专利名称：一种蓝宝石抛光液及配制方法
技术领域：
本发明涉及一种蓝宝石表面处理的技术，特别是涉及一种蓝宝石抛光液及配制方法。
背景技术：
当前市场上的蓝宝石抛光液主要以硅溶胶为原料进行抛光液的配制，其中使用了大量的有机添加剂，成本过高是一个不可忽视的问题，而且浓度也大，在使用的过程中颗粒易残留在蓝宝石表面，给后续的工序造成麻烦。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种从二氧化硅纳米颗粒的颗粒直接配制蓝宝石抛光液，配制得的抛光液固含量很低的一种蓝宝石抛光液及配制方法。本发明的一种蓝宝石抛光液，包括去离子水溶液、二氧化硅纳米颗粒、分散剂、络合剂和PH调节剂，各成分按如下重量百分比配制
去离子水溶液90% — 99%、二氧化硅纳米颗粒O. 1% — 6%、分散剂O. 1%—O. 7%、络合剂
O.01%—O. 5%。所述二氧化娃纳米颗粒粒径为Inm—80nm。所述分散剂为硅酸钠、焦磷酸钠、羧甲基纤维素或甲基戊醇中的至少一种。所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠、氨三乙酸钠、二乙醇胺中的至少一种。所述pH调节剂为氢氧化钠或氢氧化钾,调节pH值至9一11. 5。本发明的一种蓝宝石抛光液的配制方法，包括以下步骤
首先将分散剂、络合剂加入到去离子水中，然后向其中加入二氧化硅纳米颗粒，且不断的搅拌，同时超声5分钟一8分钟使其分散完全，最后加入pH调节剂将pH值调节到9一
11.5。所述分散剂为硅酸钠、焦磷酸钠、羧甲基纤维素或甲基戊醇中的至少一种，重量占抛光液总重量的O. 1% — O. 7%。所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠、氨三乙酸钠、二乙醇胺中的至少一种，重量占抛光液总重量的O. 01%—O. 5%。所述二氧化娃纳米颗粒的粒径为Inm—80nm。所述pH调节剂为氢氧化钠或氢氧化钾。与现有技术相比本发明的有益效果为由于从二氧化硅纳米颗粒的颗粒直接配制蓝宝石抛光液，这样配制得的抛光液固含量很低，能有效的节省了配制时间跟成本，具有抛光效率高、存放时间长的特点，也易于后续的清洗工艺，使用的添加剂少，而且多为无机添加剂，对环境及人体也没有危害，具有很好的环保性，配制方法简单、有效，要求非常低，易于生产。
具体实施例方式下面对本发明的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
本发明的一种蓝宝石抛光液，包括去离子水溶液、粒径为Inm — 80nm 二氧化硅纳米颗粒、分散剂、络合剂和PH调节剂，各成分按如下重量百分比配制
去离子水溶液90% — 99%、二氧化硅纳米颗粒O. 1% — 6%、分散剂O. 1%—O. 7%、络合剂
O.01%—O. 5%。一种蓝宝石抛光液的配制方法，包括以下步骤
首先将分散剂、络合剂加入到去离子水中，然后向其中加入二氧化硅纳米颗粒，且不断的搅拌，同时超声5分钟一8分钟使其分散完全，最后加入pH调节剂将pH值调节到9一
11.5。分散剂为硅酸钠、焦磷酸钠、羧甲基纤维素或甲基戊醇中的至少一种，重量占抛光液总重量的O. 1% — O. 7%，提高抛光效率，对环境及人体也没有危害，具有很好的环保性。络合剂为乙二胺四乙酸二钠、氨三乙酸钠、二乙醇胺中的至少一种，重量占抛光液总重量的O. 01% — O. 5%，能够有效去除抛光中的金属离子，在适当的配比下起到最优的抛光效果。二氧化娃纳米颗粒的粒径为Inm—80nm,这样使速率越快,并且不易凝聚成团。
pH调节剂为氢氧化钠或氢氧化钾，有效防止沉淀，增强抛光中的化学应用，从而提高抛光中的速率。实施例I :
称取30克硅酸钠、20克乙二胺四乙酸二纳加入到15L的去离子水中，搅拌溶解，然后向其中加入130克40nm的二氧化硅纳米颗粒颗粒，搅拌并开超声使其分散完全，最后加入氢氧化钾调节pH值到10. 5。实施例2
