一种正性光敏性树脂、树脂组合物及它们的制备方法与应用与流程

本发明属于高分子材料，涉及一种正性光敏性树脂、树脂组合物及它们的制备方法与应用。

背景技术：

1、光敏性聚酰亚胺/聚苯并噁唑树脂溶液具有优良的光刻制图工艺性，固化树脂具有高耐热、高电绝缘、高强高韧等优点，广泛应用于半导体制造过程的芯片表面钝化及多层金属互连结构的层间绝缘、先进电子封装(bga、csp、sip等)基板的多层布线及凸点/微焊球制作工艺、塑封电路的应力缓冲内涂保护层膜、光电显示器件的多层布线工艺等。

2、随着电子设备向高速、高功能化及轻薄短小化发展，封装形式也由传统qfp、tsop等周边端子型封装，向着晶圆级芯片封装、扇出型晶圆级封装、倒装芯片、叠层封装等先进封装发展。其中，扇出型封装技术的封装高度和封装尺寸大幅度降低，可以使互联密度最大化，同时实现高带宽数据传输。因其采用的是重构晶圆，去除了传统的硅基板，大幅降低了成本，但是重构晶圆的耐热性较低，要求rdl介质材料固化温度不高于200℃。而负性光敏性聚酰亚胺的光刻分辨率较低，难以满足高密度扇出型晶圆级封装技术的需求，且显影液多为有机溶剂，不利于环境保护。因此提出了能够用碱水溶液显影的正性感光性树脂，一般采用含酚羟基的聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体树脂。但是可能因为正性感光性树脂结构中含有氟元素，其粘接性能不良，尤其与au的粘接性能较差，影响产品的可靠性，无法满足涉及到au布线层的应用需求。

3、目前市场上用于扇出型晶圆级封装的介质层pbo或pi（见专利文献cn108137805b、cn103502889b、cn108604059b、cn108604060b报道），其虽然可在200℃温度下固化，但是均未报道与au的粘附性。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种正性光敏性树脂、树脂组合物及它们的制备方法与应用。本发明正性光敏性树脂制备的正性光敏性树脂组合物能在200℃温度下固化，能解决正性光敏性树脂与au粘附性较差的问题，可满足半导体扇出型晶圆级封装的使用需求，尤其适用于涉及到au布线层的应用场景。

2、本发明提供了一种正性光敏性树脂，它是由含不饱和侧链的聚酰胺酸脂和/或聚羟基酰胺结构单元组成的一种共聚物或聚合物，其中含不饱和侧链的聚酰胺酸脂结构单元占正性光敏性树脂的摩尔百分比为10~100%，其结构如式i所示：

3、

4、式i中，x，u表示四价芳基，其中二个羟基分别位于-nh-的邻位上；y表示四价基团，v表示二价芳基；r1和r2各自独立为氢、含有碳碳不饱和双键的一价有机基团，但不同时为氢；m和n表示聚合度，m为10~150，n为0~150，其中m/(m+n)×100%=10~100%。

