专利名称：喷嘴旋转机构以及具备该机构的涂布装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种喷嘴旋转机构以及具备该机构的涂布装置，例如，涉及一种在马达中空部中嵌设内设有流路的喷嘴单元、并利用马达的旋转而使喷嘴单元以及在其上所装设的喷嘴进行旋转的喷嘴旋转机构以及具备该机构的涂布装置。
背景技术：
当利用朝向非铅直朝下设置的吐出口，对涂布对象物的外侧面或空洞内面进行涂布时，或者当对含有曲线部分的轨迹以保持一定截面形状的方式进行涂布时，设置能改变吐出口方向的旋转机构而施行涂布。例如，专利文献1中公开的涂布装置是对箱型形状零件的外侧面与内面等进行涂布的涂布装置，其包括可将箱型形状零件固定的固定部；可将该固定部朝水平与垂直方向移动的移动部；用以吐出涂布流动物并且呈“ < ”字形的注射针以及注射器；可旋转地内插保持注射器的保持部；经由管可对注射器进行加压的分注器；以及控制这些动作的控制部。再者，例如，专利文献2中公开的涂布装置是一边使工件的被涂布面与喷嘴进行相对移动，一边从喷嘴的前端吐出口将材料沿被涂布面上的既定轨迹进行涂布的材料涂布装置，其中，将具有前端吐出口(其设置成前端部比后端部在横切轨迹方向的宽度变宽的轮廓)的喷嘴以轨迹几乎遍及全域并且前端部较后端部先行的方式进行旋转控制。现有技术文献专利文献专利文献1 日本专利特开平4-100558号公报专利文献2 日本专利特开2003-211045号公报
发明内容
(发明要解决的问题)然而，专利文献1的装置的喷嘴旋转机构在注射器的保持部另行设置马达，形成利用皮带传动马达的旋转的复杂并且庞大的物体。况且，因为皮带较容易滑动，因而吐出口在旋转方向位置的正确定位较为困难，在对每个注射器进行旋转的构造上，对马达所造成的负荷较大。除此之外，如果为了改变吐出口的方向而对每个注射器进行旋转，则注射器所连接的管会出现扭曲而妨碍顺畅的旋转动作，并且因重复承受扭曲动作，也会有导致管及早出现劣化的问题。另一方面，专利文献2的装置使对前端吐出口形状下工夫并且设置在垂直方向的喷嘴，利用旋转机构以注射器的轴线为中心进行旋转，并且使注射器利用移动机构对工件朝乂^轴方向进行相对移动。但是，在此种构造中，在含有马达部的旋转机构下方安装由喷嘴与材料收容本体所构成的注射器，因而在进行材料补充时，如果未将喷嘴与材料收容本体统筹地拆卸，则在材料补充后会有喷嘴前端位置发生偏移的情形。
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再者，如果为了改变吐出口的方向而旋转每个注射器，则管便会卷绕于注射器上， 因而判断每次进行工件更换时均必须使注射器进行逆向旋转。再者，因为马达部远离喷嘴前端，因而旋转轴线容易偏移，导致喷嘴前端的正确定位较为困难。因此，本发明目的在于提供一种以小型并且简易的构造，便可进行喷嘴前端在旋转方向位置的正确定位的喷嘴旋转机构、以及具备该机构的涂布装置。(解决技术问题的技术方案)发明者根据为实现无需经由皮带等动力传动手段，仅使含有喷嘴的最小极限零件的喷嘴单元进行转动的机构，并且将喷嘴单元直接可装卸地装设于转动装置的基本思想， 而完成本发明的创作。艮口，本发明第一方面的喷嘴旋转机构具备有喷嘴，具有用以吐出液体材料的吐出口 ； 喷嘴单元，具有与喷嘴以及液体材料供应源相连通的流路；基座构件；以及转动装置，配设于基座构件上，并且使喷嘴单元进行旋转；所述喷嘴旋转机构的特征为，将所述喷嘴以喷嘴的吐出口的中心线(207)与喷嘴单元的旋转轴中心线(306)构成角度的方式配设于喷嘴单元；将所述喷嘴单元可装卸地装设于转动装置。本发明第二方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第一方面中，所述转动装置构成为含有马达，所述马达具有中空部，所述中空部在轴方向贯通旋转轴中心线(306)而延伸并且嵌设喷嘴单元。