(2)根据前项(1)所述的化合物，其是以下述式(2)表示：[化2](式(2)中，R1至R6表示与前项(1)中所记载的式(1)中的R1至R6相同的含义。A表示亚环烷基。D表示亚烷基)；(3)根据前项(2)所述的化合物，其是以下述式(3)表示：[化3](式(3)中，R1至R6表示与前项(2)中所记载的式(2)中的R1至R6相同的含义)；(4)根据前项(1)至(3)中任一项所述的化合物，其中R1为羟基；(5)一种光聚合引发剂，其含有根据前项(1)至(4)中任一项所述的化合物；(6)一种感光性树脂组合物，其含有能够于光聚合引发剂的存在下通过光照射或通过光照射与加热而进行聚合的高分子前驱物、及根据前项(5)所述的光聚合引发剂；(7)根据前项(6)所述的感光性树脂组合物，其中高分子前驱物包含选自由如下化合物所组成的群中的一种以上：具有环氧基、异氰酸酯基、氧杂环丁烷基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、马来酰亚胺基或硫杂环丙烷基的化合物；聚硅氧烷前驱物；聚酰亚胺前驱物及聚苯并恶唑前驱物；(8)根据前项(7)所述的感光性树脂组合物，其中高分子前驱物包含具有环氧基的化合物；及(9)一种图案的形成方法，其包含如下步骤：以特定的图案状对根据前项(6)至(8)中任一项所述的感光性树脂组合物的涂膜、膜或成形物照射光之后进行加热，或者一边进行加热一边以特定的图案状照射光，借此使照射部位的溶解性发生变化；以及实施显影而将未照射部位除去。[发明的效果]本发明的具有式(1)所表示的结构的化合物能够通过照射活性能量线而产生碱与自由基。所产生的碱是具有亲核性较高的环结构的单官能或多官能胺，裂解的量子产率也较高，因此该化合物能够作为具有比现有的光碱产生剂优异的感度的光聚合引发剂而使用。进而，含有该化合物的本发明的感光性树脂组合物于照射活性能量线时并不产生腐蚀金属的酸，因此也能够于包含金属的材料等中适宜地使用。附图说明图1是本发明的光聚合引发剂及比较用的光聚合引发剂的吸光度的测定结果。图2是本发明的感光性树脂组合物的残膜率的评价结果。具体实施方式以下，对本发明加以详细说明。另外，本发明中的所谓活性能量线，除了特定出波长的情形以外，不仅仅为可见光，也包含如电子束那样的粒子束、及对电磁波与粒子束进行总称的放射线或电离放射线等。于本说明书中，也将活性能量线的照射称为曝光。另外，有时也将波长为365nm、405nm、436nm的活性能量线分别表记为i射线、h射线、g射线。本发明的化合物具有下述式(1)所表示的结构。[化4]式(1)中，R1表示氢原子、羟基、烷氧基或所述取代基以外的有机基，于R1存在数个的情形时，各个R1可以相互相同也可以不同。作为式(1)的R1所表示的烷氧基，优选碳数1～18的烷氧基，作为其具体例，可以列举：甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、异戊氧基、新戊氧基、正己氧基及正十二烷氧基等。作为式(1)的R1所表示的「所述取代基以外的有机基」(以下，有时简称为「有机基」)的具体例，可以列举：碳数1～18的烷基、碳数2～18的烯基、碳数2～18的炔基、碳数6～12的芳基、碳数1～18的酰基、碳数7～18的芳酰基、硝基、氰基、碳数1～18的烷硫基及卤素原子等。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数1～18的烷基，可以列举：甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基及正十二烷基等直链状或支链状的烷基、以及环丙基、环丁基、环戊基及环己基等环状的烷基，优选碳数2～6的烷基，更优选碳数2～6的直链状或支链状的烷基。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数2～18的烯基，可以列举：乙烯基、丙烯基、1-丁烯基、异丁烯基、1-戊烯基、2-戊烯基、2-甲基-1-丁烯基、3-甲基-1-丁烯基、2-甲基-2-丁烯基、2,2-二氰基乙烯基、2-氰基-2-甲基羧基乙烯基及2-氰基-2-甲基砜基乙烯基等。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数2～18的炔基，可以列举乙炔基、1-丙炔基及1-丁炔基等。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数6～12的芳基，可以列举苯基、萘基及甲苯基等，优选碳数6～10的芳基。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数1～18的酰基，可以列举：甲酰基、乙酰基、乙基羰基、正丙基羰基、异丙基羰基、正丁基羰基、正戊基羰基、异戊基羰基、新戊基羰基、2-甲基丁基羰基及硝基苄基羰基等。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数7～18的芳酰基，可以列举苯甲酰基、甲苯酰基、萘甲酰基及邻苯二甲酰基等。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的碳数1～18的烷硫基，可以列举：甲硫基、乙硫基、正丙硫基、异丙硫基、正丁硫基、异丁硫基、仲丁硫基、叔丁硫基、正戊硫基、异戊硫基、2-甲基丁硫基、1-甲基丁硫基、新戊硫基、1,2-二甲基丙硫基及1,1-二甲基丙硫基等。作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例中的卤素原子，可以列举氟原子、氯原子、溴原子及碘原子。作为式(1)中的R1，优选烷氧基，更优选碳数1～18的烷氧基，进而优选碳数1～6的烷氧基，特别优选碳数1～4的烷氧基，最优选甲氧基。式(1)中，R2至R6分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、烷氧基、巯基、硫基、硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、氰基、亚磺酸基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基或所述取代基以外的有机基。另外，存在于同一苯环上的选自R2至R6中的2个以上也可以键结而形成环结构，该环结构也可以包含杂原子的键。作为式(1)的R2至R6所表示的卤素，可以列举与作为式(1)的R1所表示的有机基的具体例的卤素原子相同的卤素。作为式(1)的R2至R6所表示的烷氧基，可以列举与式(1)的R1所表示的烷氧基相同的烷氧基。作为式(1)的R2至R6所表示的有机基的具体例，可以列举：烷基、芳基、芳烷基、卤化烷基、异氰基、氰酸酯基、异氰酸酯基、硫氰酸酯基、异硫氰酸酯基、烷氧基羰基、胺甲酰基、硫代胺甲酰基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、羟基亚氨基等。作为式(1)的R2至R6所表示的有机基的具体例中的烷基、芳基及酰基，例如可以列举与碳数1～20的烷基、碳数6～20的芳基及碳数1～20的酰基相同的基团。这些有机基可以于该有机基中含有杂原子等烃基以外的键或取代基，它们可以为直链状也可以为支链状。R2至R6中的有机基通常为1价的有机基，但于形成下述环状结构的情形等时，可以成为2价以上的有机基。可以包含所述R2至R6的有机基中的烃基以外的键，作为烃基以外的键，只要并不损及本发明的效果，那么并无特别限定，可以列举：醚键、硫醚键、羰基键、硫羰基键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、碳酸酯键、磺酰基键、亚磺酰基键、偶氮键等。就耐热性方面而言，作为有机基中的烃基以外的键，优选醚键、硫醚键、羰基键、硫羰基键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、亚氨基键(-N＝C(-R)-、-C(＝NR)-：此处R为氢原子或有机基)、碳酸酯键、磺酰基键、亚磺酰基键。作为所述R2至R6的有机基中的烃基以外的取代基，只要并不损及本发明的效果，那么并无特别限定，可以列举：卤素原子、羟基、巯基、硫基、氰基、异氰基、氰酸酯基、异氰酸酯基、硫氰酸酯基、异硫氰酸酯基、硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、胺甲酰基、硫代胺甲酰基、硝基、亚硝基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、亚磺酸基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、羟基亚氨基、饱和或不饱和烷基醚基、饱和或不饱和烷基硫醚基、芳基醚基、及芳基硫醚基、氨基(-NH2、-NHR、-NRR'：此处，R及R'分别独立为烃基)、铵基等。所述取代基中所含的氢也可以经烃基取代。另外，所述取代基中所含的烃基可以为直链、支链、及环状中的任一者。其中，作为R2至R6的有机基中的烃基以外的取代基，优选卤素原子、羟基、巯基、硫基、氰基、异氰基、氰酸酯基、异氰酸酯基、硫氰酸酯基、异硫氰酸酯基、硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、胺甲酰基、硫代胺甲酰基、硝基、亚硝基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、亚磺酸基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、羟基亚氨基、饱和或不饱和烷基醚基、饱和或不饱和烷基硫醚基、芳基醚基、及芳基硫醚基。