5、上述正性光敏性树脂中，所述x，u选自式ia中的至少一种；

6、

7、所述y选自式ib中的至少一种；

8、

9、所述v选自式ic中的至少一种；

10、

11、所述含有碳碳不饱和双键的一价有机基团选自丙烯酸乙酯基，甲基丙烯酸乙酯基、丙烯酸丙酯基和2-羟基正丙酯基中的至少一种。

12、本发明中，所述正性光敏性树脂的结构具体如下式所示：

13、

14、上述正性光敏性树脂中，所述正性光敏性树脂的制备方法，包括如下步骤：

15、1）四甲酸二酐与不饱和双键醇类化合物在有机溶剂中反应生成二酯二甲酸，然后所述二酯二甲酸与酰氯化试剂1进行酰氯化反应，得到二酯二甲酰氯溶液；

16、2）芳香族二甲酸与酰氯化试剂2在有机溶剂中进行酰氯化反应，得到芳香族二甲酰氯溶液；

17、3）将步骤1）中所述二酯二甲酰氯溶液和2）中所述芳香族二甲酰氯溶液混合，得到酰氯混合物；

18、4）将步骤3）中所述酰氯混合物和所述二胺溶液混合进行反应，再加入分子量调节剂混合，继续反应，得到碱溶性树脂溶液；

19、所述二胺溶液为含酚羟基芳香族二胺溶于有机溶剂中得到；

20、5）将步骤4）中所述碱溶性树脂溶液在不良溶剂中析出聚合物，对所述聚合物清洗、干燥，得到含不饱和键的碱溶性树脂，即为正性光敏性树脂。

21、上述的正性光敏性树脂中，所述四甲酸二酐与不饱和双键醇类化合物的反应条件如下：在碱性催化剂存在的条件下进行，反应温度可为20~60℃，时间可为1~10h；具体可为25℃反应6h；

22、所述碱性催化剂包括吡啶或三乙胺；

23、所述不饱和双键醇类化合物与所述四甲酸二酐的摩尔比为1.90~2.10：1。

24、上述的正性光敏性树脂中，所述四甲酸二酐选自均苯四甲酸二酐、3,3',4,4'-联苯四羧酸二酐、2,3,3',4'-联苯四羧酸二酐、2,2’,3,3’-联苯四羧酸二酐、4,4'-氧双邻苯二甲酸酐、3,4'-氧双邻苯二甲酸酐、4,4'-对苯二氧双邻苯二甲酸酐、3,3',4,4'-二苯甲酮四酸二酐、4,4'-(六氟异丙烯)二酞酸酐、双环[2.2.2]辛-7-烯-2,3,5,6-四羧酸二酐、2,2-双（3,4-二羧基苯基）丙烷二酐、2,2-双（2,3-二羧基苯基）丙烷二酐、1,1-双（3,4-二羧基苯基）乙烷二酐、1,1-双（2,3-二羧基苯基）乙烷二酐、3,3',4,4'-二苯基甲烷四酸二酐、2,2',3,3'-二苯基甲烷四酸二酐、3,3',4,4'-二苯基砜四酸二酐、环丁烷四甲酸二酐、1,2,3,4-环戊烷四甲酸二酐、氢化均苯四甲酸二酐、2,3,5-三羧基环戊烷乙酸二酐和氢化联苯酐中的至少一种；

25、所述不饱和双键醇类化合物选自甲基丙烯酸-2-羟乙酯、丙烯酸-2-羟乙酯、1-丙烯酰氧基-3-丙醇、2-丙烯酰胺乙醇、羟甲基乙烯基酮、2-羟基乙基乙烯基酮、2-羟基-3-甲氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-叔丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3环己氧基丙基丙烯酸酯、1-甲基丙烯酰氧基-3-丙醇、2-异丁烯酰胺乙醇、2-羟基-3-甲氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-叔丁氧基丙基甲基丙烯酸酯和2-羟基-3-环己氧基丙基甲基丙烯酸酯中的至少一种。

26、上述的正性光敏性树脂中，步骤1）和步骤2）中，所述酰氯化反应的条件为：酰氯化试剂滴加的温度为0~10℃，滴加完毕后，升温至10~40℃反应1~6h，具体可为25℃反应3h；所述酰氯化试剂1和所述酰氯化试剂2选自socl2、pcl3、pcl5、cocl2或乙二酰氯；

27、所述酰氯化试剂1与所述二酯二甲酸的摩尔比为1.90~2.10：1；

28、所述酰氯化试剂2与所述芳香族二甲酸的摩尔比为1.90~2.10：1。

29、上述的正性光敏性树脂中，步骤1）中所述四甲酸二酐占步骤1）中四甲酸二酐和步骤2）中所述芳香族二甲酸总量的摩尔百分比可为10~100%，优选20~80%；

30、所述芳香族二甲酸选自4,4’二苯醚二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、联苯二甲酸、二苯砜二甲酸、二苯基甲烷二甲酸、2,2-双(4-羧基苯基)六氟丙烷、2,2-双(4-羧基苯基)丙烷和二苯酮二甲酸中的至少一种。

31、本发明中，反应液中单体（包括四甲酸二酐、二酯二甲酸、芳香族二甲酸、含酚羟基芳香族二胺）浓度需要满足既可以使单体充分溶解，又不会使聚合物析出。如果单体浓度过高，则聚合物会析出；而单体浓度过低，则聚合反应较慢或者分子量较小。因此，本发明的单体浓度相对于反应液的总质量为5~35%，优选10~25%。