本发明第三方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第一或第二方面中，所述喷嘴单元所具有的流路具备有在与液体材料供应源相连通侧的端部与旋转轴中心线(306) 同轴设置的供应侧开口部010)。本发明第四方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第三方面中，具备有连接管 (501)，连接于所述供应侧开口部；以及连接管固定构件(502)，与所述喷嘴单元分开而配设于基座构件，并将连接管固定。本发明第五方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第四方面中，所述连接管 (501)实质呈直线状，并且具备有用以直接连结液体材料供应源的突出部(503)。本发明第六方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第一至第五方面的任一方面中，具备有旋转位置检测机构，其中该旋转位置检测机构包含配设于所述喷嘴单元的检测用构件、以及设置于所述基座构件的传感器部。本发明第七方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第六方面中，所述检测用构件夹住旋转轴中心线(306)，而配设在与所述喷嘴相对向的位置。本发明第八方面的喷嘴旋转机构的特征为，在本发明第一至第七方面的任一方面中，所述喷嘴配设成使所述吐出口位于喷嘴单元的外周的内侧下方。本发明第九方面的涂布装置的特征为，具备有本发明第一至第八方面的任一方面的喷嘴旋转机构；使喷嘴旋转机构与涂布对象物进行相对移动的相对移动机构；液体材料供应源；以及控制装置。(发明的效果)根据本发明，因为仅喷嘴单元进行旋转，因而例如在管连接于注射器的情况下，管的部分也不会旋转，因而不会发生管的扭曲与卷绕的情形，因此旋转动作的方法没有限制，并且也不会使管劣化。再者，因为仅使轻量喷嘴单元进行旋转，因而对马达等驱动系统的负荷较少，通过将驱动系统与喷嘴单元呈直线性配置，便可实现喷头部的小型化、轻量化。再者，因为驱动系统直接将在其上所装设的喷嘴单元进行旋转，因而不会有因皮带的滑动等而造成的位置偏移的情形，可进行吐出口在旋转方向位置的正确定位，并且因为在途中并不需要介入动力传动机构，因而能源效率也较佳。再者，因为可在未拆卸喷嘴的情况下，进行液体材料供应源的安装与拆卸，因而在材料补充时不会发生喷嘴位置偏移的情形。再者，通过设置检测喷嘴单元的基准位置用的旋转位置检测机构，喷嘴单元的基准位置便可正确地决定，因而可精度较佳地执行吐出口的旋转方向的定位，仅变更涂布程序，便可轻易地应对涂布图案或涂布对象物种类的变更。
图1为本发明的喷嘴旋转机构的概略立体示意图。
图2为本发明的喷嘴旋转机构的正视图。
图3为本发明的喷嘴旋转机构的侧视图。
图4为本发明的喷嘴旋转机构的底视图。
图5为本发明的喷嘴旋转机构的剖视图(图2的A-A剖视图)。
图6为说明本发明的喷嘴旋转机构的动作的说明图。
图7为实施例1的涂布装置的概略立体示意图。
图8为说明实施例1的涂布装置进行涂布时的动作的说明图。
图9为实施例2的喷嘴旋转机构的剖视图。
符号说明
101喷嘴旋转机构
201喷嘴单元
202喷嘴
203第一流路
204第二流路
205第一流路的中心线
206第二流路的中心线
207喷嘴中心线
208密封构件
209喷嘴安装部
210供应侧开口部
301马达(中空轴马达)
302中空部
303旋转部
304箱体
305马达固定构件
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306马达旋转轴中心线
401液体材料供应源
402储存容器(注射器)
