专利名称：一种涂布设备以及涂布控制系统的制作方法
技术领域：
一种涂布设备以及涂布控制系统技术领域[0001]本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种涂布设备以及涂布控制系统。
技术背景[0002]在液晶显示器制程的涂布工艺中，涂布间隙(即喷嘴到基板的垂直距离)是由伺 服马达(Servo Motor)来控制的，即由伺服马达在喷嘴到基板的垂直方向上(此处称为Z 轴)的位置来控制涂布间隙。目前，在涂布过程中伺服马达在Z轴的位置固定不变。[0003]在涂布前通过可编程逻辑控制器(Programmable LogicController, PLC)控制伺 服马达的高度，以控制涂布间隙为预设的涂布间隙；在涂布工艺中，通过一个激光传感器 (Laser Sensor)、与该一个激光传感器相连的放大器控制器、与该放大器控制器相连的磁 阀式可控电抗器(Magnetic Control Reactor, MCR)、及监控电脑得到实际的涂布间隙，并 发送到监控电脑进行显示。[0004]由于涂布过程中伺服马达控制的喷嘴在Z轴的位置固定不变，而在此过程中往往 会存在基板表面不平整，或其他原因导致的基板放置不平，或由于伺服马达发热等原因造 成的自身在Z轴位置的误差等，导致实际的涂布间隙存在偏差，进而造成涂布膜厚不均匀， 影响显示。实用新型内容[0005]本实用新型的实施例提供一种涂布设备以及涂布控制系统，在涂布过程中可保证 涂布间隙更加均匀，从而使涂布膜厚均一性更高。[0006]为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案[0007]—方面，提供了一种涂布设备，该涂布设备包括喷嘴，承载所述喷嘴的喷嘴基座； 还包括第一马达和第二马达；所述第一马达和所述第二马达分别与所述喷嘴基座的两端 相连；至少两个激光传感器；所述至少两个激光传感器设置在所述喷嘴前端，以使得与马 达相连的PLC控制与所述第一马达相连的喷嘴基座的一端升降第一调整值，并控制与所述 第二马达相连的喷嘴基座的另一端升降第二调整值；其中，所述第一调整值由所述至少两 个激光传感器中的一部分所测得的模拟电信号计算得到，所述第二调整值由所述至少两个 激光传感器中的另一部分所测得的模拟电信号计算得到。[0008]可选的，所述至少两个激光传感器在所述喷嘴前端按照一定间隔排列。[0009]可选的，所述激光传感器的个数为两个；所述两个激光传感器分别位于所述喷嘴 的两侧。[0010]进一步地，所述两个激光传感器的位置关于所述喷嘴的中垂面对称。[0011]进一步可选的，所述两个激光传感器分别与所述喷嘴的两侧边缘距离可调。[0012]进一步地，所述两个激光传感器的激光检测光斑到达基板的位置距离与涂布方向 平行的所述基板的边缘为3mm。[0013]可选的，在所述激光传感器外面设置有保护罩。[0014]可选的，所述第一马达和所述第二马达为伺服马达。[0015]另一方面，提供了一种涂布控制系统，该涂布控制系统包括上述的涂布设备；与 所述涂布设备中的马达相连的PLC ;与所述涂布设备中的至少两个激光传感器相连的放大 器控制器；与所述放大器控制器相连的MCR ；以及与所述MCR相连的监控模块；[0016]其中，所述放大器控制器用于接收所述至少两个激光传感器发送的模拟电信号， 经放大后，转换为数字信号，并发送至所述MCR ；[0017]所述MCR用于补正所述激光器将光信号转化为所述模拟电信号，及所述放大器控 制器将所述模拟电信号转化为数字信号过程中的偏差；并将补正的数字信号发送到所述监 控丰吴块；[0018]所述监控模块用于根据由所述至少两个激光传感器中的一部分所测得的模拟电 信号所转换成的数字信号计算得到第一调整值，并根据由所述至少两个激光传感器中的另 一部分所测得的模拟电信号所转换成的数字信号计算得到第二调整值；[0019]所述PLC用于控制与所述第一马达相连的喷嘴基座的一端升降所述第一调整值， 并控制与所述第二马达相连的喷嘴基座的另一端升降所述第二调整值。[0020]优选的，所述PLC和所述放大器控制器相连。[0021]本实用新型实施例提供了一种涂布设备以及涂布控制系统，通过在所述涂布设备 的喷嘴前端设置至少两个激光传感器来测量涂布间隙，这样可以由至少两个激光传感器中 的一部分所反馈的值得到第一调整值，由另一部分所反馈的值得到第二调整值，并且由PLC 分别控制两个马达，以使得与马达相连的喷嘴基座的两端分别升降第一调整值及第二调整 值。由于喷嘴基座的两端的调整值是由设置在不同位置处的激光传感器所得到的，而且喷 嘴基座的两端可分别根据第一调整值、第二调整值进行调整，故而，可使调整后的喷嘴与基 板更加平行，从而使涂布过程中涂布间隙更加均匀，涂布膜厚均一性更高。