另外，R2至R6也可以其中2个以上进行键结而形成环状结构。环状结构也可以为饱和或不饱和的脂环式烃、杂环、及缩合环、以及选自由该脂环式烃、杂环、及缩合环所组成的群中的2种以上进行组合而成的结构。例如，R2至R6也可以其中2个以上进行键结且共有R2至R6所键结的苯环的原子而形成萘、蒽、菲、茚等缩合环。于本发明中，优选向本发明的取代基R2至R6中导入1个以上取代基。即，R2至R6的至少1个可以具有如下取代基：卤素、羟基、巯基、硫基、硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺酸基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基或所述取代基以外的有机基。通过向取代基R2至R6中导入至少1个如上所述的取代基，能够调整所吸收的光的波长，也可以通过导入取代基而吸收所期望的波长。另外，通过导入使芳香族环的共轭链延伸的取代基，能够使吸收波长向长波长位移。特别是于导入含有硫原子的巯基、硫基作为取代基R2至R6的情形时，就能够使吸收大幅度地向长波长位移的方面而言优选。另外，存在如下情形：也能够使溶解性或与所组合的高分子前驱物的相溶性提高。借此，也存在如下情形：也能够考虑所组合的高分子前驱物的吸收波长，且使感光性树脂组合物的感度提高。作为R2至R6的有机基的优选具体例，优选：甲基、乙基、丙基等碳数1～20的烷基；环戊基、环己基等碳数4～23的环烷基；环戊烯基、环己烯基等碳数4～23的环烯基；苯氧基甲基、2-苯氧基乙基、4-苯氧基丁基等碳数7～26的芳氧基烷基(-ROAr基)；苄基、3-苯基丙基等碳数7～20的芳烷基；氰基甲基、β-氰基乙基等具有氰基的碳数2～21的烷基；羟基甲基等具有羟基的碳数1～20的烷基；甲氧基、乙氧基等碳数1～20的烷氧基；乙酰胺基、苯磺酰胺基(C6H5SO2NH2-)等碳数2～21的酰胺基；甲硫基、乙硫基等碳数1～20的烷硫基(-SR基)；乙酰基、苯甲酰基等碳数1～20的酰基；甲氧基羰基、乙酰氧基等碳数2～21的酯基(-COOR基及-OCOR基)；苯基、萘基、联苯基、甲苯基等碳数6～20的芳基；经推电子基及/或拉电子基取代的碳数6～20的芳基；经推电子基及/或拉电子基取代的苄基、氰基、及甲硫基(-SCH3)。另外，所述烷基部分可以为直链也可以为支链状，也可以为环状。另外，作为R2至R6，就吸收波长实现长波长化的方面而言，也优选如下情形：其中2个以上进行键结且共有R2至R6所键结的苯环的原子而形成萘、蒽、菲、茚等缩合环。另外，于本发明的光聚合引发剂中，R2至R6的至少1个为羟基的情形时，就如下方面而言优选：与R2至R6中不含羟基的化合物相比，能够实现对碱性水溶液等的溶解性的提高、及吸收波长的长波长化。作为式(1)中的R2至R6，优选全部为氢原子，或者R2、R3、R5及R6为氢原子而R4为烷氧基。式(1)中，X表示自含有环结构的饱和烃除去n个氢原子而成的残基(以下也简记为「饱和烃残基」)。作为饱和烃残基中所含的环结构，可以列举三至十员环的饱和烃，该饱和烃残基中所含的环结构可以为一个也可以为数个。作为饱和烃残基中所含的环结构的具体例，可以列举环丙烷环、环丁烷环、环戊烷环、环己烷环、金刚烷环等结构。式(1)中，n表示1至6的整数，优选1至2的整数，更优选2。即，作为本发明的式(1)所表示的化合物，更优选下述式(2)所表示的化合物。[化5]式(2)中，R1至R6表示与式(1)中的R1至R6相同的含义，优选者也与式(1)中的R1至R6相同。A表示亚环烷基。D表示亚烷基。式(2)的A所表示的所谓亚环烷基是自环丙烷环、环丁烷环、环戊烷环、环己烷环及金刚烷环等饱和环状烃除去2个氢原子而成的二价连结基，优选1,3-亚环戊基或1,4-亚环己基，更优选1,4-亚环己基。式(1)的D所表示的所谓亚烷基是自饱和的脂肪族烃(例如甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、己烷、庚烷及辛烷等)除去2个氢原子而成的二价连结基，优选碳数1～18的亚烷基，更优选碳数1～12的亚烷基，进而优选碳数1～8的直链状的亚烷基(具体而言为亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚戊基、亚己基、亚庚基及亚辛基)，特别优选碳数1～4的亚烷基，最优选碳数1的亚烷基(即亚甲基)。即，作为式(2)所表示的化合物，更优选下述式(3)所表示的化合物。[化6]式(3)中，R1至R6表示与式(2)中的R1至R6相同的含义，优选者也与式(2)中的R1至R6相同。本发明的式(1)所表示的化合物通过照射活性能量线，能够如下述式所示那样伴有裂解反应与脱碳酸反应而生成自由基与碱性化合物，通过该产生的自由基而使具有自由基聚合性基的高分子前驱物开始自由基聚合。另外，与自由基同时产生的碱性化合物不仅能够与下述高分子前驱物进行交联反应，而且也能够通过该产生的碱的催化剂作用而降低高分子前驱物的硬化起始温度。[化7]其次，对本发明的式(1)所表示的化合物的合成方法加以说明。本发明的式(1)所表示的化合物可以通过应用公知的方法而合成。如果应用J.Photopolym.Sci.Technol27,2,2014中所记载的方法，那么能够合成各种化合物。例如可以通过如下方式而获得：于金属氢氧化物的存在下，使下述式(21)所表示的安息香衍生物与多聚甲醛类于室温下反应30分钟而制成式(22)所表示的中间化合物后，于锡或铅等的有机化合物的催化剂的存在下，使该中间化合物与异氰酸酯类反应，但式(1)所表示的化合物的合成方法并不限定于所述方法。关于纯化法，对于结晶性较高的化合物而言，适宜的是晶析法。或者也可以通过利用溶剂等进行洗净而纯化。另外，式(21)及(22)中的X、R1至R6及n表示与式(1)中的X、R1至R6及n相同的含义。[化8]将式(1)所表示的化合物的具体例表示于下述式(a)～(h)，但本发明并不限定于这些。[化9][化10]于使用本发明的式(1)所表示的化合物作为光聚合引发剂的情形时，为了产生能够充分有助于高分子前驱物的聚合(缩聚)反应的自由基与碱性化合物，必须对曝光波长的至少一部分具有吸收。作为一般的曝光光源的高压水银灯的波长为365nm、405nm及436nm，因此优选对这些波长的活性能量线中的至少1种具有吸收。于此情形时，就可以应用的高分子前驱物的种类进一步增加的方面而言优选。于使用式(1)所表示的化合物作为光聚合引发剂的情形时，就可以应用的高分子前驱物的种类进一步增加的方面而言，优选其摩尔吸光系数相对于波长为365nm的活性能量线而为100以上，或者相对于波长为405nm的活性能量线而为1以上。另外，本发明的式(1)所表示的化合物于所述波长区域具有吸收可以通过如下方式而确认：于在该波长区域并不具有吸收的溶剂(例如乙腈)中，以1×10-4mol/L以下的浓度(通常为1×10-4mol/L～1×10-5mol/L左右。也可以按照成为适度的吸收强度的方式适当调节)溶解式(1)所表示的碱产生剂，通过紫外-可见分光光度计(例如UV-2550，岛津制作所股份有限公司制造)测定吸光度。包含本发明的式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂(光碱产生剂)具有比现有公知的光碱产生剂优异的感度，因此能够进行各种应用。并不限于与能够通过碱性物质或通过碱性物质的存在下的加热而进行聚合(缩聚)反应的下述高分子前驱物进行组合，也可以与因酸-碱指示剂等碱而导致结构或物性发生变化的化合物进行组合，而获得各种感光性组合物。此种感光性组合物能够用作涂料、印刷墨水、密封剂、或接着剂、或者显示装置、半导体装置、电子零件、微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem(MEMS))、光学构件或建筑材料的形成材料。例如，也可以应用于具有如下特征的如图像形成媒体的显示装置等中：在使至少含有包含本发明的式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂(光碱产生剂)与酸-碱指示剂的图像形成层被覆于基材上或含浸于基材中而成的图像形成媒体中，如果对图像形成层进行曝光，那么所述光碱产生剂生成与酸-碱指示剂反应的碱，形成图像。＜感光性树脂组合物＞本发明的感光性树脂组合物含有可以于包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的存在下，通过光照射或通过光照射与加热而进行聚合的高分子前驱物。由于伴随着高分子前驱物的聚合反应的溶解性变化，于曝光部与未曝光部之间产生溶解性差，即溶解性对比度变大，借此能够形成使用本发明的感光性树脂的硬化物图案。＜高分子前驱物＞本发明的感光性树脂组合物所含有的所谓高分子前驱物是指可以通过自由基或碱性物质，或者通过碱性物质的存在下的加热而产生聚合反应，由此进行高分子量化而成为硬化物的化合物。作为所述聚合反应，可以列举通过自由基所诱发的高分子前驱物彼此的缩聚反应、及通过照射活性能量线而自式(1)所表示的化合物产生的碱性化合物(胺类)与高分子前驱物的缩聚反应这两者，自式(1)所表示的化合物产生的碱性化合物作为催化剂发挥作用，起到使加热硬化时的反应起始温度降低的作用，此情形也包含于本发明的感光性树脂组合物的形态中。高分子前驱物的分子量并无特别限定，优选重量(或数量)平均分子量为500～10000左右。