403连接口
404容器保持构件
405调节螺丝
501连接管
502连接管固定构件
503突出部
504连接管中心线
505间隙
601旋转位置检测机构
602光传感器
603遮光板
604伸出部
605伸出部侧缘
606检测部
701基座构件(底板)
801涂布装置
802X轴驱动机构
803Y轴驱动机构
804Z轴驱动机构
805X轴驱动方向
806Y轴驱动方向
807Z轴驱动方向
808喷嘴旋转方向
809机台
810控制装置
811配料控制器
812马达控制器
813其它的控制器
814涂布对象物
815接管
816来自加压源的压缩气体供应
817涂布面
818涂布方向
901液体材料。
具体实施方式
以下，就实施本发明的方式，以注射器为直接连结形式的喷嘴旋转机构例进行说明。[构造]图1表示本发明的喷嘴旋转机构101的概略立体示意图。并且，正视图如图2所示，侧视图如图3所示，底视图如图4所示，沿图2中A-A线切剖时的剖视图如图5所示。参照这些图进行说明。本发明的喷嘴旋转机构101具备有喷嘴202、喷嘴单元201、马达301、液体材料供应源401、连接管501、以及旋转位置检测机构601。该喷嘴202将液体材料901吐出。该喷嘴单元201装设有喷嘴202，并且内部设有流路(203、204)。该马达301使喷嘴单元201 进行旋转。该液体材料供应源401储存液体材料901，并利用来自加压源的压力，将液体材料901供应给喷嘴单元201。该连接管501将喷嘴单元201的设置有喷嘴202侧的背后侧的流路203、与液体材料供应源401相连通。该旋转位置检测机构601用以检测喷嘴单元 201在旋转方向808的基准位置。喷嘴单元201内设有流路(203、204)，该流路(203、204) —端连通于将液体材料 901吐出的喷嘴202，另一端则连通于与液体材料供应源401相连接的连接管501。该流路是由连通于连接管501的第一流路203、以及连通于喷嘴202的第二流路204这两个部分所构成。在第一流路203与连接管501间的连接部分配设有密封构件208，从而防止液体材料 901从连接管501侧漏出。在喷嘴单元201中，在第二流路204侧存在有喷嘴安装部209， 经由喷嘴安装部209，使第二流路204与喷嘴202的吐出口相连通。喷嘴202以包括吐出口的喷嘴中心线207、与旋转轴中心线306间构成角度(非同心)的方式，配设于喷嘴单元201，从而形成使吐出口以旋转中心线306为中心自动地描绘圆的方式旋动。马达301具有贯穿旋转部303的中心并延伸的中空部302。该旋转部303除形成有中空部302开口的两面之外，其余均由形成略长方体形状的箱体304所包围。通过将该箱体304固定，而固定马达301。以下，将该马达301称“中空轴马达”。液体材料供应源401在本实施方式中是由储存液体材料901的容器(注射器)402、以及与其连接的未图示的加压源所构成。利用来自加压源的压力，液体材料901便从注射器402通过连接管501再流入流路003、204)，然后从喷嘴202吐出。液体材料供应源401并不仅局限于如本实施方式的注射器402，也可为其它的构造。例如，也可从设置于远离喷嘴旋转机构101的位置、并且用以储存液体材料901的槽中，将液体输送管连接于连接管501，再利用来自加压源的压力进行液体材料901的供应。连接管501为将液体材料供应源401与喷嘴单元201相连通的管状构件，以不会随中空轴马达301的旋转而进行旋转的方式，利用连接管固定构件502而被固定。其一端插入至喷嘴单元201配设密封构件208之处，另一端构成以从连接管固定构件502的上面突出的方式延伸的突出部503。突出部503形成吻合液体材料供应源401的连接口 403的形状。旋转检测机构601是由在底板701所设置的传感器部、以及在喷嘴单元201所设置的检测用构件所构成。