[0022]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提 下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0023]图1为本实用新型实施例提供的具有两个激光传感器的涂布设备的示意图；[0024]图2为本实用新型实施例提供的具有两个激光传感器的涂布设备的俯视图；[0025]图3为本实用新型实施例提供的具有两个激光传感器的涂布设备的侧视图；[0026]图4为本实用新型实施例提供的具有四个激光传感器的涂布设备的俯视图；[0027]图5为本实用新型实施例提供的具有两个激光传感器的涂布设备中两个激光传 感器的位置示意图；[0028]图6为本实用新型实施例提供的计算第一(第二)调整值涉及的参数示意图。[0029]附图标记[0030]101-喷嘴；102_喷嘴基座；103a_第一马达，103b-第二马达；104_激光传感器， 104a-第一激光传感器，104b-第二激光传感器，104c-第三激光传感器，104d-第四激光 传感器；105-PLC ；106-基板；107-放大器控制器;108_MCR ;109_监控模块;110_石定盘；210-保护罩。
具体实施方式
[0031]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0032]本实用新型实施例提供了一种涂布设备，参照图1-图4，该涂布设备包括喷嘴 101，承载所述喷嘴的喷嘴基座102。[0033]上述提供的涂布设备还包括第一马达103a和第二马达103b ;所述第一马达 103a和所述第二马达103b分别与所述喷嘴基座102的两端相连。这样，可以通过两个马达 分别调整喷嘴基座102的两端的高度。[0034]另外，上述提供的涂布设备还包括至少两个激光传感器104 ;所述至少两个激光 传感器104设置在所述喷嘴101前端，以使得与马达相连的PLC105控制与所述第一马达 103a相连的喷嘴基座102的一端升降第一调整值，并控制与所述第二马达103b相连的喷嘴 基座102的另一端升降第二调整值；其中，所述第一调整值由所述至少两个激光传感器104 中的一部分所测得的模拟电信号计算得到的，所述第二调整值由所述至少两个激光传感器 中的另一部分所测得的模拟电信号计算得到的。[0035]在本实施例中，首先，激光传感器104为至少两个，其中，图1-图3以包含有两个 激光传感器104，即第一激光传感器104a和第二激光传感器104b为例，图4以包含有四个 激光传感器104,即第一激光传感器104a、第二激光传感器104b、第三激光传感器104c和第 四激光传感器104d为例，但本实用新型实施例并不限于此，可以为至少两个的任意多个。 对于图1-图4，该涂布设备为图中除虚线框以外的部分。[0036]其次，此处所指的喷嘴前端，即为沿相对涂布前进方向看过去的正对喷嘴的那一端。[0037]再次，所述激光传感器相对于所述喷嘴的尖端的垂直距离以实际放置位置为准， 但以基板为参考其发射激光的表面不能低于喷嘴尖端。[0038]另外，对于上述所指第一调整值由所述至少两个激光传感器104中的一部分所测 得的模拟信号计算得到，此处可以根据实际的激光传感器的个数，以及激光传感器所设置 的位置，由其中一部分所测得的模拟电信号并最终得到的涂布间隙进行计算得到第一调整 值，从而通过所述PLC105控制与其中一个马达相连的喷嘴基座102的一端升降第一调整 值；由另外一部分所测得的模拟电信号并最终得到的涂布间隙进行计算得到第二调整值， 从而通过所述PLC105控制与另一个马达相连的喷嘴基座102的一端升降第二调整值。