树脂片及半导体装置的制作方法

文档序号:17117079发布日期:2019-03-15 23:25阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种树脂片,其不容易在树脂组合物层与支撑片的界面产生浮起,加工和搬运时的操作性优异。本发明提供的树脂片(1)在采用面板级封装的半导体装置的制造方法中,用于电子元件的密封或绝缘膜的形成,树脂片(1)具备第一支撑片(11)、树脂组合物层(10)、及第二支撑片(12),树脂组合物层(10)由含有热固化性树脂、30质量%以下的热塑性树脂及50质量%以上的无机微粒的树脂组合物形成,第一支撑片(11)的与树脂组合物层(10)的接触面未利用有机硅类剥离剂进行剥离处理,使用气相色谱质谱分析法测定的、将树脂组合物层(10)在120℃下加热30分钟时所产生的挥发成分浓度为100~45000ppm。

技术研发人员:根津裕介;渡边康贵;杉野贵志
受保护的技术使用者:琳得科株式会社
技术研发日:2018.08.10
技术公布日:2019.03.15
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