32、上述的正性光敏性树脂中，步骤4）中，将所述酰氯混合物在0~10℃条件下滴加到所述二胺溶液中，滴加完毕后，10~30℃（即室温）反应1~12h，加入所述分子量调节剂继续反应0.5~4h；反应的温度为室温，为本领域公知的温度范围，具体可为10~30℃，更具体可为25℃；

33、所述分子量调节剂与最终反应体系溶液中甲酸基团与氨基基团的摩尔比可为1:1；

34、所述含酚羟基芳香族二胺选自2,2-双（3-氨基-4-羟苯基）六氟丙烷、2,2-双（4-氨基-3-羟苯基）六氟丙烷、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯砜、2,2-双（3-氨基-4-羟苯基）丙烷、双（3-氨基-4-羟基苯基）甲烷、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯醚、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基二苯醚、双（3-氨基-4-羟基）联苯、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯甲酮、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基二苯甲酮、1,4-二氨基-2,5二羟基苯、1,3-二氨基-2,4二羟基苯和1,3-二氨基-4,6二羟基苯中的至少一种；

35、所述分子量调节剂选自马来酸酐、降冰片烯二酸酐、甲基降冰片烯二酸酐、4-乙炔基邻苯二甲酸酐、4-苯乙炔苯酐、4-乙烯基苯胺、降冰片烯胺、烯丙胺、4-乙炔基苯胺、3-乙炔基苯胺、3-苯基乙炔基苯胺、4-苯基乙炔基苯胺、4-（4-氨基苯乙炔基）苯乙炔、4-[(三甲基硅基)-乙炔基]苯胺、4-(4-氨基-苯基)-2-甲基-丁-3炔-2-醇、(e)-3-氨基肉桂酸和炔丙胺中的至少一种。

36、上述的正性光敏性树脂中，所述不良溶剂选自去离子水、甲醇、乙醇或异丙醇；

37、所述不良溶剂与所述碱溶性树脂溶液的质量比可为3~20：1；

38、所述清洗采用所述不良溶剂进行；

39、进行所述清洗采用的所述不良溶剂的质量与所述聚合物的质量比可为1~6：1；

40、所述清洗的次数可为3~6次，聚合物的清洗次数越多，则聚合物的杂质含量越少；但是次数过多，则影响产品的经济效益和生产效率；

41、所述干燥的条件可为在20~50℃真空下干燥10h~72h。

42、本发明中，含不饱和键的碱溶性树脂（gpc法测定）重均分子量可为5000~100000，优选10000~50000。

43、本发明中，步骤1）、2）、4）中所述有机溶剂选用原则为能使单体充分溶解且聚合物不会析出即可，均优选n’n-二甲基甲酰胺、n’n-二甲基乙酰胺、n-甲基-ε-己内酰胺、n-甲基吡咯烷酮、γ-丁内酯、乳酸乙酯、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、二甲基亚砜、二甲基砜、四亚甲基砜、四甲基脲、苯酚、m-甲酚、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、甲苯、二甲苯、均三甲苯、二丙酮醇、甲基异丁基酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、环丁砜、p-甲酚、3-氯苯酚、4-氯苯酚、四氢呋喃、3-乙氧基丙酸乙酯、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、甲基丙基酮、四氢呋喃、四氢吡喃、二氧六环、二氧杂环己烷、乙二醇单甲醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚和丙二醇单甲醚乙酸酯中的至少一种。

44、本发明还提供了上述正性光敏性树脂的制备方法。

45、本发明还提供了一种正性光敏性树脂组合物，包括如下质量份的组分制成：上述正性光敏性树脂 100份，光敏剂 3~40份，交联剂1~40份，偶联剂1~30份，有机溶剂 100~1000份。