[0039]例如参照图4，若有4个激光传感器(第一激光传感器104a，第二激光传感器 104b，第三激光传感器104c，第四激光传感器104d)，该4个激光传感器两两位于喷嘴的两 侧，即，第一激光传感器104a和第三激光传感器104c位于一侧，第二激光传感器104b和第 四激光传感器104d位于另一侧；对于第一调整值，可根据第一激光传感器104a和第三激光 传感器104c分别测得的模拟电信号并最终分别得到实际的涂布间隙得到，例如可将该两 个涂布间隙值做平均的方法得到第一调整值，从而通过所述PLC105控制与第一马达103a相连的喷嘴基座102的一端升降第一调整值。同理，对于第二调整值，可根据第二激光传感 器104b和第四激光传感器104d分别测得的模拟电信号并最终得到第二调整值，从而通过 所述PLC105控制与第二马达103b相连的喷嘴基座102的一端升降第二调整值。[0040]此处需要说明的是，由于两个马达分别与喷嘴基座的一端相连，也即可理解为分 别与喷嘴的一端相连；而激光传感器测的涂布间隙实际由激光传感器发射激光表面到基板 上表面的垂直距离减去喷嘴尖端与激光传感器发射激光表面的高度差，也即可理解为，激 光传感器测得的涂布间隙为与激光传感器对应的喷嘴尖端处到基板上表面的垂直距离；因 此，可使用离喷嘴的一端近的激光传感器得到的调整值来调整该端喷嘴。[0041]例如在有多个激光传感器时，可以以与涂布方向一致基板的中垂线为界(图4中 基板上的虚线)，第一调整值可由该中垂线到基板边缘范围内的激光传感器得到，并控制与 靠近该基板边缘的马达(例如第一马达103a)相连的喷嘴基座102的一端升降第一调整 值；同理，第二调整值可由该中垂线一侧到基板另一边缘范围内的激光传感器得到，并控制 与靠近该基板另一边缘的马达(例如第二马达103b)相连的喷嘴基座102的另一端升降第 二调整值。[0042]当该涂布设备用于涂布工艺时，通常要求在涂布过程中的涂布间隙(即喷嘴的尖 端到被涂布的基板上表面的垂直距离)相同，但由于各种原因会导致在涂布过程中涂布间 隙不一致，因而，就需要通过不断调整该涂布间隙，使得在涂布过程中该涂布间隙保持一 致。本实施例中，通过在所述涂布设备的喷嘴前端设置至少两个激光传感器来测量涂布间 隙，这样可以由至少两个激光传感器中的一部分所反馈的值得到第一调整值，由另一部分 所反馈的值得到第二调整值，并且由PLC分别控制两个马达，以使得与马达相连的喷嘴基 座的两端分别升降第一调整值及第二调整值。由于喷嘴基座的两端的调整值是由设置在不 同位置处的激光传感器所得到的，而且喷嘴基座的两端可分别根据第一调整值、第二调整 值进行调整，故而，可使调整后的喷嘴与基板更加平行，从而使涂布过程中涂布间隙更加均 匀，使涂布膜厚均一性更高。[0043]可选的，所述至少两个激光传感器104在所述喷嘴101前端按照一定间隔排列。示 例的，可以等间距设置，也可以根据实际要求进行设置，以能使涂布过程中涂布间隙均匀为 准。[0044]可选的，参考图2，图3所示，所述激光传感器的个数为两个；所述两个激光传感器 分别位于所述喷嘴的两侧。[0045]进一步地，所述两个激光传感器，即第一传感器104a和第二传感器104b的位置关 于所述喷嘴101的中垂面对称。[0046]这样可使得在涂布过程喷嘴101与基板106更加平行一致，从而使涂布间隙更加 均匀，进而使涂布膜厚均一性更高。[0047]可选的，所述两个激光传感器，即第一传感器104a和第二传感器104b分别与所述 喷嘴101的两侧边缘距离可调。[0048]在本实用新型实施例中，设置于喷嘴101上的第一传感器104a和第二传感器104b 可以根据实际的需要调整其所在的位置。这样，可以根据不同的需要将传感器设置在实际 需要，且能测试准确的地方。[0049]进一步地，所述两个激光传感器的激光检测光斑到达基板的位置距离与涂布方向平行的所述基板的边缘为3mm。[0050]当该涂布设备用于彩膜基板制造工艺中，由于激光传感器的特性，会受到基板上 例如黑矩阵，光阻等影响，使测得的涂布间隙不准确，因此，参考图5所示，可将第一激光传 感器104a设置在靠近基板106边缘的喷嘴101的位置处，且使位于该位置处的第一传感器 104a的激光检测光斑到达基板106的位置距离基板的边缘3mm ;对于第二激光传感器104b 也可按此方法设置。其中，所指的基板106的边缘为与涂布方向平行的所述基板106的边 界。