作为本发明的感光性树脂组合物所含的高分子前驱物，只要为可以通过自式(1)所表示的化合物产生的自由基所诱发的聚合反应而高分子量化的化合物、可以通过自式(1)所表示的化合物产生的碱性物质或通过该碱性物质的存在下的加热而进行聚合(缩聚)反应的化合物、及通过该碱性化合物的作为催化剂的作用使聚合(缩聚)反应的反应起始温度降低的化合物，那么可以并无特别限制地使用。以下列举高分子前驱物的具体例，但本发明的感光性树脂组合物可以含有的高分子前驱物并不限定于这些。＜通过自由基聚合反应而成为高分子的高分子前驱物＞作为可以通过自式(1)所表示的化合物产生的自由基所诱发的聚合反应而高分子量化的高分子前驱物，可以列举具有自由基聚合性的取代基的化合物。作为具有自由基聚合性的取代基的化合物，优选于分子内具有双键的化合物，优选具有烯丙基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基或马来酰亚胺基等的化合物。作为具有丙烯酰基或甲基丙烯酰基的化合物(其中具有环氧基的化合物除外)的具体例，可以列举：1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯及1,10-癸二醇二丙烯酸酯等二醇的二丙烯酸酯；乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、于新戊二醇上加成环氧乙烷及环氧丙烷中的至少任1种而获得的二醇的二丙烯酸酯及己内酯改性羟基特戊酸新戊二醇二丙烯酸酯等二醇的二丙烯酸酯；双酚A的EO加成物的二丙烯酸酯、双酚A的PO加成物的二丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯、氢化二环戊二烯基二丙烯酸酯及环己基二丙烯酸酯等具有环状结构的二丙烯酸酯等。作为具有丙烯酰基或甲基丙烯酰基的化合物的市售品的具体例，可以列举：Lightacrylate1,6HX-A、1,9ND-A、3EG-A及4EG-A(均为商品名，由共荣社化学股份有限公司制造)；HDDA、1,9-NDA、DPGDA及TPGDA(均为商品名，由Daicel-Allnex股份有限公司制造)、Viscoat#195、#230、#230D、#260、#310HP、#335HP及#700HV(均为商品名，由大阪有机化学工业股份有限公司制造)、ARONIXM-208、M-211B、M-220M-225、M-240、M-270(均为商品名，由东亚合成股份有限公司制造)等。这些之中，就粘度及与式(1)所表示的化合物的相溶性的观点而言，优选具有碳数4～12的烷基链的二醇的二丙烯酸酯，特别是1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙烯酸酯及1,10-癸二醇二丙烯酸酯。＜通过分子间反应而成为高分子的高分子前驱物＞作为可以通过因自式(1)所表示的化合物产生的碱性物质或该碱性物质的存在下的加热引起的分子间反应而高分子量化的高分子前驱物，可以列举具有可以与该碱性物质反应的取代基的化合物及/或可以通过利用该碱性物质的存在下的加热而于分子间形成键的反应(交联反应)进行高分子量化的化合物。作为可以与碱性物质反应的取代基及可以进行利用碱性物质的存在下的加热而于分子间形成键的反应的取代基，可以列举环氧基、氧杂环丁烷基、硫杂环丙烷基、异氰酸酯基、羟基、硅烷醇基等。另外，高分子前驱物中也包含于分子间进行水解/缩聚的化合物，作为可以于分子间进行水解/缩聚反应的取代基，可以列举聚硅氧烷前驱物的-SiX(此处，X是选自由烷氧基、乙酰氧基、肟基、苯氧基、氨基、胺氧基、酰胺基、及卤素所组成的群中的水解性基)。作为具有可以与碱性物质反应的取代基的化合物，可以列举具有至少一种所述取代基的化合物，例如可以列举于分子内具有1个以上环氧基的化合物、于分子内具有1个以上氧杂环丁烷基的化合物、及于分子内具有1个以上硫杂环丙烷基的化合物。以下，对具有环氧基的化合物加以具体说明，关于具有氧杂环丁烷基、硫杂环丙烷基的化合物也可以同样地使用。＜具有环氧基的化合物＞作为具有环氧基的化合物，只要于分子内具有1个以上环氧基，那么并无特别限制，可以使用现有公知的化合物。包含本发明的式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂一般也具有作为于分子内具有1个以上环氧基的化合物的硬化催化剂的功能。于使用于分子内具有1个以上环氧基的化合物的情形时，也可以并用于分子内具有两个以上与环氧基具有反应性的官能基的化合物。此处，作为与环氧基具有反应性的官能基，例如可以列举羧基、酚性羟基、巯基、一级或二级的芳香族氨基等。作为于分子内具有两个以上与环氧基具有反应性的官能基的化合物，可以列举于重量平均分子量为3,000～100,000的聚合物侧链导入有所述官能基的化合物，并用该化合物的形态是优选的形态之一。于所述聚合物的重量平均分子量小于3,000的情形时，存在膜强度降低且于硬化膜的表面产生粘性(粘腻性)，变得容易附着杂质等的担忧，于大于100,000的情形时，存在熔融粘度或溶解于溶剂中时的粘度增大的担忧。作为于分子内具有1个以上环氧基的化合物，例如可以列举自双酚A与表氯醇所衍生的双酚A型环氧树脂、自双酚F与表氯醇所衍生的双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、双酚A酚醛清漆型环氧树脂、双酚F酚醛清漆型环氧树脂、脂环式环氧树脂、二苯醚型环氧树脂、对苯二酚型环氧树脂、萘型环氧树脂、联苯型环氧树脂、茀型环氧树脂、3官能型环氧树脂或4官能型环氧树脂等多官能型环氧树脂、缩水甘油酯型环氧树脂、缩水甘油胺型环氧树脂、乙内酰脲型环氧树脂、异氰尿酸酯型环氧树脂、脂肪族链状环氧树脂等，这些环氧树脂也可以经卤化，也可以经氢化。作为环氧树脂的市售品，例如可以列举：JapanEpoxyResins股份有限公司制造的JERCOAT828、1001、801N、806、807、152、604、630、871、YX8000、YX8034、YX4000；DIC股份有限公司制造的Epiclon830、EXA835LV、HP4032D、HP820；ADEKA股份有限公司制造的EP4100系列、EP4000系列、EPU系列；大赛璐化学(DaicelChemical)股份有限公司制造的Celloxide系列(2021、2021P、2083、2085、3000等)、Epolead系列、EHPE系列；东都化成公司制造的YD系列、YDF系列、YDCN系列、YDB系列；长濑化成(NagaseChemteX)公司制造的DENACOL系列；共荣社化学公司制造的Epolight系列等；但并不限定于这些。这些环氧树脂也可以并用2种以上。这些之中，就可以广泛地获得分子量不同的等级，且可以任意地设定接着性或反应性等的方面而言，优选双酚型环氧树脂。＜具有氧杂环丁烷基的化合物＞作为具有氧杂环丁烷基的化合物，可以列举：4,4'-(3-乙基氧杂环丁烷-3-基甲氧基甲基)联苯(OXBP)、3-乙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷(EHO)、1,4-双[{(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基}甲基]苯(XDO)、二[1-乙基(3-氧杂环丁基)]甲醚(DOX)、二[1-乙基(3-氧杂环丁基)]甲醚(DOE)、1,6-双[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]己烷(HDB)、9,9-双[2-甲基-4-{2-(3-氧杂环丁基)}丁氧基苯基]茀、9,9-双[4-[2-{2-(3-氧杂环丁基)}丁氧基]乙氧基苯基]茀等2官能氧杂环丁烷化合物，或氧杂环丁烷化酚醛清漆树脂等多官能氧杂环丁烷化合物。＜具有硫杂环丙烷基的化合物＞作为具有硫杂环丙烷基的化合物，其于分子内具有至少1个以上硫杂环丙烷环，具体例可以列举：双(2,3-环硫基丙基)硫化物、双(2,3-环硫基丙硫基)乙烷、双(2,3-环硫基丙硫基)丙烷、双(2,3-环硫基丙硫基)丁烷、双(5,6-环硫基-3-硫基己烷)硫化物、双(2,3-环硫基丙基)二硫化物、双(3,4-环硫基丁基)二硫化物、双(4,5-环硫基戊基)二硫化物、双(5,6-环硫基己基)二硫化物，特别优选双(2,3-环硫基丙基)硫化物、双(2,3-环硫基丙基)二硫化物。另一方面，作为于分子间进行交联反应的化合物，例如可以列举于分子内具有2个以上异氰酸酯基的化合物及于分子内具有2个以上羟基的化合物的组合，通过该异氰酸酯基与羟基的反应，能够于分子间形成氨基甲酸酯键而成为高分子。＜具有异氰酸酯基的化合物＞作为具有异氰酸酯基的化合物，只要于分子内具有2个以上异氰酸酯基，那么可以并无特别限制地使用公知的化合物。作为此种化合物，除了以对苯二异氰酸酯、2,4-甲苯二异氰酸酯、2,6-甲苯二异氰酸酯、1,5-萘二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯等为代表的低分子化合物以外，也可以使用于低聚物、重量平均分子量为3,000以上的聚合物的侧链或末端存在异氰酸酯基的化合物。＜具有羟基的化合物＞具有异氰酸酯基的化合物通常与于分子内具有羟基的化合物组合使用。作为此种具有羟基的化合物，只要于分子内具有2个以上羟基，那么可以并无特别限制地使用公知的化合物。作为此种化合物，除了乙二醇、丙二醇、甘油、二甘油、季戊四醇等低分子化合物以外，也可以使用于重量平均分子量为3,000以上的聚合物的侧链或末端存在羟基的化合物。＜聚硅氧烷前驱物＞另外，作为于分子间进行水解/缩聚的化合物，例如也可以列举聚硅氧烷前驱物。