46、上述的正性光敏性树脂组合物中，所述光敏剂为重氮萘醌类化合物、碘鎓盐类化合物和锍盐类化合物中至少一种；

47、所述重氮萘醌类化合物为下述1）-3）中任一种：

48、1）重氮萘醌类磺酸与多羟基化合物通过酯化反应生成的化合物；

49、2）重氮萘醌类磺酸与多胺基化合物通过磺酰化反应生成的化合物；

50、3）重氮萘醌类磺酸与多羟基多胺基化合物通过酯化和/或磺酰化反应生成的化合物；

51、其中，所述多羟基化合物、所述多胺基化合物或所述多羟基多胺基化合物中被所述重氮萘醌类磺酸取代的摩尔百分数为50%~100%；

52、所述重氮萘醌类磺酸选自1,2-重氮萘醌-5-磺酰基化合物、1,2-重氮萘醌-4-磺酰基化合物；

53、所述多羟基化合物包括bis-z、bisp-ez、bisp-ap、tekp-4hbpa、trisp-hap、trisp-pa、trisp-sa、trisocr-pa、bisochp-z、bisp-mz、bisp-pz、bisp-ipz、bisocp-ipz、bisp-cp、bisrs-2p、bisrs-3p、bisp-ochp、methylenetris-fr-cr、bisrs-26x、dml-mbpc、dml-mboc、dml-ochp、dml-pchp、dml-pc、dml-ptbp、dml-34x、dml-ep、dml-pop、dimethylol-bisoc-p、dml-pfp、dml-psbp、dml-mtrispc、triml-p、triml-35xl、tml-bp、tml-hq、tml-pp-bpf、tml-bpa、tmom-bp、hml-tpphba、hml-tphap (以上为商品名，可从本州化学工业(株)获得) 、bir-oc、bip-pc、bir-pc、bir-ptbp、bir-pchp、bip-bioc-f、4pc、bir-bipc-f、tep-bip-a、46dmoc、46dmoep、tm-bip-a（以上为商品名，旭有机材工业(株)产品）、2,6-二甲氧基甲基-4-叔丁基苯酚、2,6-二甲氧基甲基－对甲酚、2,6-二乙酰氧基甲基-对甲酚、萘酚、2,3,4-三羟基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羟基二苯甲酮、没食子酸甲酯、双酚a、双酚e、亚甲基双酚、联苯三酚丙酮树脂、间甲酚醛树脂和酚醛树脂中的至少一种；

54、所述多胺基化合物选自对苯二胺、甲苯二胺、3,4'-二氨基二苯基醚、4,4'-二氨基二苯基醚、3,4'-二氨基二苯基甲烷、4,4'-二氨基二苯基甲烷、3,4-二氨基二苯基砜、4,4'-二氨基二苯基砜、3,4'-二氨基二苯基硫醚、4,4'-二氨基二苯基硫醚、1,4-双（4-氨基苯氧基）苯、联苯胺、间苯二胺、对苯二胺、双（4-氨基苯氧基苯基）砜、双（3-氨基苯氧基苯基）砜、双（4-氨基苯氧基）联苯、双{4-（4-氨基苯氧基）苯基}醚、1,4-双（4-氨基苯氧基）苯、2,2'-二甲基-4,4'-二氨基联苯、2,2'-二乙基-4,4'-二氨基联苯、3,3'-二甲基-4,4'-二氨基联苯、3,3'-二乙基-4,4'-二氨基联苯、2,2',3,3'-四甲基-4,4'-二氨基联苯、3,3',4,4'-四甲基-4,4'-二氨基联苯、2,2'-双（三氟甲基）-4,4'-二氨基联苯中的至少一种；

55、所述多羟基多胺基化合物选自邻氨基苯酚、间氨基苯酚、对氨基苯酚、对氨基苯酚、1,4-二氨基-2,5二羟基苯、1,3-二氨基-2,4二羟基苯、1,3-二氨基-4,6二羟基苯、3,3’-二氨基-4,4’-二羟基联苯、4,4’-二氨基-3,3’-二羟基联苯、双（3-氨基-4-羟基苯基）丙烷、双（4-氨基-3-羟基苯基）丙烷、双（3-氨基-4-羟基苯基）砜、双（4-氨基-3-羟基苯基）砜、双（3-氨基-4-羟基苯基）六氟丙烷、双(4-氨基-3-羟基苯基）六氟丙烷、双（3-氨基-4-羟基苯基）芴、3,3'-二氨基-4,4'-二羟基二苯甲酮、4,4'-二氨基-3,3'-二羟基二苯甲酮中的至少一种；