[0051]此外，为了避免激光传感器在使用过程中免受喷嘴吐出的胶的污染，参考图5，在 所述激光传感器外面还设置有保护罩210。在保护罩210上具有不影响激光射出和接收的 开口(图5中未标出)。[0052]该保护罩可以为SUS 304材质。[0053]更进一步地，所述第一马达103a和所述第一马达103a均为伺服马达。[0054]当为第一马达，第二马达均为伺服马达时，通过PLC 105的控制，该伺服马达会相 应的调整，从而带动与伺服马达相连的喷嘴基座的两端分别进行调整。[0055]本实用新型实施例提供了一种涂布控制系统，该系统包括上述的涂布设备；与 所述涂布设备中的马达相连的PLC105 ;与所述涂布设备中的至少两个激光传感器104相连 的放大器控制器107 ;与所述放大器控制器107相连的MCR108 ;以及与所述MCR108相连的 监控模块109。[0056]其中，所述放大器控制器107用于接收所述至少两个激光传感器104发送的模拟 电信号，经放大后，转换为数字信号，并发送至所述MCR。[0057]所述MCR108用于补正激光器将光信号转化为所述模拟电信号，及所述放大器控 制器将所述模拟电信号转化为数字信号过程中的偏差；并将补正的数字信号发送到所述监 控模块109。[0058]所述监控模块109用于根据由所述至少两个激光传感器104中的一部分所测得的 模拟电信号所转换后的数字信号计算得到第一调整值；并根据由所述至少两个激光传感器 104中的另一部分所测得的模拟电信号所转换后的数字信号计算得到第二调整值。[0059]所述PLC105用于控制与所述第一马达103a相连的喷嘴基座102的一端升降所述 第一调整值，并控制与所述第二马达103b相连的喷嘴基座102的另一端升降所述第二调整 值。[0060]通过上述描述的涂布控制系统，该涂布控制系统实现涂布调整的原理可以为设 置在所述喷嘴101前端的所述至少两个激光传感器104用于测得模拟电信号；而所述放大 器控制器107与所述至少两个激光传感器104相连，使得该放大器控制器107可用于接收 所述至少两个激光传感器104发送的模拟信号，经放大，转换为数字信号，并发送至与所述 放大器控制器107相连的所述MCR108 ;所述MCR108用于补正激光器将光信号转化为所述 模拟电信号，及所述放大器控制器107将所述模拟电信号转化为数字信号过程中的偏差； 并将补正的数字信号发送到所述监控模块109。[0061]所述监控模块109，可用于根据由所述至少两个激光传感器104中的一部分测得 的模拟电信号所转换成的数字信号，并经所述MCR补正后计算得到第一调整值，并根据由 所述至少两个激光传感器104中的另一部分测得的模拟电信号所转换成的数字信号，并经所述MCR补正后计算得到第二调整值。[0062]所述PLC105用于控制与所述第一马达103a相连的喷嘴基座102的一端升降所述第一调整值，并控制与所述第二马达103b相连的喷嘴基座102的另一端升降所述第二调整值。[0063]进一步的，所述监控模块109还可具有显示功能，此时，该监控模块109可将计算的第一调整值和第二调整值进行显示。[0064]示例的，该监控模块为监控电脑，可通过相应的程序，将数字信号处理后得到量化的值，即上述的第一调整值或第二调整值。[0065]示例的，参考图2或图3所示，在该涂布控制系统中，所述激光传感器的个数为两个，即第一激光传感器104a,第二激光传感器104b。[0066]所述监控模块109计算第一调整值的方法可以为通过公式一计算，即公式一为 第一调整值=根据第一激光传感器104a并最终测得的涂布间隙-(第一 Z轴涂布位置-基板厚度)；其中，参考图6所示，所述第一 Z轴涂布位置为以放置基板106的石定盘(英文名Chuck，其材质为大理石)110上表面为参考，与当前所述第一马达103a控制的所述喷嘴 101的尖端在垂直于基板上表面方向上的高度，记为401 ;基板厚度记为402 ;所述根据第一激光传感器104a并最终测得的涂布间隙，记为403，该涂布间隙403为根据所述第一激光传感器104a测得的模拟电信号，由放大控制器107进行放大并转换为数字信号，之后由 MCR108补正后经监控模块109计算得到的。[0067]此外，该监控模块109具有显示功能，即，可设置一个阈值门限(例如10 μ m)，当第一调整值小于该阈值门限时，可通过PLC105控制与所述第一马达103a相连的喷嘴基座 102的一端升高或降低第一调整值。