电热管气相沉积装置制造方法

文档序号:3798572阅读:96来源:国知局
电热管气相沉积装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种电热管气相沉积装置,包括高温炉,所述高温炉的前侧设有回转机构,所述回转机构包括转筒、连接转筒的转轴以及连接转轴的电机,所述高温炉的前侧面设有通孔,所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中,所述转筒包括筒体和设置于筒体端面的若干根固定杆,所述固定杆上穿设石英玻璃管,所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构,所述曲柄滑块机构连接高压喷枪,所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶,所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵,所述高温炉的左侧面上设有缺口,所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。本发明生产效率高,有利于工人的健康。
【专利说明】电热管气相沉积装置

【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种电热管气相沉积装置。
技术背景
[0002]电热膜溶液气压加压成混合雾气采用气相沉积技术喷向高温炉内的石英玻璃管,使石英玻璃管均匀烟附混合雾气形成电热膜管。
[0003]现有的的电热管气相沉积设备大多采用人工操作,生产效率低下,人工成本较高,而且高温挥发的气体不利于工人的健康。


【发明内容】

[0004]本发明所要解决的技术问题就是提供一种电热管气相沉积装置,自动完成石英玻璃管表面的电热膜溶液气相沉积,生产效率高,成本低,有利于工人的健康。
[0005]为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:
[0006]电热管气相沉积装置,包括高温炉,所述高温炉的前侧设有回转机构,所述回转机构包括转筒、连接转筒的转轴以及连接转轴的电机,所述高温炉的前侧面设有通孔,所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中,所述转筒包括筒体和设置于筒体端面的若干根固定杆,所述固定杆上穿设石英玻璃管,所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构,所述曲柄滑块机构连接高压喷枪,所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶,所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵,所述高温炉的左侧面上设有缺口,所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。
[0007]优选的,所述电机固定于支杆上端,所述支杆下端滑动连接于滑轨上。
[0008]优选的,所述固定杆周向分布于筒体的端面且固定杆的头端设有耐热橡胶帽。
[0009]优选的,所述曲柄滑块机构包括滑块,所述滑块上设有两块弹性片,所述高压喷枪底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。
[0010]优选的,所述高温炉上端设有贯通高温炉加热腔的出气管,所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机。
[0011]优选的,所述高压喷枪与高压气泵之间的软管上设有气压表。
[0012]本发明采用上述技术方案,储液瓶中的电热膜溶液进入高压喷枪进液口通过高压气泵输入的高压气体加压成混合气体,高压喷枪通过曲柄滑块机构驱动使喷雾口在缺口内做直线往复运动,从而使喷雾口喷出的雾化电热膜溶液均匀的喷洒至高温炉加热腔内,石英玻璃管固定于固定杆上通过回转机构旋转,从而使高温炉内的雾化电热膜溶液经高温气相沉积均匀的附着在石英玻璃管表面形成电热膜管。本发明取代了人工操作握持高压喷枪以及转动旋转石英玻璃管,具有更高的生产效率,更低的成本,而且能够避免工人因贴近高温炉工作而吸入有毒挥发气体的危险。
【专利附图】

【附图说明】
[0013]以下结合附图和【具体实施方式】对本发明进行进一步描述:
[0014]图1是本发明的结构示意图;
[0015]图2是图1的左视图;
[0016]图3是本发明中转筒的结构示意图;
[0017]图4是本发明中滑块的结构示意图。

【具体实施方式】
[0018]下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作详细说明。
[0019]如图1和图2所示,本发明包括高温炉1,所述高温炉的前侧设有回转机构2,所述回转机构包括转筒201、连接转筒的转轴202以及连接转轴的电机203,所述高温炉的前侧面设有通孔101,所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中,所述转筒包括筒体201a和设置于筒体端面的若干根固定杆201b,所述固定杆上穿设石英玻璃管,所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构3,所述曲柄滑块机构连接高压喷枪4,所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶5,所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵6,所述高温炉的左侧面上设有缺口 102,所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。
[0020]所述电机203固定于支杆204上端,所述支杆下端滑动连接于滑轨205上。通过支杆204与滑轨205的滑动连接,进行石英玻璃管的装料和卸料,操作方便。
[0021]所述高温炉I上端设有贯通高温炉加热腔的出气管104,所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机104a。所述离心风机104a将高温炉加热腔内的有害气体抽离并通过出气管104排放至气体处理池进行净化处理。所述高温炉I底部设有若干块加热体103对加热腔进行加热。
[0022]所述高压喷枪4与高压气泵6之间的软管上设有气压表601,便于观察和调试气压大小。
[0023]如图3所示,所述固定杆201b周向分布于筒体201a的端面且固定杆的头端设有耐热橡胶帽,防止石英玻璃管从固定杆上滑出。
[0024]如图4所示,所述曲柄滑块机构3包括滑块301,所述滑块上设有两块弹性片301a,所述高压喷枪4底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。
[0025]本发明的电热管气相沉积方法为:
[0026]首先,将高温炉I的加热腔的温度加热至700°C~900°C,将石英玻璃管分别套接于固定杆201b上,并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出;
[0027]其次,推动电机203将转筒201推入高温炉I的加热腔内,启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转,之后开启高压喷枪4的开关和高压气泵6开关,然后启动控制曲柄滑块机构3的电动机,加热时间为15min ;
[0028]最后,加热完成后,依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机203,拉动电机将转筒拉入高温炉,取下石英玻璃管转移至冷却工位。
[0029] 以上就本发明较佳的实施例做了说明,但不能理解为是对权利要求的限制。本发明不仅局限于以上实施例,其具体结构允许有变化,本领域技术人员可以根据本发明作出各种改变和变形,只要不脱离本发明的精神,均属于本发明所附权利要求所定义的范围。
【权利要求】
1.电热管气相沉积装置,包括高温炉(I),其特征在于:所述高温炉的前侧设有回转机构(2),所述回转机构包括转筒(201)、连接转筒的转轴(202)以及连接转轴的电机(203),所述高温炉的前侧面设有通孔(101),所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中,所述转筒包括筒体(201a)和设置于筒体端面的若干根固定杆(201b),所述固定杆上穿设石英玻璃管,所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构(3),所述曲柄滑块机构连接高压喷枪(4),所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶(5),所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵(6),所述高温炉的左侧面上设有缺口(102),所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。
2.根据权利要求1所述的电热管气相沉积装置,其特征在于:所述电机(203)固定于支杆(204)上端,所述支杆下端滑动连接于滑轨(205)上。
3.根据权利要求2所述的电热管气相沉积装置,其特征在于:所述固定杆(201b)周向分布于筒体(201a)的端面且固定杆的头端设有耐热橡胶帽。
4.根据权利要求3所述的电热管气相沉积装置,其特征在于:所述曲柄滑块机构(3)包括滑块(301),所述滑块上设有两块弹性片(301a),所述高压喷枪(4)底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。
5.根据权利要求1所述的电热管气相沉积装置,其特征在于:所述高温炉(I)上端设有贯通高温炉加热腔的出气管(104),所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机(104a)。
6.根据权利要求1所述的电热管气相沉积装置,其特征在于:所述高压喷枪(4)与高压气泵(6)之间的软管上 设有气压表(601)。
【文档编号】B05D7/22GK104073763SQ201410256225
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年6月10日 优先权日:2014年6月10日
【发明者】施吉承, 卫正强 申请人:长兴宏能电热膜元件厂
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