56、所述碘鎓盐类化合物选自双(4-叔丁苯基)碘鎓六氟磷酸盐、二苯基碘鎓六氟砷酸盐、二苯基碘鎓六氟磷酸盐、4-异丙基-4'-甲基二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、二苯基碘嗡三氟甲烷磺酸盐、二苯基碘硝酸盐、[4-(三氟甲基)苯基](2,4,6-三甲基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、[3-(三氟甲基)苯基](2,4,6-三甲基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、[(4-三氟甲基)苯基](2,4,6-三甲氧基苯基)碘鎓对甲苯磺酸盐、苯基(2,4,6-三甲氧基苯基)碘鎓对甲苯磺酸盐、苯基[3-(三氟甲基)苯基]碘鎓三氟甲烷磺酸盐、(4-硝基苯基)(苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、(4-甲苯基)(2,4,6-三甲基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、(3-甲苯基)(2,4,6-三甲基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、(2-甲苯基)(2,4,6-三甲基苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、4-异丙基-4'-甲基二苯基碘鎓四(五氟苯基)硼酸盐、[4-[(2-羟基十四烷基)氧基]苯基]苯基碘六氟锑酸盐、(5-氟-2-硝基苯基)(2,4,6-三甲氧基苯基)碘鎓对甲苯磺酸盐、二苯基碘鎓六氟磷酸盐、二苯基碘鎓六氟砷酸盐、(3,5-二氯苯基)(2,4,6-三甲氧基苯基)碘鎓对甲苯磺酸盐、(3-溴苯基)(均三甲苯基)碘鎓三氟甲磺酸盐、[4-(溴甲基)苯基](2,4,6-三甲氧基苯基)碘鎓对甲苯磺酸盐、双(2,4,6-三甲基吡啶)碘鎓六氟磷酸盐、4,4'-二甲苯基碘六氟磷酸盐中的至少一种；

57、所述锍盐类化合物选自1,3-苯并二硫代吡咯四氟化硼盐、环丙基二苯基锍四氟硼酸盐、二甲基(甲硫代)锍四氟硼酸盐、二苯基(甲基)锍四氟硼酸盐、(二氟甲基)双(2,5-二甲基苯基)锍四氟硼酸盐、2-[4-(3-乙氧基-2-羟基丙氧基)苯氨基甲酰]乙基二甲基硫对甲苯磺酸盐、4-羟苯基二甲基锍甲磺酸盐、三苯基锍四氟硼酸盐、三(4-甲苯基)锍六氟磷酸盐、三(4-甲苯基)锍三氟甲烷磺酸盐、三乙基锍双(三氟甲基磺酰)亚胺中的至少一种。