当第一调整值大于该阈值门限时，可显示告警，并通过 P LC105控制所述第一马达103a停止工作。这样可降低不良率，进而降低成本。[0068]例如若当前第一 Z轴涂布位置为850 μ m，基板厚度为700 μ m，根据第一激光传感器104a并最终测得的涂布间隙为150 μ m,则经过上述公式一计算的结果为150-(850-700) =0，则，第一调整值为0，此时与所述第一马达103a连接的喷嘴基座102的一端不调整。[0069]若当前第一 Z轴涂布位置为850 μ m,基板厚度为700 μ m,根据第一激光传感器 104a并最终测得的涂布间隙为155 μ m，则经过上述公式一计算的结果为155-(850-700)= 5 < 10，则，第一调整值为5μπι，此时所述PLC105控制与所述第一马达103a连接的喷嘴基座102降低5μπι的高度，从而使这一端处的喷嘴尖端距离基板106降低5μπι的高度；同理，若第一激光传感器104a测得的涂布间隙为145 μ m，则，第一调整值为-5 μ m，此时所述 PLC105控制与所述第一马达103a连接的喷嘴基座102的一端升高5 μ m的高度。[0070]若当前第一 Z轴涂布位置为850 μ m，基板厚度为700 μ m，根据第一激光传感器 104a并最终测得的涂布间隙为162 μ m，则经过上述公式一计算的结果为162-(850-700)= 12 > 10，则，此时带有显示功能的所述监控模块109可以显示为告警，从而使得PLC105控制所述第一马达103a，第二马达103b停止工作。[0071]同理，第二调整值的计算方法与第一调整值的计算方法一致，在此处不再赘述。[0072]示例的，参考图4所示，在该涂布控制系统中，所述激光传感器的个数为四个，SP， 第一激光传感器104a、第二激光传感器104b、第三激光传感器104c、第四激光传感器104d ； 且第一激光传感器104a，第三激光传感器104c位于喷嘴101的一侧；第二激光传感器104b，第四激光传感器104d位于所述喷嘴101的另一侧。[0073]在本不例中，将所述监控模块109根据第一激光传感器104a测得的模拟电信号， 并最终得到涂布间隙称为涂布间隙I ;将所述监控模块109根据第三激光传感器104c测得的模拟电信号，并最终得到涂布间隙称为涂布间隙2 ;将所述监控模块109根据第二激光传感器104b测得的模拟电信号，并最终得到涂布间隙称为涂布间隙3 ;将所述监控模块109 根据第四激光传感器104d测得的模拟电信号，并最终得到涂布间隙称为涂布间隙4。[0074]所述监控模块109计算第一调整值的方法可以为通过公式二计算，即公式二为 第一调整值=(涂布间隙1+涂布间隙2)/2-(第一 Z轴涂布位置-基板厚度)。[0075]例如若当前第一 Z轴涂布位置为850 μ m,基板厚度为700 μ m,涂布间隙I为 145 μ m,涂布间隙2为155 μ m,则经过上述公式二计算的结果为(145+155) /2- (850-700)= 0，则，第一调整值为0，此时所述PLC 105控制与所述第一马达103a连接的喷嘴基座102的一端不做调整。[0076]若当前第一 Z轴涂布位置为850 μ m,基板厚度为700 μ m,涂布间隙I为150 μ m,涂布间隙2为160 μ m，则经过上述公式二计算的结果为(150+160)/2-(850-700) = 5 < 10， 则，第一调整值为5 μ m，此时所述PLC 105控制与所述第一马达103a连接的喷嘴基座102 的一端降低5 μ m的高度，从而使这一端处的喷嘴尖端距离基板106降低5 μ m的高度； 同理，若涂布间隙I为150 μ m，涂布间隙2为140 μ m，则，第一调整值为_5μπι，此时所述 PLC105控制与所述第一马达103a连接的喷嘴基座102的一端升高5 μ m的高度。[0077]若当前第一 Z轴涂布位置为850 μ m,基板厚度为700 μ m,涂布间隙I为160 μ m,涂布间隙2为164 μ m，则经过上述公式二计算的结果为(160+164)/2-(850-700) = 12 > 10， 则，此时带有显示功能的所述监控模块109可以显示为告警，从而使得PLC105控制所述第一马达103a，第二马达103b停止工作。