在本实施方式中，传感器部是由光传感器602构成，检测用构件是由遮光板603构成，但当然并不仅局限于此种组合。遮光板603为垂直方向截面呈L字形的板状构件。遮光板603安装成以夹住马达旋转轴中心线306而与喷嘴202呈对向，并且遮光板603的伸出部604以从喷嘴单元201侧面朝外侧呈略水平方向伸出的状态而安装。 该伸出部604延伸至可遮住光传感器602的光轴的位置。光感测器602呈略“ 二 ”字形，並由凹部构成检测部606。将该凹部安装在伸出部604可通过并且不会发生碰撞的方向与高度处。这些各构成零件如下述进行结合，而构成喷嘴机构101。喷嘴单元201内设有第一流路203的部分嵌设于中空轴马达301的中空部分302， 并利用未图示的螺丝等锁紧构件，装卸自如地安装于中空部分302中。在该嵌设的部分中， 喷嘴单元201内的第一流路中心线205与中空轴马达的旋转轴中心线306呈一致，即使喷嘴单元201进行旋转，但与连接管501相连通的第一流路203的供应侧开口部210的位置仍不会改变。所以，可将呈固定并且不会旋转的直线状连接管501插入第一流路203，甚至可将喷嘴单元201、中空轴马达301以及注射器402呈直线性配置。喷嘴202的方向并非垂直朝下，而是相对于马达旋转轴中心线306具有角度地安装。配合该角度，喷嘴单元201内的第二流路204相对于马达旋转轴中心线306呈倾斜。使流路倾斜而改变每个喷嘴202方向的方法，并非特别制作喷嘴自身弯曲呈例如“〈”字形， 而是可直接使用一般的涂布作业中所使用的喷嘴，就从零件互换性层面而言是有利的。并且，仅利用喷嘴202的安装便可决定喷嘴前端位置，因而如上述与喷嘴自身呈弯曲的情况相比，可更简单地执行定位。再者，喷嘴202的安装角度、与流路204的倾斜或挠曲，可依照涂布对象物814的形状、与所需的涂布状态而任意变更。此时，仅通过变更喷嘴单元201便可简单地应对。此处，喷嘴202在高度方向的安装位置为在旋转时不会干扰检测机构601的地方，最好位于检测机构601的安装位置的下方。这样的话，喷嘴单元201便可进行360度以上的旋转。当安装有喷嘴202时，如果构成为吐出口位于喷嘴单元201的外周的内侧下方，则相比于吐出口位于喷嘴单元的外缘的外侧下方的情况，可缩短吐出口的移动距离。嵌设有上述喷嘴单元201的中空轴马达301，通过将用以包围旋转部303的箱体 304，利用马达固定构件305进行固定，便可固设于底板701。所以，通过中空轴马达301的旋转部303进行旋转，仅使喷嘴单元201与在其上所装设的喷嘴202进行旋转。连接管501其前端一部分插设于在固设的中空轴马达301所嵌设的喷嘴单元201 的第一流路203。然后，为了使不会随中空轴马达301的旋转而进行旋转，并且为了使连接管中心线504与第一流路中心线205位于一直线上而不会偏移，利用在底板701上所固设的连接管固定构件502进行确实地固定。连接管固定构件502形成为在下方在与中空轴马达301以及喷嘴单元201之间仅设置微小隙间505。理由是如果发生接触，主要会因摩擦而成为对马达旋转的阻力、或发生切削屑等。然后，在上方形成突出设置突出部503状态。该突出部503形成吻合在连接管 501端所设置的液体材料供应源401的连接口 403的形状。因为连接管501呈可拆卸设置， 因而可轻易地更换形成各样形状的连接口的连接管501，能够应对各样方式的液体材料供应源401。成为液体材料供应源401的一部分的储存容器402(注射器)，连接于上述连接管固定构件502上方的突出部503。然后，在连接部分的上方，由固定于底板701上的容器保持构件404支撑。在容器保持构件404中安装有调节螺丝405，通过该调节螺丝405便可拆卸地将注射器402固定。在注射器402的周围，因为除容器保持构件404以外并无存在机构与构件，因而当对注射器402进行作业时便没有遮蔽物，从而可顺畅地执行作业。