58、上述的正性光敏性树脂组合物中，所述光敏剂为式b1和式b2所示化合物中的至少一种：

59、

60、式b1、式b2中，r为h或1,2-萘醌二叠氮磺酰基。

61、上述的正性光敏性树脂组合物中，所述交联剂是指在加热条件下或在路易斯酸作用下发生交联反应的化合物，包括含有环氧基团的化合物、含有羟甲基或烷氧基甲基的化合物；

62、所述含有环氧基团的化合物选自双酚a型环氧树脂、双酚f型环氧树脂、丙二醇二缩水甘油基醚、聚丙二醇二缩水甘油基醚、聚甲基(缩水甘油基氧基丙基)、含有环氧基的有机硅中的任一种，更优选3,3'-[氧基双亚甲基]双[3-乙基]氧杂环丁烷、1,4-丁二醇二缩水甘油醚、2,2-双(4-环氧丙氧基苯基)丙烷、9,9-双(4-环氧丙基氧-3-甲苯基)芴、9,9-双(4-环氧丙基氧基苯基)芴、1,3-双[2-(7-氧杂双环[4.1.0]庚-3-基)乙基]-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷、1,2-环己烷二羧酸二缩水甘油酯、1,2,7,8-二环氧辛烷、4-环己烯-1,2-二羧酸二缩水甘油酯、异氰脲酸三缩水甘油酯、4,4'-亚甲基双(n,n-二环丙氧基苯胺)、新戊二醇二缩水甘油醚、2,2'-(2,2,3,3,4,4,5,5-八氟己烷-1,6-二基)双(环氧乙烷)、季戊二醇二缩水甘油醚、乙烯基环己烯二缩水甘油醚、聚乙二醇二缩水甘油醚（聚合度为1-15）、聚丙二醇二缩水甘油醚（聚合度为1~15）、聚二甲基硅氧烷二缩水甘油醚（聚合度为1-15）、丁二醇二缩水甘油醚、二缩水甘油苯胺、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚、甘油三缩水甘油醚、5,5-二甲基-1,3-二(环氧乙烷基甲基)咪唑烷-2,4-二酮、2,2',2''-[次甲基-三(亚苯氧基亚甲基)]三(环氧乙烷)、1,1,1-三(4-羟基苯基)乙基三缩水甘油醚、双（2,3-环氧基环戊基）醚、3,4-环氧基-6-甲基环己基甲酸-3',4'-环氧基-6'-甲基环己基甲酯、乙烯基环己烯而环氧化合物、3,4-环氧基环己基甲酸-3',4'-环氧基环己基甲酯、二异戊二烯二环氧化合物、四苯基缩水甘油醚乙烷、三苯基缩水甘油醚基甲烷、三缩水甘油基-p-氨基苯酚、三缩水甘油基三聚异氰酸酯、四缩水甘油基二氨基二苯基甲烷、四缩水甘油基二甲苯二胺或四缩水甘油基-1,3-双氨基甲基环己烷；有商品名的产品可以列举出hp-850、hp-4032、hp-7200、hp-820、hp-4700、exa-4710、hp-4770、exa-859crp、exa-1514、exa-4880、exa-4850-150、exa-4850-1000、exa-4816、exa-4822、beo-60e、bpo-20e、hbe-100、dme-100、nc-3000、nc-6000（日本化药株式会社）中的至少一种。

63、上述的正性光敏性树脂组合物中，所述含有羟甲基或烷氧基甲基的化合物选自46dmoc、46dmoep(以上为商品名，旭有机材工业社制)、dml-pc、dml-pep、dml-oc、dml-oep、dml-34x、dml-ptbp、dml-pchp、dml-ochp、dml-pfp、dml-psbp、dml-pop、dml-mboc、dmlmbpc、dml-mtrispc、dml-bisoc-z、dml-bisochp-z、dml-bpc、dmlbisoc-p、dmom-pc、dmomptbp、dmom-mbpc、triml-p、triml-35xl、tml-hq、tml-bp、tml-pp-bpf、tml-bpe、tml-bpa、tml-bpaf、tml-bpap、tmom-bp、tmom-bpe、tmom-bpa、tmom-bpaf、tmom-bpap、hml-tpphba、hml-tphap、hmom-tpphba、hmom-tphap(以上为商品名，可从本州化学工业株式会社获得)、“nikalac”mx-290、“nikalac”mx-280、“nikalac”mx-270、“nikalac”mx-279、“nikalac”mw-100lm、“nikalac”mx-750lm（三和化学株式会社）中的至少一种；

64、所述偶联剂选自γ-氨丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、3-脲基丙基三甲氧基硅烷、3-脲基丙基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基二甲氧基甲基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、2-氰乙基三甲氧基硅烷、2-氰乙基三乙氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三乙氧基硅烷、3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基甲基三甲氧基硅烷、3-巯基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基乙氧基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基三丙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、n-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-（三乙氧基甲硅烷基）丙基琥珀酸酐、3-（间氨基苯氧基）三甲氧硅烷、对氨基苯基三甲氧基硅烷、氨基苯基三甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、3-乙酰氧丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-哌嗪基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-[双(2-羟乙基)氨基]丙烷-三乙氧基硅烷和2-(3,4-环氧环己烷)乙基三甲氧基硅烷中至少一种；

65、所述有机溶剂选自n’n-二甲基甲酰胺、n’n-二甲基乙酰胺、n-甲基-ε-己内酰胺、n-甲基吡咯烷酮、γ-丁内酯、乳酸乙酯、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、二甲基亚砜、二甲基砜、四亚甲基砜、四甲基脲、苯酚、m-甲酚、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、甲苯、二甲苯、均三甲苯、二丙酮醇、甲基异丁基酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、环丁砜、p-甲酚、3-氯苯酚、4-氯苯酚、四氢呋喃、3-乙氧基丙酸乙酯、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、甲基丙基酮、四氢呋喃、四氢吡喃、二氧六环、二氧杂环己烷、乙二醇单甲醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚和丙二醇单甲醚乙酸酯中的至少一种；