同理，第二调整值的计算方法与第一调整值的计算方法一致，在此处不再赘述。[0079]此外，在涂布工艺中，以第一激光传感器104a为例，该监控模块109可以同时根据公式三进行涂布各阶段告警判断，公式三为[0080]I根据第一激光传感器104a测得的模拟电信号并最终得到的涂布间隙_预设涂布间隙I >预设门限，其中该预设门限在涂布工艺的不同阶段的预设值不同，可根据实际需要进行设定。由于在涂布工艺的不同阶段该预设涂布间隙不同，因此，在涂布工艺不同阶段可将公式三的计算结果与不同预设涂布间隙对应的预设门限值比较，从而可判断出是该设备的哪部分出现问题，以进行问题定位。其中，所述预设涂布间隙为提前在所述监控模块 109中预设的。[0081]示例的，在涂布待机位置，例如所述喷嘴101尖端到基板106上表面的预设涂布间隙为2300 μ m,实际根据所述第一激光传感器104a测得的模拟电信号并最终得到的待机位置的涂布间隙为2351 μ m或2240 μ m,即公式三计算结果的绝对值大于与该预设涂布间隙对应的预设门限50 μ m时，监控模块109可显示告警，此时，可判断所述基板106厚度有问题。[0082]在涂布开始，所述喷嘴101尖端到基板106上表面的预设涂布间隙为60μπι，实际根据所述第一激光传感器104a测得的模拟电信号并最终得到的涂布间隙为72μπι或 45 μ m,即公式三计算结果的绝对值大于与该预设涂布间隙对应的预设门限10 μ m时，监控模块109可显示告警，此时，所述第一激光传感器104a可能接触到基板上表面。[0083]在涂布过程中，所述喷嘴101尖端到基板106上表面的预设涂布间隙为150μπι，根据实际所述第一激光传感器104a测得的模拟电信号并最终得到测得的涂布间隙为85 μ m 或215 μ m,即公式三计算结果的绝对值大于与该预设涂布间隙对应的预设门限60 μ m时， 监控模块109可显示告警，此时，可能为基板表面波动起伏过大或表面有污迹导致的激光传感器检测数值波动过大，或激光传感器故障。[0084]通过在监控电脑的根据上述公式三的计算，可以根据不同的告警很快的定位问题所在，进而提闻生广效率。[0085]进一步地，所述PLC105和所述放大器控制器107相连。[0086]在此情况下，该涂布控制系统实现涂布调整的原理进一步的包括所述监控模块 109将计算的第一调整值、第二调整值发送到所述MCR108，由所述MCR108发送到放大器控制器107，由所述放大器控制器107将该第一调整值、第二调整值发送到所述PLC105，所述 PLC105控制与所述第一马达103a相连的喷嘴基座102的一端升降所述第一调整值，并控制与所述第二马达103b相连的喷嘴基座102的另一端升降所述第一调整值。[0087]在本实用新型实施例中，通过两个位于喷嘴前端两侧的激光传感器、与至少两个激光传感器相连的放大器控制器、与放大器控制器相连的MCR、及与MCR相连的监控模块的配合，可得到第一调整值和第二调整值，从而可通过PLC分别控制与马达相连的喷嘴基座的两端分别升降第一调整值及第二调整值。此外，当PLC与放大器控制器相连时，可以自动的通过PLC 分别控制与马达相连的喷嘴基座的两端分别升降第一调整值及第二调整值。由于喷嘴基座的两端的调整值是由设置在不同位置处的激光传感器所得到的，而且喷嘴基座的两端可分别根据第一调整值、第二调整值进行调整，故而，可使调整后的喷嘴与基板更加平行，从而使涂布过程中涂布间隙更加均匀，使涂布膜厚均一性更高。[0088]本领域普通技术人员可以理解实现上述方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成，前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，执行包括上述方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括R0M、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。[0089]以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求1.一种涂布设备，包括喷嘴，承载所述喷嘴的喷嘴基座，其特征在于，还包括第一马达和第二马达；所述第一马达和所述第二马达分别与所述喷嘴基座的两端相连；至少两个激光传感器；所述至少两个激光传感器设置在所述喷嘴前端，以使得与马达相连的可编程逻辑控制器PLC控制与所述第一马达相连的喷嘴基座的一端升降第一调整值，并控制与所述第二马达相连的喷嘴基座的另一端升降第二调整值；其中，所述第一调整值由所述至少两个激光传感器中的一部分所测得的模拟电信号计算得到，所述第二调整值由所述至少两个激光传感器中的另一部分所测得的模拟电信号计算得到。