作为聚硅氧烷前驱物，可以列举：YnSiX(4-n)(此处，Y表示也可以具有取代基的烷基、氟烷基、乙烯基、苯基、或氢，X表示选自由烷氧基、乙酰氧基、肟基、苯氧基、氨基、胺氧基、酰胺基、及卤素原子所组成的群中的水解性基。n表示0至3的整数)所表示的有机硅化合物及该有机硅化合物的水解缩聚物。其中，优选于所述式YnSiX(4-n)中n为0至2的化合物。另外，就容易制备分散有二氧化硅的低聚物溶液且也容易获得的方面而言，作为所述水解性基，优选烷氧基。作为所述有机硅化合物，可以并无特别限制地使用公知的化合物。例如可以列举：三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷、甲基三氯硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三异丙氧基硅烷、甲基三叔丁氧基硅烷、乙基三溴硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四丁氧基硅烷、二甲氧基二乙氧基硅烷、二甲基二氯硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷、γ-缩水甘油氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-巯基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-巯基丙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、作为氟系硅烷偶联剂为人所知的氟烷基硅烷、及它们的水解缩合物或共水解缩合物；以及这些化合物的混合物。＜通过分子内闭环反应而成为高分子的高分子前驱物＞作为可以通过分子内闭环反应而高分子量化的高分子前驱物，可以列举聚酰亚胺前驱物、聚苯并恶唑前驱物等。这些前驱物也可以为2种以上高分子前驱物的混合物。以下，对作为本发明的优选的高分子前驱物的聚酰亚胺前驱物与聚苯并恶唑前驱物加以说明，但本发明并不限定于这些。＜聚酰亚胺前驱物＞作为聚酰亚胺前驱物，可以适宜地使用具有下述化学式(8)所表示的重复单元的聚酰胺酸。于式(8)中，R7是4价的有机基。R8是2价的有机基。R9及R10是氢原子、或有机基。n为1以上的自然数。作为R9及R10为有机基的情形，例如可以列举烷基、烯基、炔基、芳基、及于这些基团中含有醚键的以CnH2nOCmH2m+1等所表示的结构等。[化11]聚酰胺酸可以仅通过将酸二酐与二胺于溶液中加以混合而获得，因此可以利用1阶段的反应而合成，由于合成容易且可以低成本地获得，因此优选。于高分子前驱物为具有所述式(8)所表示的重复单元的聚酰胺酸的情形时，能够通过碱性物质的催化剂效果将酰亚胺化所需的温度降低至通常小于300℃、优选250℃以下。一般的聚酰胺酸需要将酰亚胺化所需的温度设为300℃以上，因此用途受到限制，但通过变得能够降低酰亚胺化所需的温度，能够应用于更广范围的用途中。作为制造聚酰亚胺前驱物的方法，可以应用现有公知的手法。例如可以列举自酸二酐与二胺合成作为前驱物的聚酰胺酸的手法，或使一元醇、氨基化合物或环氧化合物等与酸二酐反应而获得酯酸或酰胺酸单体，并使所获得的酯酸或酰胺酸单体的羧酸与二氨基化合物或其衍生物反应的手法等，但并不限定于此。＜聚苯并恶唑前驱物＞作为聚苯并恶唑前驱物，可以适宜地使用具有下述化学式(9)所表示的重复单元的聚酰胺醇。[化12]式(9)中，R11是2价的有机基，R12是4价的有机基。具有式(9)所表示的重复单元的聚酰胺醇可以包含单一重复单元，也可以包含2种以上重复单元。作为可以应用于用来获得所述聚苯并恶唑前驱物的反应中的二羧酸及其衍生物，例如可以列举：邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、4,4'-二苯甲酮二羧酸、3,4'-二苯甲酮二羧酸、3,3'-二苯甲酮二羧酸、4,4'-联苯二甲酸、3,4'-联苯二甲酸、3,3'-联苯二甲酸、4,4'-二苯醚二羧酸、3,4'-二苯醚二羧酸、3,3'-二苯醚二羧酸、4,4'-二苯基砜二羧酸、3,4'-二苯基砜二羧酸、3,3'-二苯基砜二羧酸、4,4'-六氟亚异丙基二苯甲酸、4,4'-二羧基二苯基酰胺、1,4-亚苯基二乙酸、1,1-双(4-羧基苯基)-1-苯基-2,2,2-三氟乙烷、双(4-羧基苯基)四苯基二硅氧烷、双(4-羧基苯基)四甲基二硅氧烷、双(4-羧基苯基)砜、双(4-羧基苯基)甲烷、5-叔丁基间苯二甲酸、5-溴间苯二甲酸、5-氟间苯二甲酸、5-氯间苯二甲酸、2,2-双-(对羧基苯基)丙烷、4,4'-(对亚苯基二氧基)二苯甲酸、2,6-萘二羧酸、或它们的酰卤化物、及与羟基苯并三唑等的活性酯体等，但并不限定于这些。这些化合物可以单独使用或组合使用2种以上。另外，作为可以应用于用来获得所述聚苯并恶唑前驱物的反应中的羟基二胺的具体例，例如可以列举：3,3'-二羟基联苯胺、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基联苯、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基联苯、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯基砜、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基二苯基砜、双-(3-氨基-4-羟基苯基)甲烷、2,2-双-(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷、2,2-双-(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷、2,2-双-(4-氨基-3-羟基苯基)六氟丙烷、双-(4-氨基-3-羟基苯基)甲烷、2,2-双-(4-氨基-3-羟基苯基)丙烷、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基二苯甲酮、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯甲酮、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基二苯醚、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯醚、1,4-二氨基-2,5-二羟基苯、1,3-二氨基-2,4-二羟基苯、3-二氨基-4,6-二羟基苯等，但并不限定于这些。这些化合物可以单独使用或组合使用2种以上。为了提高制成感光性树脂组合物时的感度，获得准确地再现遮罩图案的图案形状，聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物等高分子前驱物优选于膜厚为1μm时，对曝光波长显示至少5％以上的透过率，更优选显示15％以上的透过率。聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物等高分子前驱物对曝光波长的透过率较高，意味着活性能量线的损耗相应地较少，能够获得高感度的感光性树脂组合物。另外，于使用作为一般的曝光光源的高压水银灯进行曝光的情形时，至少对波长436nm、405nm、365nm的活性能量线中的1种波长的活性能量线的透过率于成膜为厚度1μm的膜时，优选5％以上、更优选15％以上、进而优选50％以上。聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物等高分子前驱物的重量平均分子量也因其用途而定，优选3,000～1,000,000的范围，进而优选5,000～500,000的范围，进而优选10,000～500,000的范围。如果重量平均分子量小于3,000，那么于制成涂膜或膜的情形时难以获得充分的强度。另外，实施加热处理等而制成聚酰亚胺等高分子时的膜的强度也变低。另一方面，如果重量平均分子量超过1,000,000，那么粘度上升，溶解性也容易降低，难以获得表面平滑且膜厚均一的涂膜或膜。此处所使用的分子量是指通过凝胶渗透层析法(GPC)获得的聚苯乙烯换算的值，可以为聚酰亚胺前驱物等高分子前驱物其自身的分子量，也可以为利用乙酸酐等进行化学酰亚胺化处理后的分子量。另外，聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物合成时所使用的溶剂较理想为极性溶剂，作为具有代表性的溶剂，存在有N-甲基-2-吡咯啶酮、N-乙酰基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二甲基甲氧基乙酰胺、二甲基亚砜、六甲基磷酰胺、吡啶、二甲基砜、四亚甲基砜、二甲基四亚甲基砜、二乙二醇二甲醚、环戊酮、γ-丁内酯、α-乙酰基-γ-丁内酯等，这些溶剂可以单独使用或组合使用2种以上。除此以外，可以列举苯、苯甲腈、1,4-二恶烷、四氢呋喃、丁内酯、二甲苯、甲苯、环己酮等非极性溶剂作为可以组合使用的溶剂，这些溶剂可以用作原料的分散介质、反应调节剂、或自产物挥散溶剂的调节剂、皮膜平滑剂等。聚酰胺酸或聚苯并恶唑前驱物具有如下优点：通过碱性物质的作用而高分子量化，从而溶解性降低，因此通过与自包含所述式(1)所表示的化合物的聚合引发剂产生的碱性物质所带来的溶解性降低进行组合，能够使本发明的感光性树脂组合物的曝光部与未曝光部的溶解性的对比度进一步变大。关于本发明的感光性树脂组合物中的高分子前驱物的含量，就所获得的图案的膜物性、特别是膜强度或耐热性的方面而言，优选相对于感光性树脂组合物的全部固形物成分而为30质量％以上，更优选50质量％以上。