并且， 注射器402利用连接口 403进行装卸，可轻易地进行仅注射器402的装卸，因而能在不对喷嘴位置造成影响情况下，执行液体材料的补充。在注射器402上安装着接管815，并从未图示加压源接收压缩气体的供应。利用来自该加压源的压力，液体材料901便从注射器402流入于流路(203、204)中，然后再利用喷嘴202吐出。因为注射器402并不会随喷嘴单元201的旋转而一起进行旋转，因而在注射器402上所安装的接管815也不会旋转，便不会有管发生扭曲、或妨碍旋转动作的情况。 即，因为液体材料供应源401所连接的连接管501并不会旋转，因而不仅注射器402与接管 815，就连液体输送管等也可在不会扭曲的情况下进行连接。从下方观看喷嘴旋转机构101时，遮光板603以夹住中空轴马达301的旋转轴中心线306的方式，配置在与吐出液体材料901的喷嘴202呈相对向的位置处(参照图4)。 换言之，以遮光板603的伸出部侧缘605与用以吐出液体材料901的喷嘴202的中心线207 的连结直线，通过中空轴马达301的旋转轴中心306，并且排列于一直线上的状态，配设遮光板603与喷嘴202。然后，光传感器602在底板701的下端中央处，将其检测部606朝向配设各构成零件的一侧安装。通过将遮光板603、光传感器602、以及喷嘴202以如上述的位置关系配设，因为成为喷嘴202前端的基准位置位于旋转位置检测机构601的正面并且中心的单纯位置关系，因而当进行涂布动作时，便容易想象出涂布路径。并且，以同样的理由，直线动作与旋转动作的控制也趋于容易。[动作]针对本发明喷嘴旋转机构101的动作，参照图6进行说明。当刚切入电源后，在因某种原因而造成旋转方向808位置出现偏移等情况时，为了决定喷嘴202前端的旋转方向808的基准位置，便进行如下动作。另外，存在将设定该旋转方向808的基准位置的动作称为“喷嘴原点归位动作”的情况。首先，从下方观看时，使喷嘴单元201朝逆时针方向旋转(图6 (a))。旋转方向808 并不仅局限于此，可依照遮光板603的伸出部侧缘605的方向而决定。然后，检测在喷嘴单元201中所安装的遮光板603的伸出部侧缘605最初遮蔽到光传感器检测部606的光轴的位置，并停止旋转(图6(b))。将该位置设为喷嘴202前端的旋转方向808的基准位置。此处，中空轴马达301的旋转速度最好是每次以马达最小分解能力程度的最慢速度进行旋转的速度。理由是如果旋转速度过于快速，即便光传感器602检测到遮光板603，但却仍未停止而冲过头，导致会有以该冲过头的位置当作旋转方向808的基准位置的情况。在欲使旋转方向808的基准位置设定动作所耗费的时间短于上述方法的情况下， 也可进行如下动作。首先，使喷嘴单元201以与涂布时的速度为同程度的速度进行旋转，检测在喷嘴单元201中所安装的遮光板603的伸出部侧缘605最初遮蔽到光传感器检测部 606的光轴的位置，并停止旋转。但是，如上述，判断在停止时会有冲过头的情况(图6 (c))。 在此，从冲过头的位置以上述最小速度进行反旋转，并检测遮光板603不会遮蔽到光传感器602的光的位置，便停止反旋转(图6(d))。只要将该位置设为旋转方向808的基准位置即可。由此，可缩短以最小速度进行旋转的时间。
设定旋转方向808的基准位置之后，便利用马达控制器812控制中空轴马达301 的旋转角度，并且以通过上述方法所决定的基准位置作为原点，控制喷嘴202前端的旋转方向808的位置。因为可正确地设定喷嘴202前端的位置，因而当对不同形状的涂布对象物814进行涂布时、或对相同涂布对象物814以不同涂布图案进行涂布时，均不需要重新制作教导(teaching)，仅变更执行涂布动作控制的涂布程序，便可轻易地应对。以下，针对本发明的详细内容利用实施例进行说明，但是本发明并不受任一实施例的限定。