一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置的制作方法

文档序号:15829076发布日期:2018-11-03 00:16阅读:93来源:国知局

本发明涉及单晶硅棒存放领域,尤其涉及一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置。

背景技术

单晶硅是硅的单晶体;具有基本完整的点阵结构的晶体,是一种良好的半导材料,可用于制造半导体器件、太阳能电池等;用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

单晶硅棒大多为圆柱形结构,加工过程中需要对其进行必要的堆放,如专利号为cn201720265887.6提出的一种单晶硅棒转移设备,在单晶硅棒放入容纳腔后,在限位弹簧的作用下限位板上的抵压部与第二侧壁相配合对单晶硅棒夹持限位。

这种堆放和固定装置只能堆放一层硅棒,使用范围有限,同时在进行硅棒的取出时,由于硅棒为圆柱形,很难下手取出,因此存在很大的局限性。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置,以解决上述技术问题。

本发明为解决上述技术问题,采用以下技术方案来实现:

设计一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置,包含移动部分和堆放部分;所述移动部分包含移动轮,所述移动轮的顶部安装底座,且所述底座的顶部连接有连接板;所述底座的侧部固定扶手;所述堆放部分包含防护顶板,所述防护顶板的底部滑动连接托接机构,且所述托接机构等距设有若干个;若干个所述托接机构之间滑动连接,且所述托接机构包含集装机构和底板;所述底板的顶部固定若干个所述集装机构;所述集装机构包含支撑杆,且所述支撑杆固定于所述底板的顶部;所述支撑杆的顶部固定托板,且所述托板的顶部通过扭簧连接限位板;所述托板与所述限位板的侧部均设有橡胶垫块,且所述限位板的顶部固定滑块。

优选的,所述底座的顶部转动连接有所述连接板,且所述连接板固定于所述托接机构的底部;所述底座与所述连接板之间的旋转角度为0°-360°,为了便于对集装装置进行旋转,便于其进行集装和旋转改变状态。

优选的,所述底板的顶部等距设有若干个所述集装机构,且所述底板的底部中心处固定所述连接板。

优选的,所述托板的截面采用半圆形结构,且所述托板的两侧顶部通过扭簧转动连接两个向内侧凹陷的所述限位板。

优选的,所述托板与所述支撑杆的侧部开设滑槽,且所述滑槽的内部滑动连接有连杆;所述连杆的一端固定活动板,且所述连杆的另一端固定推动板,通过所述活动板的顶起,可实现将内部硅棒顶起,便于硅棒的取出。

优选的,所述活动板的截面采用与所述托板直径相同的半圆形结构,且所述活动板置于所述托板的端部。

优选的,所述集装机构的内部均放置硅棒,且所述硅棒的直径小于所述托板的直径。

本发明的有益效果是:

本发明可通过托板配合限位板的方式逐层的固定硅棒,不但对硅棒的损害小,同时固定稳定牢固,另外可同时固定多个硅棒,且可实现整体的移动,在取出硅棒使可通过顶起硅棒的一端,便于对硅棒进行拿取,操作简单便利。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图;

图2为本发明的侧面结构示意图;

图3为本发明图1所示的a处局部放大结构示意图;

附图标记:1-扶手,2-防护顶板,3-托接机构,31-集装机构,311-滑块,312-限位板,313-扭簧,314-托板,315-橡胶垫片,316-支撑杆,32-底板,4-硅棒,5-移动轮,6-底座,7-连接板,8-活动板,9-滑槽,10-推动板,11-连杆。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例和附图,进一步阐述本发明,但下述实施例仅仅为本发明的优选实施例,并非全部。基于实施方式中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例,都属于本发明的保护范围。

下面结合附图描述本发明的具体实施例。

实施例一:

如图1-3所示,一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置,包含移动部分和堆放部分;所述移动部分包含移动轮5,所述移动轮5的顶部安装底座6,且所述底座6的顶部连接有连接板7;所述底座6的侧部固定扶手1;所述堆放部分包含防护顶板2,所述防护顶板2的底部滑动连接托接机构3,且所述托接机构3等距设有若干个;若干个所述托接机构3之间滑动连接,且所述托接机构3包含集装机构31和底板32;所述底板32的顶部固定若干个所述集装机构31;所述集装机构31包含支撑杆316,且所述支撑杆316固定于所述底板32的顶部;所述支撑杆316的顶部固定托板314,且所述托板314的顶部通过扭簧313连接限位板312;所述托板314与所述限位板312的侧部均设有橡胶垫块315,且所述限位板312的顶部固定滑块311。

在进行硅棒4的放置时,通过从下到上的顺序进行,首先对最底层的集装机构31进行集装,集装时滑动顶部的集装机构31,使最底部的集装机构31的托板314暴露出,而后向托板314内部压入硅棒4,压入时使限位板312向外侧打开,便于硅棒4的进入,压入后限位板312在扭簧313的作用下向内部靠近,实现对硅棒4进行阻挡和限位,而后将上一层的集装机构31滑到最底部的集装机构31顶部,实现集装完成后的硅棒4进行固定,而后对上一层的集装机构31进行集装。

在进行硅棒4的取出时,通过由上而下的顺序进行,在进行时向侧部推动防护顶板2,使最顶部的集装机构31内部集装的硅棒4暴露处,进行硅棒4的取出。

实施例二:

包含移动部分和堆放部分;所述移动部分包含移动轮5,所述移动轮5的顶部安装底座6,且所述底座6的顶部连接有连接板7;所述底座6的侧部固定扶手1;所述堆放部分包含防护顶板2,所述防护顶板2的底部滑动连接托接机构3,且所述托接机构3等距设有若干个;若干个所述托接机构3之间滑动连接,且所述托接机构3包含集装机构31和底板32;所述底板32的顶部固定若干个所述集装机构31;所述集装机构31包含支撑杆316,且所述支撑杆316固定于所述底板32的顶部;所述支撑杆316的顶部固定托板314,且所述托板314的顶部通过扭簧313连接限位板312;所述托板314与所述限位板312的侧部均设有橡胶垫块315,且所述限位板312的顶部固定滑块311;所述底座6的顶部转动连接有所述连接板7,且所述连接板7固定于所述托接机构3的底部;所述底座6与所述连接板7之间的旋转角度为0°-360°。

在需要对整体进行换向,以便于其移动或者存储时,可旋转集装装置整体使之与底座6之间旋转,以便于其进行转向进行移动和存储。

实施例三:

包含移动部分和堆放部分;所述移动部分包含移动轮5,所述移动轮5的顶部安装底座6,且所述底座6的顶部连接有连接板7;所述底座6的侧部固定扶手1;所述堆放部分包含防护顶板2,所述防护顶板2的底部滑动连接托接机构3,且所述托接机构3等距设有若干个;若干个所述托接机构3之间滑动连接,且所述托接机构3包含集装机构31和底板32;所述底板32的顶部固定若干个所述集装机构31;所述集装机构31包含支撑杆316,且所述支撑杆316固定于所述底板32的顶部;所述支撑杆316的顶部固定托板314,且所述托板314的顶部通过扭簧313连接限位板312;所述托板314与所述限位板312的侧部均设有橡胶垫块315,且所述限位板312的顶部固定滑块311;所述托板314与所述支撑杆316的侧部开设滑槽9,且所述滑槽9的内部滑动连接有连杆11;所述连杆11的一端固定活动板8,且所述连杆11的另一端固定推动板10;所述活动板8的截面采用与所述托板314直径相同的半圆形结构,且所述活动板8置于所述托板314的端部。

在进行硅棒4的取出时,可向上推动推动板10,使与之连接的活动板8同时向上移动,活动板8向上移动时,可推动内部的硅棒4的一端向上顶起,即可便于对硅棒4进行取出。

在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例,并不用来限制本发明,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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