另外，本发明的感光性树脂组合物中的包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的含量相对于感光性树脂组合物中所含的高分子前驱物的固形物成分，通常为0.1～95质量％、优选0.5～60质量％。如果光聚合引发剂的含量小于0.1质量％，那么存在无法使曝光部与未曝光部的溶解性的对比度充分变大的担忧，如果超过95质量％，那么存在变得难以表现出感光性树脂组合物的硬化物的各特性的担忧。于与环氧系化合物进行组合的情形等时，使用通过光照射而自包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂产生的碱性化合物作为硬化剂的情形时，包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的含量相对于感光性树脂组合物中所含的高分子前驱物的固形物成分，通常为0.1～95质量％、优选0.5～60质量％。另外，于自式(1)所表示的化合物产生的碱性化合物作为催化剂发挥作用的情形时，包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的含量相对于感光性树脂组合物中所含的高分子前驱物的固形物成分，通常为0.1～30质量％、优选0.5～20质量％。＜其他成分＞本发明的感光性树脂组合物可以为包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂与高分子前驱物的单纯的混合物，也可以进而调配溶剂、光或热硬化性成分、高分子前驱物以外的非聚合性粘合剂树脂等其他成分。作为对感光性树脂组合物进行溶解、分散或稀释的溶剂，可以使用各种通用溶剂。另外，于使用聚酰胺酸作为高分子前驱物的情形时，可以直接使用通过聚酰胺酸的合成反应而获得的溶液，也可以于其中混合包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂与视需要的其他成分。作为可以使用的通用溶剂，例如可以列举：二乙醚、四氢呋喃、二恶烷、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇二甲醚等醚类；乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚等二醇单醚类(所谓溶纤剂类)；甲基乙基酮、丙酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮等酮类；乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、所述二醇单醚类的乙酸酯(例如甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯)、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、草酸二甲酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等酯类；乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、二乙二醇、甘油等醇类；二氯甲烷、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烯、1-氯丙烷、1-氯丁烷、1-氯戊烷、氯苯、溴苯、邻二氯苯、间二氯苯等卤代烃类；N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N,N-二甲基甲氧基乙酰胺等酰胺类；N-甲基-2-吡咯啶酮、N-乙酰基-2-吡咯啶酮等吡咯啶酮类；γ-丁内酯、α-乙酰基-γ-丁内酯等内酯类；二甲基亚砜等亚砜类；二甲基砜、四亚甲基砜、二甲基四亚甲基砜等砜类；六甲基磷酰胺等磷酰胺类；其他有机极性溶剂类等；进而也可以列举：苯、甲苯、二甲苯、吡啶等芳香族烃类；及其他有机非极性溶剂类等。这些溶剂可以单独或组合使用。其中，优选的溶剂可以列举：丙二醇单甲醚、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、乙酸乙酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯啶酮、γ-丁内酯等极性溶剂；甲苯等芳香族烃类；及包含这些溶剂的混合溶剂。于本发明的感光性树脂组合物中可以含有光硬化性成分。作为光硬化性成分，可以使用具有1个或2个以上乙烯性不饱和键的化合物，例如可以列举：酰胺系单体、(甲基)丙烯酸酯单体、(甲基)丙烯酸氨基甲酸酯低聚物、聚酯(甲基)丙烯酸酯低聚物、环氧(甲基)丙烯酸酯、及含有羟基的(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯等芳香族乙烯系化合物。另外，于聚酰亚胺前驱物为聚酰胺酸等在结构内具有羧酸成分的物质的情形时，如果使用具有三级氨基的含有乙烯性不饱和键的化合物，那么与聚酰亚胺前驱物的羧酸形成离子键，制成感光性树脂组合物时的曝光部与未曝光部的溶解速度的对比度变大。于本发明的感光性树脂组合物中，也可以并用包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂以外的光聚合引发剂(光碱产生剂)。可以并用的光聚合引发剂并无特别限定，例如可以使用光自由基聚合引发剂。作为该光自由基聚合引发剂，只要为通过光、激光、电子束等产生自由基，使自由基聚合反应开始的化合物，那么可以使用任意化合物。作为可以并用的光聚合引发剂，例如可以列举：安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香异丙醚等安息香与安息香烷基醚类；2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮等苯烷基酮；苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮等苯乙酮类；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁烷-1-酮、N,N-二甲基氨基苯乙酮等氨基苯乙酮类；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1-氯蒽醌等蒽醌类；2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮类；苯乙酮二甲基缩酮、苯偶酰二甲基缩酮等缩酮类；2,4,5-三芳基咪唑二聚物；核黄素四丁酸酯；2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并恶唑、2-巯基苯并噻唑等硫醇化合物；2,4,6-三-均三嗪、2,2,2-三溴乙醇、三溴甲基苯基砜等有机卤素化合物；二苯甲酮、4,4'-双二乙氨基二苯甲酮等二苯甲酮类或氧杂蒽酮(xanthone)类；2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦等酰基氧化膦系；双(环戊二烯基)二苯基钛、双(环戊二烯基)二氯钛、双(环戊二烯基)-双(2,3,4,5,6-五氟苯基)钛、双(环戊二烯基)-双(2,6-二氟-3-(吡咯-1-基)苯基)钛等二茂钛类等。这些公知惯用的光聚合引发剂可以单独使用或以2种以上的混合物的形式使用，进而可以加入N,N-二甲基氨基苯甲酸乙酯、N,N-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲氨基苯甲酸戊酯、三乙胺、三乙醇胺等三级胺类等光引发助剂。作为市售的光聚合引发剂的例，可以列举：Irgacure261、184、369、651、500、819、907、784、2959、Darocure1116、1173、CGI1700、CGI1750、CGI1850、CG-24-61、LucirinTPO、CGI-784(以上为日本巴斯夫公司制造的商品名)、DAICATII(大赛璐化学工业公司制造的商品名)、UVAC1591(Daicel-UCB公司制造的商品名)、RHODORSILPHOTOINITIATOR2074(Rhodia公司制造的商品名)、UbecrylP36(UCB公司制造的商品名)、EsacureKIP150、KIP65LT、KIP100F、KT37、KT55、KTO46、KIP75/B、ONE(Fratelli-Lamberti公司制造的商品名)等。于使用可以并用的光聚合引发剂的情形时，可以并用的光聚合引发剂的调配比率于本发明的感光性树脂组合物100质量份中，优选0.5～10质量份的范围。可以使用式(1)以外的光碱产生剂代替所述光聚合引发剂，或与所述光聚合引发剂一并使用式(1)以外的光碱产生剂。光碱产生剂为如下化合物：通过紫外线或可见光等的光照射而使分子结构发生变化、或使分子发生裂解，借此生成能够作为具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物与热硬化成分的加成反应的催化剂而发挥功能的1种以上碱性物质。作为所产生的碱性物质，例如可以列举二级胺、三级胺。作为可以并用的光碱产生剂，例如可以列举α-氨基苯乙酮化合物、肟酯化合物，或具有酰氧基亚氨基、N-甲酰基化芳香族氨基、N-酰基化芳香族氨基、硝基苄基氨基甲酸酯基、烷氧基苄基氨基甲酸酯基等取代基的化合物等。其中，优选肟酯化合物、α-氨基苯乙酮化合物。作为α-氨基苯乙酮化合物，特别优选具有2个以上氮原子的化合物。