2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述至少两个激光传感器在所述喷嘴前端按照一定间隔排列。
3.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述激光传感器的个数为两个；所述两个激光传感器分别位于所述喷嘴的两侧。
4.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，所述两个激光传感器的位置关于所述喷嘴的中垂面对称。
5.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，所述两个激光传感器分别与所述喷嘴的两侧边缘距离可调。
6.根据权利要求5所述的涂布设备，其特征在于，所述两个激光传感器的激光检测光斑到达基板的位置距离与涂布方向平行的所述基板的边缘为3_。
7.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，在所述激光传感器外面设置有保护罩。
8.根据权利要求1至7任一项所述的涂布设备，其特征在于，所述第一马达和所述第二马达为伺服马达。
9.一种涂布控制系统，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的涂布设备；与所述涂布设备中的马达相连的可编程逻辑控制器PLC ;与所述涂布设备中的至少两个激光传感器相连的放大器控制器；与所述放大器控制器相连的磁阀式可控电抗器MCR ;以及与所述MCR相连的监控模块；其中，所述放大器控制器用于接收所述至少两个激光传感器发送的模拟电信号，经放大后，转换为数字信号，并发送至所述MCR ;所述MCR用于补正所述激光器将光信号转化为所述模拟电信号，及所述放大器控制器将所述模拟电信号转化为数字信号过程中的偏差；并将补正的数字信号发送到所述监控模块；所述监控模块用于根据由所述至少两个激光传感器中的一部分所测得的模拟电信号所转换成的数字信号，并经所述MCR补正后计算得到第一调整值，并根据由所述至少两个激光传感器中的另一部分所测得的模拟电信号所转换成的数字信号，并经所述MCR补正后计算得到第二调整值；所述PLC用于控制与所述第一马达相连的喷嘴基座的一端升降所述第一调整值，并控制与所述第二马达相连的喷嘴基座的另一端升降所述第二调整值。
10.根据权利要求9所述的涂布控制系统，其特征在于，所述PLC和所述放大器控制器相连。
专利摘要本实用新型实施例提供了一种涂布设备以及涂布控制系统，涉及液晶显示技术领域，在涂布过程中可保证涂布间隙更加均匀，从而使涂布膜厚均一性更高。该涂布设备包括喷嘴，承载喷嘴的喷嘴基座；还包括第一马达和第二马达；第一马达和第二马达分别与喷嘴基座的两端相连；至少两个激光传感器；至少两个激光传感器设置在喷嘴前端，以使得与马达相连的PLC控制与第一马达相连的喷嘴基座的一端升降第一调整值，并控制与第二马达相连的喷嘴基座的另一端升降第二调整值；其中，第一调整值由至少两个激光传感器中的一部分所测得的模拟电信号计算得到，第二调整值由至少两个激光传感器中的另一部分所测得的模拟电信号计算得到。
文档编号B05C11/02GK202823788SQ201220530159
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月16日 优先权日2012年10月16日
发明者尹冬冬, 徐先华, 华新孝, 王志强, 余忠兴, 吴利峰 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 合肥京东方光电科技有限公司