66、所述的正性光敏性树脂组合物，还包括质量份为0.1~30份的阻聚剂；

67、所述阻聚剂选自氢醌、4-甲氧基苯酚、n-亚硝基二苯基胺、对叔丁基儿茶酚、吩噻嗪、n-苯基萘基胺、2,6-二叔丁基对甲基苯酚、5-亚硝基-8-羟基喹啉、1-亚硝基-2-萘酚、2-亚硝基-1-萘酚和2-亚硝基-5-（n-乙基-磺基丙基氨基）苯酚中的至少一种。

68、本发明中，所述正性光敏性树脂组合物，由如下质量份的组分制成：上述正性光敏性树脂 100份，光敏剂 13~15份，交联剂15~30份，偶联剂3份、阻聚剂0.1份和有机溶剂 190份。

69、本发明还提供了一种上述正性光敏性树脂组合物的制备方法，包括如下步骤：（1）将上述正性光敏性树脂与所述有机溶剂混合，在黄光区和氮气保护下搅拌形成均相溶液；

70、（2）向步骤（1）所述均相溶液中，加入所述光敏剂、所述交联剂和/或所述其它组份混合后；添加所述有机溶剂调整溶液粘度、过滤，即得到所述正性光敏性树脂组合物。

71、本发明还提供了一种图案化树脂薄膜，所述图案化树脂薄膜由上述正性光敏性树脂组合物制备得到。

72、本发明还提供了一种图案化树脂薄膜的制备方法，包括如下步骤：

73、1）将上述正性光敏性树脂组合物的溶液涂敷在基质表面上，形成液态胶膜；

74、2）将所述液态胶膜在80~130oc热板或烘箱中烘烤1~30min，形成固态胶膜；

75、3）所述固态胶膜上覆盖掩膜版，在紫外线i线或i线和g线下曝光；

76、4）经步骤3）处理的所述固态胶膜采用显影剂溶解除掉曝光区域，然后用漂洗液清洗，得到未固化的图案化树脂膜；

77、5）对所述未固化的图案化树脂膜在200℃、氧含量低于100ppm的无氧环境中加热固化，得到所述图案化树脂薄膜。

78、本发明中，上述的方法中所涉及的显影剂、漂洗液均为现有技术常规助剂。其中，所述显影液优选四甲基氢氧化铵、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、氢氧化胆碱、二乙醇胺、二乙基氨基乙醇三乙胺、二乙胺、甲胺、二甲胺、乙酸二甲氨基乙酯、二甲基氨基乙醇、甲基丙烯酸二甲氨基乙酯、环己胺、乙二胺、1，6-己二胺等碱性化合物的水溶液。所述漂洗液优选用水或将添加有甲醇、乙醇、异丙醇等醇类、乳酸乙酯、丙二醇单甲醚醋酸酯等酯类的水溶液进行漂洗。

79、所述图案化树脂薄膜光刻分辨率高，小图形尺寸（≤5μm）不易脱落，可在200℃固化，固化后的图案化树脂薄膜与金属au的密合性优异，耐化学药品性优良，可满足高密度扇出型晶圆级封装的使用要求。

80、本发明所述正性光敏性树脂组合物应用于半导体制造和/或封装中，尤其适用于涉及到au布线层的应用场景。

81、本发明所述图案化树脂薄膜应用于半导体制造和/或封装中，尤其适用于涉及到au布线层的应用场景。

82、本发明具有如下有益效果：

83、本发明正性光敏性树脂制备的正性光敏性树脂组合物能解决正性光敏性树脂与au粘附性较差的问题，正性光敏性树脂组合物制备的图案化树脂薄膜的光刻分辨率高，小图形尺寸（≤5μm）不易脱落，可在200℃固化，固化后的图案化树脂薄膜与金属au的密合性优异，耐化学药品性优良，可满足半导体扇出型晶圆级封装的使用需求，尤其适用于涉及到au布线层的应用场景。