作为其他光碱产生剂，也可以使用WPBG-018(商品名：N,N-二乙基氨基甲酸9-蒽基甲酯(9-anthrylmethylN,N'-diethylcarbamate)，和光纯药制造)、WPBG-027(商品名：(E)-1-[3-(2-羟基苯基)-2-丙烯酰基]哌啶((E)-1-[3-(2-hydroxyphenyl)-2-propenoyl]piperidine))、WPBG-082(商品名：2-(3-苯甲酰苯基)丙酸胍(guanidinium2-(3-benzoylphenyl)propionate))、WPBG-140(商品名：咪唑羧酸1-(蒽醌-2-基)乙酯(1-(anthraquinon-2-yl)ethylimidazolecarboxylate))等。α-氨基苯乙酮化合物于分子中具有安息香醚键，如果受到光照射那么于分子内产生裂解，生成发挥硬化催化剂作用的碱性物质(胺)。作为α-氨基苯乙酮化合物的具体例，可以使用(4-吗啉基苯甲酰基)-1-苄基-1-二甲氨基丙烷(Irgacure369、商品名，日本巴斯夫公司制造)或4-(甲硫基苯甲酰基)-1-甲基-1-吗啉基乙烷(Irgacure907、商品名，日本巴斯夫公司制造)、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮(Irgacure379、商品名，日本巴斯夫公司制造)等市售的化合物或其溶液。作为可以并用的肟酯化合物，只要为通过光照射而生成碱性物质的化合物，那么可以使用任意肟酯化合物。作为该肟酯化合物，市售品可以列举日本巴斯夫公司制造的CGI-325、IrgacureOXE01、IrgacureOXE02、ADEKA公司制造的N-1919、NCI-831等。另外，也可以适宜地使用日本专利第4344400号公报中所记载的于分子内具有2个肟酯基的化合物。此外可以列举日本专利特开2004-359639号公报、日本专利特开2005-097141号公报、日本专利特开2005-220097号公报、日本专利特开2006-160634号公报、日本专利特开2008-094770号公报、日本专利特表2008-509967号公报、日本专利特表2009-040762号公报、日本专利特开2011-80036号公报中所记载的咔唑肟酯化合物等。也可以并用碱增殖剂，其通过自碱产生剂所产生的少量碱的作用进行分解或重排反应而产生碱。作为碱增殖剂，例如可以列举：具有9-茀基甲基氨基甲酸酯键的化合物、具有1,1-二甲基-2-氰基甲基氨基甲酸酯键((CN)CH2C(CH3)2OC(O)NR2)的化合物、具有对硝基苄基氨基甲酸酯键的化合物、具有2,4-二氯苄基氨基甲酸酯键的化合物，除此以外也可以列举日本专利特开2000-330270号公报的段落0010～段落0032中所记载的氨基甲酸酯系化合物、或日本专利特开2008-250111号公报的段落0033～段落0060中所记载的氨基甲酸酯系化合物等。于想要使碱产生剂可以充分利用透过高分子的波长的活性能量线的能量而使感度提高的情形时，存在增感剂的添加发挥效果的情形。特别是于聚酰亚胺前驱物的吸收也存在于360nm以上的波长中的情形时，添加增感剂的效果较大。作为被称之为增感剂的化合物的具体例，可以列举：噻吨酮及作为其衍生物的二乙基噻吨酮等、香豆素系及其衍生物、酮香豆素及其衍生物、酮双香豆素及其衍生物、环戊酮及其衍生物、环己酮及其衍生物、噻喃鎓盐及其衍生物、噻吨系、氧杂蒽系及其衍生物等。作为香豆素、酮香豆素及其衍生物的具体例，可以列举：3,3'-羰基双香豆素、3,3'-羰基双(5,7-二甲氧基香豆素)、3,3'-羰基双(7-乙酰氧基香豆素)等。作为噻吨酮及其衍生物的具体例，可以列举二乙基噻吨酮、异丙基噻吨酮等。进而，除此以外可以列举：二苯甲酮、苯乙酮、菲、2-硝基茀、5-硝基苊、苯醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、1,2-萘醌等。这些之中，为了通过与碱产生剂进行组合而发挥出特别优异的效果，根据碱产生剂的结构而适当选择显示出最适合的增感作用的增感剂。为了对本发明的感光性树脂组合物赋予加工特性或各种功能性，也可以调配各种有机或无机的低分子或高分子化合物。例如可以使用染料、表面活性剂、调平剂、增塑剂、微粒子等。微粒子包含聚苯乙烯、聚四氟乙烯等有机微粒子、及胶体二氧化硅、碳、层状硅酸盐等无机微粒子等，这些微粒子可以为多孔质或中空结构。另外，作为其功能或形态，存在有颜料、填料、纤维等。另外，其他溶剂以外的任意成分的调配比率优选相对于感光性树脂组合物的全部固形物成分而为0.1～95质量％的范围。如果小于0.1质量％，那么难以发挥添加添加物的效果，如果超过95质量％，那么最终所获得的树脂硬化物的特性难以反映至最终产物中。本发明的感光性树脂组合物可以于各种涂布制程或成形制程中使用，制作膜或三维形状的成形物。作为本发明的感光性树脂组合物的一实施形态，于使用聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物作为高分子前驱物的情形时，作为所获得的聚酰亚胺及聚苯并恶唑，就确保耐热性、尺寸稳定性、绝缘性等特性的方面而言，该聚酰亚胺及聚苯并恶唑于氮气中测定的5％重量损失温度优选250℃以上，更优选300℃以上。特别是于通过回焊步骤的电子零件等用途中使用的情形时，如果5％重量损失温度为300℃以下，那么存在由于回焊步骤中所产生的分解气体而产生气泡等不良现象的担忧。由本发明的感光性树脂组合物获得的聚酰亚胺及聚苯并恶唑的玻璃转移温度就耐热性的观点而言越高越好，但于像光波导这样考虑热成形制程的用途中，优选显示120～450℃左右的玻璃转移温度，更优选显示200～380℃左右的玻璃转移温度。此处，于能够将由感光性树脂组合物获得的聚酰亚胺及聚苯并恶唑制成膜形状的情形时，本发明中的玻璃转移温度通过动态粘弹性测定而由tanδ(tanδ＝损失弹性模数(E”)/储存弹性模数(E'))的峰值温度求出。作为动态粘弹性测定，例如可以通过粘弹性测定装置SolidAnalyzerRSAII(RheometricScientific公司制造)，于频率为3Hz、升温速度为5℃/min的条件下进行。于无法将由感光性树脂组合物获得的聚酰亚胺及聚苯并恶唑制成膜形状的情形时，通过示差热分析(DTA)的基线的反曲点的温度而判断。就由本发明的感光性树脂组合物获得的聚酰亚胺及聚苯并恶唑膜的尺寸稳定性的观点而言，线热膨胀系数优选60ppm以下，进而优选40ppm以下。于半导体元件等的制造制程中于硅晶圆上形成膜的情形时，就密接性、基板的翘曲的观点而言，进而优选20ppm以下。本发明中的所谓线热膨胀系数可以通过由本发明中所获得的感光性树脂组合物获得的聚酰亚胺及聚苯并恶唑的膜的热机械分析装置(TMA)而求出。通过热机械分析装置(例如ThermoPlusTMA8310(RIGAKU股份有限公司制造))，将升温速度设为10℃/min，以评价样品的每单位截面积的负荷变得相同的方式将拉伸负荷设为1g/25,000μm2而获得。如上所述，根据本发明，可以通过仅于高分子前驱物中混合包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的简便手法而获得感光性树脂组合物，因此性价比优异。构成包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的含有芳香族成分的羧酸、以及碱性物质可以廉价地获得，作为感光性树脂组合物的价格也得到抑制。本发明的感光性树脂组合物通过包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂，能够用于促进多种多样的高分子前驱物向最终产物的反应，能够自较广的范围选择最终获得的高分子的结构。另外，由于通过照射活性能量线而产生的胺等碱性物质的催化剂效果，例如能够降低自聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物向最终产物的酰亚胺化等环化等反应所需的处理温度，因此能够降低对制程的负荷或对制品的热损伤。进而，通过照射活性能量线与加热而产生碱的本发明的碱产生剂于自高分子前驱物获得最终产物的步骤中包含加热步骤的情形时，可以利用该加热步骤，因此能够降低活性能量线的照射量，也能够有效地利用步骤。本发明的感光性树脂组合物可以用于印刷墨水、涂料、密封剂、接着剂、电子材料、光电路零件、成形材料、抗蚀剂材料、建筑材料、光造形、光学构件等使用树脂材料的公知的所有领域、制品中。可以于以下任一用途中适宜地使用：像涂料、密封剂、接着剂这样进行整面曝光而使用的用途、以及永久膜或剥离膜等形成图案的用途。本发明的感光性树脂组合物适宜用于耐热性、尺寸稳定性、绝缘性等特性变得有效的广泛的领域、制品，例如涂料、印刷墨水、密封剂、或接着剂、或者显示装置、半导体装置、电子零件、微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem(MEMS))、光造形物、光学构件或建筑材料的形成材料中。例如，具体而言，作为电子零件的形成材料，可以作为密封材料、层形成材料而用于印刷配线基板、层间绝缘膜、配线被覆膜等中。另外，作为显示装置的形成材料，可以作为层形成材料或图像形成材料而用于彩色滤光片、可挠性显示器用膜、抗蚀剂材料、配向膜等中。另外，作为半导体装置的形成材料，可以用于抗蚀剂材料、像缓冲涂膜这样的层形成材料等中。另外，作为光学零件的形成材料，可以作为光学材料或层形成材料而用于全息图、光波导、光电路、光电路零件、抗反射膜等中。另外，作为建筑材料，可以用于涂料、涂布剂等中。