1.一种鎓盐型单体，以下式(a1)或(a2)表示；
2.根据权利要求1所述的鎓盐型单体，其中，式(a1)表示的鎓盐型单体为下式(a1-1)表示者，且式(a2)表示的鎓盐型单体为下式(a2-1)表示者；
3.根据权利要求2所述的鎓盐型单体，其中，式(a1-1)表示的鎓盐型单体为下式(a1-2)表示者，且式(a2-1)表示的鎓盐型单体为下式(a2-2)表示者；
4.根据权利要求3所述的鎓盐型单体，其中，式(a1-2)表示的鎓盐型单体为下式(a1-3)表示者，且式(a2-2)表示的鎓盐型单体为下式(a2-3)表示者；
5.一种聚合物，含有来自根据权利要求1至4中任一项所述的鎓盐型单体的重复单元。
6.根据权利要求5所述的聚合物，更含有下式(b1)或(b2)表示的重复单元；
7.根据权利要求5所述的聚合物，更含有下式(c1)表示的重复单元；
8.根据权利要求5所述的聚合物，更含有下式(d1)表示的重复单元；
9.一种化学增幅抗蚀剂组成物，含有：
10.根据权利要求9所述的化学增幅抗蚀剂组成物，更含有(b)有机溶剂。
11.根据权利要求9所述的化学增幅抗蚀剂组成物，更含有(c)淬灭剂。
12.根据权利要求9所述的化学增幅抗蚀剂组成物，更含有(d)酸产生剂。
13.根据权利要求9所述的化学增幅抗蚀剂组成物，更含有(e)表面活性剂。
14.根据权利要求9所述的化学增幅抗蚀剂组成物，更含有(f)溶解抑制剂。
15.一种图案形成方法，包含下列步骤：
16.根据权利要求15所述的图案形成方法，其中，该高能射线为波长193nm的arf准分子激光或波长248nm的krf准分子激光、电子束或波长3～15nm的极紫外线。