实施例1[涂布装置]本实施例的涂布装置801如图7所示。在喷嘴旋转机构101中连接着用以储存液体材料901的储存容器402(注射器)， 而注射器402则通过接管815接收来自加压源的压缩气体供应。该喷嘴旋转机构101设置于Z轴驱动机构804上，形成可朝上下方向(图中，组件符号807表示的方向)进行移动。 Z轴驱动机构804设置于X轴驱动机构802上，并可朝左右方向(图中，组件符号805表示的方向)移动。在X轴驱动机构802与Z轴驱动机构804的下方设置设有机台809(其用以载置涂布对象物814)的Y轴驱动机构803，形成可朝前后方向(图中，组件符号806表示的方向)进行移动。控制着上述各机构的控制装置810区分为马达控制器812、配料控制器811以及控制器813。该马达控制器812对喷嘴旋转机构101的中空轴马达301进行控制。该配料控制器811控制着对注射器402所施加的压力、与压力施加的时间等。该控制器813对其余的部分进行控制。上述仅例示涂布装置801的一例而已，在属于能达成同样目的的构造的前提下， 并不仅局限于上述构造。[涂布作业]利用本实施例的涂布装置801施行涂布作业时的顺序如下所示。首先，将已安装有喷嘴202以及注射器402的喷嘴旋转机构101设置于涂布装置 801的Z轴驱动机构804上。然后，依照如前述的方法执行喷嘴旋转方向808的基准位置设定。然后，将涂布对象物814载置于机台809上，并固定。接着，将喷嘴202朝涂布对象物 814上移动，并开始进行涂布。例如，当在涂布对象物814的外侧面施行一周涂布时，为了能从上方观看时相对于涂布面817保持与喷嘴中心线207呈垂直的姿势，而执行对应XY方向 (805,806)动作的喷嘴旋转方向808的动作控制(参照图8)。当涂布结束时，包含机台809 与喷嘴旋转机构101在内的部分便利用各驱动机构(802、803、804)移动至待机位置，便完成对一个涂布对象物814的涂布作业。当对多个涂布对象物持续进行涂布作业时，便将已涂布的涂布对象物更换为未涂布的涂布对象物，并重复上述作业。根据具备以上构造的本实施例涂布装置，因为在注射器周围并没有存在机构与构件，因而在对注射器进行作业时无遮蔽物，可轻易地执行对注射器的作业。并且，通过利用注射器连接口执行装卸，可轻易地仅对注射器进行装卸，因而可在不对喷嘴位置造成影响的情况下，执行液体材料的补充。实施例2
本实施例的喷嘴单元201如图9所示，喷嘴中心线207与旋转轴中心线306间形成角度这点、以及在喷嘴单元201中所内设的流路是由两个部分(203、204)构成这点，与前述的喷嘴旋转机构101相同。但是，在喷嘴前端的吐出口以位于旋转轴中心线306上的方式配设喷嘴202，并且配合此情形，将内接于喷嘴单元201的流路(第二流路204)形成曲柄状这点，不同于实施例1。在实施例1中，喷嘴前端的吐出口朝向远离旋转轴中心线306的方向，但在本实施例中，如图9所示，喷嘴前端的吐出口以位于旋转轴中心线306上的方式配设。另一方面，当观看在喷嘴单元201中内设的流路时，因为与液体材料供应源401相连接的连接管501插设于供应侧开口部210，因而为了使旋转轴中心线306与流路中心线205 —致，便与实施例 1同样地形成第一流路203。但是，如上述，因为喷嘴前端的吐出口以与旋转轴中心线306 一致的方式配设，因而配合喷嘴202的方向，从第一流路203起至喷嘴202的第二流路204 形成曲柄状。换言之，在从供应侧开口部210起至吐出口的流路中具有3处挠曲点。通过喷嘴前端的吐出口朝旋转轴中心线306侧挠曲(即，位于喷嘴单元201的外周的内侧下方)，相比于实施例1，进行较小的回转，因而就XY轴的各驱动机构(802、803) 的可动范围(行程)较小的装置而言特别有效。例如，当考虑如同图8—样对涂布对象物 814施行涂布时，在实施例1中的移动路径便成为818所示的路径，但在实施例2中则成为沿涂布面817的移动路径，得知移动范围缩小(移动距离缩短)。再者，在本实施例的装置中，因为成为定位对象的吐出口位于旋转轴中心线306 上，因而相比于吐出口未位于旋转轴中心线上的构造，旋转方向的定位精度较佳。另外，上述实施例当然可通过仅对喷嘴单元201进行更换而简单地应对。(产业上的可利用性)通过取代液体材料供应源，改为将真空源连接于喷嘴旋转机构的连接管，也可应用于将从晶片上切割的半导体芯片利用喷嘴进行吸附，并且从晶片上移动至基板上的半导体芯片载置位置的装置。