另外，也可以作为光造形物的材料而使用。提供印刷物、涂料、密封剂、接着剂、显示装置、半导体装置、电子零件、微机电系统、光造形物、光学构件或建筑材料中的任意物品。由于具有如上所述的特征，因此本发明的感光性树脂组合物也可以作为图案形成用材料而使用。特别是于使用含有聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物的感光性树脂组合物作为图案形成用材料(抗蚀剂)的情形时，由其形成的图案可以设为包含聚酰亚胺或聚苯并恶唑的永久膜而作为赋予耐热性或绝缘性的成分发挥功能，例如适合形成彩色滤光片、可挠性显示器用膜、电子零件、半导体装置、层间绝缘膜、配线被覆膜、光电路、光电路零件、抗反射膜、其他光学构件或电子构件。＜图案形成方法＞本发明的图案形成方法的特征在于：形成包含所述本发明的感光性树脂组合物的涂膜或成形体，以特定图案状对该涂膜或成形体照射活性能量线，于照射后或照射的同时进行加热，使所述照射部位的溶解性发生变化后进行显影。通过将本发明的感光性树脂组合物涂布于某些支持体上等操作而形成涂膜，或通过适合的成型方法形成成形体，以特定图案状对该涂膜或成形体照射活性能量线，于照射后或照射的同时进行加热，借此仅于曝光部使包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂裂解而生成自由基与碱性物质。碱性物质作为促进曝光部的高分子前驱物的高分子量化反应的催化剂而发挥作用。于使用像聚酰亚胺前驱物或聚苯并恶唑前驱物这样通过碱的催化剂作用而使热硬化温度降低的高分子前驱物的情形时，首先对组合有这些高分子前驱物及包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的感光性树脂组合物的涂膜或包含该感光性树脂组合物的成形体上的欲残留图案的部分进行曝光。利用通过曝光或通过与曝光同时进行加热而产生的碱性物质，使曝光部的热硬化温度选择性地降低。于曝光后或曝光的同时在会使曝光部硬化但并不会使未曝光部硬化的温度下进行加热处理，仅使曝光部硬化。用来产生碱性物质的加热处理与用来仅使曝光部硬化的加热处理(曝光后烘烤)可以为同一步骤，也可以为不同的步骤。其次，利用特定的显影液(有机溶剂或碱性水溶液等)使未曝光部溶解而形成包含热硬化物的图案。进而视需要对该图案实施加热而使热硬化完结。通过以上步骤，通常获得负型的所期望的二维树脂图案(一般的平面图案)或三维树脂图案(立体成形的形状)。另外，于使用像具有环氧基或氰酸酯基的化合物及高分子这样通过碱的催化剂作用而使反应开始的高分子前驱物的情形时，也首先对组合有这些高分子前驱物及包含式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂的感光性树脂组合物的涂膜或包含该感光性树脂组合物的成形体上的欲残留图案的部分进行曝光。利用通过曝光或通过与曝光同时进行加热而产生的自由基及碱性物质，使曝光部的具有丙烯酰基、环氧基或氰酸酯基的化合物进行高分子化反应，仅使曝光部硬化。用来产生碱性物质的加热处理与用来仅使曝光部硬化的加热处理(曝光后烘烤)可以为同一步骤，也可以为不同的步骤。其次，利用特定的显影液(有机溶剂或碱性水溶液等)使未曝光部溶解而形成包含热硬化物的图案。进而视需要对该图案实施加热而使热硬化完结。通过以上步骤，通常获得负型的所期望的二维树脂图案(一般的平面图案)或三维树脂图案(立体成形的形状)。本发明的感光性树脂组合物在溶解于丙二醇单甲醚、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、乙酸乙酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯啶酮、γ-丁内酯等极性溶剂、甲苯等芳香族烃类、及包含数种这些溶剂的混合溶剂等中之后，通过浸渍法、喷雾法、软版印刷法、凹版印刷法、网版印刷法、旋涂法、点胶法(dispensemethod)等而涂布于硅晶圆、金属基板、陶瓷基板、树脂膜等基材的表面，并进行加热而将溶剂的大部分除去，借此能够对基材表面赋予并无粘着性的涂膜。涂膜的厚度并无特别限制，优选0.5～50μm，就感度及显影速度的方面而言，更理想为1.0～20μm。所涂布的涂膜的干燥条件例如为于80～100℃下进行1～20分钟。通过具有特定图案的遮罩，对该涂膜照射活性能量线而曝光为图案状，加热后，利用适当的显影液进行显影而将膜的未曝光部分除去，借此能够获得进行了所期望的图案化的膜。曝光步骤中所使用的曝光方法或曝光装置并无特别限定，可以为密接曝光也可以为间接曝光，可以使用g射线步进机、i射线步进机、利用超高压水银灯的接触/近接式曝光机、镜面投影曝光机、或其他能够照射紫外线、可见光线、X射线、电子束等的投影机或放射源。作为用来于曝光前或曝光后或曝光的同时进行加热，使保护基去保护而产生碱的加热温度，根据所组合的高分子前驱物或目的而适当选择，并无特别限定。也可以为放置感光性树脂组合物的环境的温度(例如室温)下的加热，于此情形时，会缓缓产生碱。另外，通过照射活性能量线时所副产的热也产生碱，因此也可以通过照射活性能量线时所副产的热而实质性地同时进行加热。就提高反应速度，高效率地产生胺的方面而言，作为用来产生碱的加热温度，优选30℃以上，更优选60℃以上，进而优选100℃以上，特别优选120℃以上。然而，根据所组合使用的高分子前驱物，也存在例如于60℃以上的加热下未曝光部也发生硬化的情况，因此适宜的加热温度并不限定于所述。例如，于环氧树脂的情形时，优选的热处理温度的范围是根据环氧树脂的种类而适当选择，通常为100℃～150℃左右。另外，也可以于曝光前进行加热而仅进行保护基的去保护。该活性能量线照射前的用来使保护基去保护的加热可以为涂膜的干燥步骤，也可以为其他加热步骤。于此情形时，作为加热温度，只要适当选择能够去保护的温度即可，优选50～180℃，时间优选10秒～60分钟。本发明的感光性树脂组合物的涂膜优选于曝光步骤与显影步骤之间进行曝光后烘烤(PostExposureBake；PEB)以物理性地促进交联反应或进行仅使曝光部硬化的反应。该PEB优选利用通过照射活性能量线及加热而产生的碱性化合物的作用，于在存在碱性化合物的曝光部与并不存在碱性化合物的未曝光部，酰亚胺化率等硬化反应的反应率不同的温度下进行。例如，于酰亚胺化的情形时，优选的热处理温度的范围通常为60～200℃左右，更优选120～200℃。如果热处理温度低于60℃，那么酰亚胺化的效率较差，于现实的制程条件下变得难以产生曝光部、未曝光部的酰亚胺化率之差。另一方面，如果热处理温度超过200℃，那么存在即使于并不存在胺的未曝光部也进行酰亚胺化的担忧，难以产生曝光部与未曝光部的溶解性之差。该热处理可以通过公知的任意方法而进行，例如可以列举利用空气或氮气环境下的循环烘箱、或加热板的加热等，但并不限定于这些。通过照射活性能量线与加热自包含本发明的式(1)所表示的化合物的光聚合引发剂产生自由基与碱性化合物，用来产生该碱性化合物的加热处理与PEB处理可以为同一步骤，也可以为不同的步骤。(显影液)作为显影步骤中所使用的显影液，只要为能够选择性地溶解未曝光部的溶液或溶剂，那么并无特别限定，可以根据所使用的高分子前驱物而自碱性水溶液或有机溶剂等中适当选择。作为显影液的碱性水溶液并无特别限定，例如可以列举浓度为0.01～10质量％、优选0.05～5质量％的氢氧化四甲基铵(TMAH)水溶液，以及以二乙醇胺、二乙基氨基乙醇、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、三乙胺、二乙胺、甲胺、二甲胺、乙酸二甲基氨基乙酯、二甲基氨基乙醇、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、环己胺、乙二胺、己二胺、四甲基铵等为溶质的水溶液等。这些溶质可以使用1种，也可以混合使用2种以上，只要水于显影液中所占的含量为50％以上、优选70％以上，那么也可以含有有机溶剂等。另外，作为显影液的有机溶剂并无特别限定，可以单独使用或组合使用2种以上如下有机溶剂：N-甲基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亚砜、γ-丁内酯、二甲基丙烯酰胺等极性溶剂；甲醇、乙醇、异丙醇等醇类；乙酸乙酯、丙二醇单甲醚乙酸酯等酯类；环戊酮、环己酮、异丁酮、甲基异丁基酮等酮类；此外可以列举四氢呋喃、氯仿、乙腈等。显影后利用水或不良溶剂进行洗净。于此情形时，也可以将乙醇、异丙醇等醇类、乳酸乙酯、丙二醇单甲醚乙酸酯等酯类等加入至水中。洗净后于80～100℃下进行干燥而使图案稳定。为了使该凸纹图案具有耐热性，通过于180～500℃、优选200～350℃的温度下进行数十分钟至数小时的加热而形成经图案化的高耐热性树脂层。[实施例]以下，通过实施例对本发明加以详细说明，但这些实施例只不过是用来较好地说明本发明的例示，并不对本发明作任何限定。另外，合成例及实施例中的份为质量份。＜实施例1本发明的式(1)所表示的化合物的合成＞(步骤1)式(12)所表示的中间化合物的合成于具有搅拌机、回流冷凝管及搅拌装置的烧瓶中加入多聚甲醛9.0份与二甲基亚砜170份并进行搅拌。将于乙醇5份中溶解氢氧化钾1.4份而成的溶液滴加至烧瓶中，进行搅拌直至多聚甲醛完全溶解。将于二甲基亚砜30份中溶解下述式(11)所表示的安息香50份而成的溶液历时30分钟滴加至烧瓶中，于室温下搅拌2小时。其后，滴加35％盐酸2.6份而进行中和，使反应结束。于该反应溶液中加入甲苯与饱和食盐水而萃取至有机层中，将溶剂蒸馏去除。对经浓缩的反应液进行晶析而获得下述式(12)所表示的中间化合物40份。