一种晶圆高温保护膜及其制作方法、使用方法与流程

文档序号:12694954阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆高温保护膜胶带,其特征在于:其为一面为聚酰亚胺膜,另一面为溶剂型丙烯酸酯胶黏剂及其共聚交联剂形成的胶粘剂层。

2.一种加工权利要求1所述的晶圆高温保护膜胶带的方法,其特征在于:其包括如下步骤:

步骤一:胶水准备,将溶剂型丙烯酸酯胶黏剂及其共聚交联剂进行混合搅拌,搅拌量为每次40-60KG,搅拌完成后静置20min待用,并且2小时内用完;

步骤二:装好逗号刮刀式涂布机的料槽、挡板;把聚酰亚胺膜从放卷装置料;将搅拌好的胶水材料经过400目筛网过滤导入所述料槽中,并保持料槽七分满;

步骤三:在烤箱及涂布设备控制器上设定涂布温度、风量、速比、涂布张力、速度;

步骤四:试涂,试涂两段聚酰亚胺膜,长度分别为5M-7M;采用所述烤箱烘干并检验涂长、涂宽、间隙、厚度;

步骤五:正式涂布,试涂合格开始正式涂布,所述放卷装置中的聚酰亚胺膜,经所述逗号刮刀式涂布机的刮刀涂上步骤一中准备的胶水后,经所述烤箱烘烤后收卷成成品卷材。

3.如权利要求2所述的晶圆高温保护膜胶带的方法,其特征在于:步骤一中的所述共聚交联剂的剂量为胶水总量的0.5%-1%。

4.如权利要求2所述的晶圆高温保护膜胶带的方法,其特征在于:所述烤箱为六节可单独控制温度的烤箱。

5.如权利要求4所述的晶圆高温保护膜胶带的方法,其特征在于:所述烤箱中的六节烘烤空间的温度依次分别为:55℃-70℃、80℃-100℃、100℃-120℃、120℃-140℃、120℃-100℃、100℃-80℃。

6.一种晶圆高温保护膜胶带的使用方法,其特征在于:将未切割的晶圆粘合于所述晶圆高温保护膜胶带的胶粘剂层,在切割晶圆前,撕去所述晶圆高温保护膜胶带的聚酰亚胺膜,将未切割的晶圆粘合于切割工位。

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