称取80克焦磷酸钠、40克乙二胺四乙酸二纳加入到13L的去离子水中，搅拌溶解，然后向其中加入200克50nm的二氧化硅纳米颗粒颗粒，搅拌并开超声使其分散完全，最后加入氢氧化钠调节PH值到9. 5。实施例3
称取100克硅酸钠、40克二乙醇胺加入到15L的去离子水中，搅拌溶解，然后向其中加入200克25nm的二氧化硅纳米颗粒颗粒，搅拌并开超声使其分散完全，最后加入氢氧化钠调节pH值到11.0。实施例4
称取105克羧甲基纤维素、75克乙二胺四乙酸二纳加入到20L的去离子水中，搅拌溶解，然后向其中加入350克60nm的二氧化硅纳米颗粒颗粒，搅拌并开超声使其分散完全，最后加入氢氧化钾调节pH值到11. O。所配得的蓝宝石抛光液在SPEEDFAM单面抛光机上进行2英寸蓝宝石晶片的抛光，抛光压力4. 5公斤/片，抛光转速50rpm,抛光液流速100mL/min。抛光前后的蓝宝石片用FRT公司的平坦度检测仪检测，蓝宝石表面质量用CANDELA检测。添加上述实施例一到实施例四配得的抛光液，其结果如下
权利要求
1.一种蓝宝石抛光液，其特征在于包括去离子水溶液、二氧化硅纳米颗粒、分散剂、络合剂和pH调节剂，各成分按如下重量百分比配制去离子水溶液90% — 99%、二氧化硅纳米颗粒O. 1% — 6%、分散剂O. 1%—O. 7%、络合剂O. 01%—O. 5%。
2.如权利要求I所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述二氧化硅纳米颗粒粒径为 Inm—80nm。
3.如权利要求I所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述分散剂为硅酸钠、焦磷酸钠、羧甲基纤维素或甲基戊醇中的至少一种。
4.如权利要求I所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠、氨三乙酸钠、二乙醇胺中的至少一种。
5.如权利要求I一4中任意一项所述的一种蓝宝石抛光液，其特征在于，所述pH调节剂为氢氧化钠或氢氧化钾，调节pH值至9一 11. 5。
6.一种蓝宝石抛光液的配制方法，其特征在于，包括以下步骤首先将分散剂、络合剂加入到去离子水中，然后向其中加入二氧化硅纳米颗粒，且不断的搅拌，同时超声5分钟一8分钟使其分散完全，最后加入pH调节剂将pH值调节到9一11.5。
7.如权利要求6所述的一种蓝宝石抛光液的配制方法，其特征在于所述分散剂为硅酸钠、焦磷酸钠、羧甲基纤维素或甲基戊醇中的至少一种，重量占抛光液总重量的O. 1%—O. 7%。
8.如权利要求6所述的一种蓝宝石抛光液的配制方法，其特征在于所述络合剂为乙二胺四乙酸二钠、氨三乙酸钠、二乙醇胺中的至少一种，重量占抛光液总重量的O. 01%—O.5%。
9.如权利要求6所述的一种蓝宝石抛光液的配制方法，其特征在于所述二氧化硅纳米颗粒的粒径为Inm—80nm。
10.如权利要求6—9中任意一项所述的一种蓝宝石抛光液的配制方法,其特征在于所述pH调节剂为氢氧化钠或氢氧化钾。
全文摘要
本发明公开了一种蓝宝石表面处理的技术，特别是公开了一种蓝宝石抛光液及配制方法，包括去离子水溶液、二氧化硅纳米颗粒、分散剂、络合剂和pH调节剂，首先将分散剂、络合剂加入到去离子水中，然后向其中加入二氧化硅纳米颗粒，且不断的搅拌，同时超声5分钟—8分钟使其分散完全，最后加入pH调节剂将pH值调节到9—11.5，本发明由于从二氧化硅纳米颗粒的颗粒直接配制蓝宝石抛光液，这样配制得的抛光液固含量很低，能有效的节省了配制时间跟成本，具有抛光效率高、存放时间长的特点，也易于后续的清洗工艺，使用的添加剂少，而且多为无机添加剂，对环境及人体也没有危害，具有很好的环保性，配制方法简单有效，要求非常低，易于生产。
文档编号C09G1/02GK102911606SQ20121044655
公开日2013年2月6日 申请日期2012年11月10日 优先权日2012年11月10日
发明者李建明 申请人:长治虹源科技晶片技术有限公司