[化13](步骤2)下述式(A-1)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂1)的合成将步骤1中获得的式(12)所表示的中间化合物12.0份、甲苯100份及辛酸锡0.08份加入至烧瓶中进行回流搅拌直至变得均一。接下来，于回流下加入二环己基甲烷4,4-二异氰酸酯6.5份并继续回流3小时后，进行冷却，通过蒸发器将溶剂蒸馏去除。将所获得的褐色溶液滴加至环己烷中，搅拌30分钟加以洗净，获得下述式(A-1)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂1)10.0份。[化14]＜实施例2本发明的式(1)所表示的化合物的合成＞(步骤3)式(14)所表示的中间化合物的合成使用下述式(13)所表示的大茴香偶姻代替安息香，除此以外与步骤1同样地进行而获得下述式(14)所表示的中间化合物8.5份。[化15](步骤4)下述式(A-2)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂2)的合成将步骤3中获得的式(14)所表示的中间化合物12.0份、甲苯100份及辛酸锡0.08份加入至烧瓶中进行回流搅拌直至变得均一。接下来，于回流下加入二环己基甲烷4,4-二异氰酸酯6.5份并继续回流3小时后，进行冷却，通过蒸发器将溶剂蒸馏去除。将所获得的褐色溶液滴加至环己烷中，搅拌30分钟加以洗净，获得下述式(A-2)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂2)10.0份。[化16]＜比较用化合物的合成＞(步骤5)下述式(A-3)所表示的比较用化合物(光聚合引发剂3)的合成使用六亚甲基二异氰酸酯代替二环己基甲烷4,4-二异氰酸酯，除此以外与步骤4同样地进行而获得下述式(A-3)所表示的比较用化合物(光聚合引发剂3)2.5份。[化17]实施例3～4、比较例1～2(感光性树脂组合物的制备)依照表1中记载的调配量将各成分加以混合，获得感光性树脂组合物。[表1]表1感光性树脂组合物的组成实施例3实施例4比较例1比较例2SU-8树脂100100100100光聚合引发剂110光聚合引发剂210光聚合引发剂310光聚合引发剂410溶剂(PGMEA)101.5101.5101.5101.5光聚合引发剂1：实施例1中所获得的光聚合引发剂1光聚合引发剂2：实施例2中所获得的光聚合引发剂2光聚合引发剂3：比较合成例1中所获得的光聚合引发剂3光聚合引发剂4：IRGACUREOXE01(巴斯夫公司制造，肟酯型化合物)SU-8树脂(日本化药股份有限公司制造，双酚A酚醛清漆型环氧化合物)溶剂：聚乙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)(感光性树脂组合物的硬化实验)通过旋转涂布机将实施例3、4及比较例1、2的各树脂组合物涂布于Si基板上之后，通过加热板于100℃下预烤2分钟而加以干燥，获得膜厚为10μm的树脂组合物层。其后，使用输送带式曝光机水银灯进行曝光，照射0～1370mJ/cm2(254nm)的UV光。接下来，通过加热板进行烘烤后，使用显影液通过浸渍法进行显影处理，将硬化而形成残膜时的曝光量评价为感度。将此时的评价条件及感度记载于表2中。[表2]表2感光性树脂组合物的评价结果＜实施例5本发明的式(1)所表示的化合物的合成＞(步骤6)式(32)所表示的中间化合物的合成将氰化钾10.5份加入至二甲基亚砜115份中，于氮气环境下、超声波的存在下以室温搅拌15分钟。于该二甲基亚砜溶液中滴加下述式(31)所表示的4-氟苯甲醛10份，于室温下搅拌30分钟。利用过剩量的水对所获得的反应液进行稀释，使用甲苯将目标物萃取至甲苯层中3次。使用硫酸镁对甲苯溶液进行干燥后，通过蒸发器将溶剂蒸馏去除。其后，对浓缩物进行冷却使其再结晶，借此获得下述式(32)所表示的中间化合物14份。[化18](步骤7)式(33)所表示的中间化合物的合成使用下述式(32)所表示的中间化合物代替安息香，除此以外与步骤1同样地进行而获得下述式(33)所表示的中间化合物8.1份。[化19](步骤8)下述式(A-4)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂5)的合成将步骤7中获得的式(33)所表示的中间化合物1.0份、甲苯30份及辛酸锡0.04份加入至烧瓶中进行回流搅拌直至变得均一。接下来，于回流下加入二环己基甲烷4,4-二异氰酸酯1.1份并继续回流3小时后，进行冷却，通过蒸发器将溶剂蒸馏去除。将所获得的褐色溶液滴加至环己烷中，搅拌30分钟加以洗净，获得下述式(A-4)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂5)0.8份。[化20]＜实施例6本发明的式(1)所表示的化合物的合成＞(步骤9)式(35)所表示的中间化合物的合成于氰化钾1.9份中加入水10份、乙醇53份使其溶解后，于氮气环境下进行超声波处理，借此进行反应液的脱气处理。于该溶液中滴加下述式(34)所表示的4-(甲硫基)苯甲醛10份，于80℃下进行加温而使反应开始。搅拌30分钟之后，将反应液冷却至3℃而析出结晶，对所析出的结晶进行抽吸过滤而加以回收。使用大量乙醇通过再结晶对所回收的固体进行纯化，获得目标物7.6份。[化21](步骤10)式(36)所表示的中间化合物的合成使用下述式(35)所表示的中间化合物代替安息香，除此以外与步骤1同样地进行而获得下述式(36)所表示的中间化合物6.3份。[化22](步骤11)下述式(A-5)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂6)的合成将步骤10中所获得的式(36)所表示的中间化合物1.0份、甲苯15份及三乙胺0.3份加入至烧瓶中进行回流搅拌直至变得均一。接下来，于室温下加入二环己基甲烷4,4-二异氰酸酯0.4份并继续搅拌12小时后，进行冷却，通过蒸发器将溶剂蒸馏去除。将所获得的溶液滴加至环己烷中，搅拌30分钟加以洗净，获得下述式(A-5)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂6)1.0份。[化23]＜实施例7本发明的式(1)所表示的化合物的合成＞(步骤12)式(38)所表示的中间化合物的合成加入水40份、乙醇80份使氰化钠3.8份溶解后，于氮气环境下进行超声波处理，借此进行反应液的脱气处理。于该溶液中加入下述式(37)所表示的4-萘甲醛20份后，利用油浴进行加热而进行回流。搅拌30分钟后，将反应液冷却至室温而析出结晶，对所析出的结晶进行抽吸过滤而加以回收。使用大量乙醇通过再结晶对所回收的固体进行纯化，获得目标物15份。[化24](步骤13)式(39)所表示的中间化合物的合成使用下述式(38)所表示的中间化合物代替安息香，除此以外与步骤1同样地进行而获得下述式(39)所表示的中间化合物12份。[化25](步骤14)下述式(A-6)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂7)的合成将步骤13中获得的式(39)所表示的中间化合物6.5份、甲苯100份及辛酸锡0.06份加入至烧瓶中，于80℃下进行搅拌直至变得均一。接下来，于室温下加入二环己基甲烷4,4-二异氰酸酯2.5份，继续搅拌2小时后，进行冷却，通过蒸发器将溶剂蒸馏去除。将所获得的溶液滴加至环己烷中，搅拌30分钟加以洗净，获得下述式(A-6)所表示的本发明的化合物(光聚合引发剂7)1.0份。[化26](光聚合引发剂的吸光度评价)将实施例1中获得的光聚合引发剂10.01g溶解于少量的THF中之后，使用THF定容(messup)为10ml而获得引发剂溶液。使用全移液管分取所述引发剂溶液1ml，再次使用THF而定容为10ml，借此获得吸光度评价用引发剂稀释液。使用充满所获得的引发剂稀释液的光程长度为10mm的石英槽测定光聚合引发剂1的吸光度，基于该吸光度的测定结果，通过下述式而算出摩尔吸光系数ε。另外，关于实施例2、5、6及7中获得的光聚合引发剂2、5、6及7，也通过与光聚合引发剂1相同的方法测定吸光度，算出摩尔吸光系数ε。将吸光度的测定结果表示于图1中，将摩尔吸光系数ε的算出值表示于表3中。摩尔吸光系数ε＝吸光度/(光程长度×光聚合引发剂的摩尔浓度)[表3]实施例8～10(感光性树脂组合物的制备)依照表4中记载的调配量将各成分加以混合，获得感光性树脂组合物。[表4]粘合剂树脂：日本化药公司制造的CCR-1307H多官能单体：日本化药公司制造的DPHA光聚合引发剂1：实施例1中所获得的光聚合引发剂1光聚合引发剂6：实施例6中所获得的光聚合引发剂6光聚合引发剂7：实施例7中所获得的光聚合引发剂7溶剂：聚乙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)感光性树脂组合物的残膜率评价关于实施例8至10的感光性树脂组合物，于表5中记载的评价条件下实施硬化及显影，利用触针式膜厚测定器测定显影后的膜厚，借此评价各曝光量下的残膜率(将曝光前的膜厚设为1的情形时于显影后所获得的图案的膜厚)，将结果表示于图2中。另外，曝光量是测定波长365nm下的曝光量而进行记载。[表5]表5感光性树脂组合物的评价条件[工业上的可利用性]本发明的感光性树脂组合物的图像解像度或感度、保存稳定性优异，而且该树脂组合物的硬化物具有热稳定性优异的特性，于要求金属基板的耐腐蚀性的领域中有用。当前第1页1 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