权利要求
1.一种喷嘴旋转机构，具备有喷嘴，具有用以吐出液体材料的吐出口 ；喷嘴单元，具有与喷嘴以及液体材料供应源相连通的流路；基座构件；以及转动装置，配设于基座构件上，并且使喷嘴单元进行旋转；所述喷嘴旋转机构的特征在于，将所述喷嘴以喷嘴的吐出口的中心线(207)与喷嘴单元的旋转轴中心线(306)构成角度的方式配设于喷嘴单元；将所述喷嘴单元可装卸地装设于转动装置。
2.根据权利要求1所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，所述转动装置构成为含有马达， 所述马达具有中空部，所述中空部在轴方向贯通旋转轴中心线(306)而延伸并且嵌设喷嘴单元。
3.根据权利要求1或2所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，所述喷嘴单元所具有的流路具备有在与液体材料供应源相连通侧的端部与旋转轴中心线(306)同轴设置的供应侧开口部(210)。
4.根据权利要求3所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，具备有连接管(501)，连接于所述供应侧开口部；以及连接管固定构件(502)，与所述喷嘴单元分开而配设于基座构件，并将连接管固定。
5.根据权利要求4所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，所述连接管(501)实质呈直线状，并且具备有用以直接连结液体材料供应源的突出部(503)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，具备有旋转位置检测机构，其中该旋转位置检测机构包含配设于所述喷嘴单元的检测用构件、以及设置于所述基座构件的传感器部。
7.根据权利要求6所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，所述检测用构件夹住旋转轴中心线(306)，而配设在与所述喷嘴相对向的位置。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的喷嘴旋转机构，其特征在于，所述喷嘴配设成使所述吐出口位于喷嘴单元的外周的内侧下方。
9.一种涂布装置，其特征在于，具备有权利要求1至8中任一项所述的喷嘴旋转机构；使喷嘴旋转机构与涂布对象物进行相对移动的相对移动机构；液体材料供应源；以及控制装置。
全文摘要
本发明提供一种以小型并且简易的构造，便可进行喷嘴前端在旋转方向位置的正确定位的喷嘴旋转机构、以及具备该机构的涂布装置。本发明的喷嘴旋转机构具备有喷嘴，具有用以吐出液体材料的吐出口；喷嘴单元，具有与喷嘴以及液体材料供应源相连通的流路；基座构件；以及转动装置，配设于基座构件上，并且使喷嘴单元进行旋转；所述喷嘴旋转机构的特征在于，将所述喷嘴以喷嘴的吐出口的中心线与喷嘴单元的旋转轴中心线构成角度的方式配设于喷嘴单元；将所述喷嘴单元可装卸地装设于转动装置。
文档编号B05B3/12GK102421536SQ20108001823
公开日2012年4月18日 申请日期2010年4月23日 优先权日2009年4月24日
发明者生岛和正 申请人:武藏工业株式会社