专利名称：气态往复式封存装置及封存方法
技术领域：
本发明涉及一种封存装置，特别是一种气态往复式封存 装置及封存方法。
背景技术：
惰性气体封存装置应用在对环境敏感度极高的纯水保 存，即周而复始地循环动作进行纯水的封存，因此，在每一 次取用纯水时，便必须由装置外部补充某一特定体积的惰性 气体来封存，而在补充纯水时，又必须排除某一特定体积的 惰性气体至封存装置外部，甚至在最后微调整封存装置内部 压力时，仍需再次补充或是排除部分惰性气体，以达到最终 的内压设定值。而在纯水使用率相当频繁的产业中，如半导 体产业生产制程中，为了保持产品的物理、化学、电性等性 质，将纯水应用在清洁晶圆或是其它组件的情况可说是用量 颇大且操作频繁，因而，纯水每次从纯水封存装置进出时， 必将造成极大量的惰性气体的浪费，不但是耗费了资源，更 无谓地增加了生产成本。
发明内容
为了克服上述缺陷，本发明提供一种气态往复式封存装
置及封存方法，该气态往复式封存装置及封存方法能通过往 复式的操作以重复利用封存用气体，使封存用气体的用量得 以大幅降低，以达到节省生产成本。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是至少 一储存容器，其由第一上容置空间与第一下容置空间构成， 第一上容置空间和第一下容置空间相连通；至少一液位感应 装置，液位感应装置与储存容器的内部空间连通；至少一缓 冲容器，其由第二上容置空间与第二下容置空间构成，第二
上容置空间与第二下容置空间相连通，第二上容置空间与第 一上容置空间相通；至少一液体控制装置，液体控制装置与 缓冲容器相连通。
本发明所述的液体控制装置主要由液体储存容器、输出 泵及输入泵组成；输出泵吸液口与液体储存容器相通，输出 泵出液口与缓冲容器相通，输入泵吸液口与第二下容置空间 相连通，输入泵出液口与液体储存容器相通；输出泵出液口 最好与缓冲容器的第二上容置空间相通，输入泵出液口最好 与液体储存容器上部相通；所述的第二上容置空间与第一上 容置空间通过管道相通。
所述的储存容器上有一低液位控制点和一高液位控制 点，储存容器的第一下容置空间上设置液体输入、输出装置。
本发明还可以在输出泵与缓冲容器之间设置一杀菌装 置，最好为紫外线杀菌装置；另外，本发明还可以在储存容 器的第一上容置空间或缓冲容器的第二上容置空间上设置一 气体压力感应装置、气体补充装置及气体排放装置。 另外，本发明还可以增加一液封容器，其通过管体与缓 冲容器的第二上容置空间相通，管体开口置于液封容器的液 面下。
气态往复式封存装置的封存方法，包括下列步骤当 第一下容置空间中的液体存量变化时，液位感应装置感应液位 变化并产生液压讯号，并传递至液体控制装置；液体控制装置 根据液压讯号控制液体在液体控制装置与第二下容置空间之 间传输，从而使气体在第一上容置空间与第二上容置空间之间 流动，从而封存第一下容置空间中的液体。
本发明的有益效果是，利用本发明可提供惰性气体与压 控液体在不同液体液压之变化状态下，透过可流动于缓冲空 间的方式，以达成调整装置内部压力至一恒定设定值，不但 达到了对液体进行封存的目的，同时使封存用气体得以重复 利用，大大降低封存用气体的用量，从而大大降低了生产成 本。
本发明将依照附图来说明
图1是本发明气态往复式封存装置的示意图； 1.储存容器 2.第一上容置空间
3.第一下容置空间 4.液位感应装置
5.缓冲容器 6.第二上容置空间
7.第二下容置空间 8.液压控制装置
9.液体储存容器 10.输出泵
11.输入泵
13.输入管体 15.低液位控制点 17.液体输出装置 19.气体压力感应装置
12.输出管体 14.杀菌装置
16.高液位控制点 18.液体输入装置 20.气体补充装置
21.气体排放装置 22.液封容器 23.管体。
具体实施例方式
实施例 一种气态往复式封存装置，至少一储存容 器l，其由第一上容置空间2与第一下容置空间3构成，
第一上容置空间2和第一下容置空间3相连通；至少
一液位感应装置4，液位感应装置4与储存容器1的第
一下容置空间3连通；至少一缓冲容器5，其由第二上
容置空间6与第二下容置空间7构成，第二上容置空 间6与第二下容置空间7相连通，第二上容置空间6 与第一上容置空间2相通；至少一液体控制装置8，液 体控制装置8与缓冲容器5相连通。
液体控制装置8主要由液体储存容器9、输出泵 10及输入泵11组成；输出泵10吸液口与液体储存容 器9相通(使用时，输出泵10吸液口处于液体储存容 器9中的液面下)，输出泵10出液口与缓冲容器5相 通，输入泵11吸液口与第二下容置空间7相连通，输 入泵11出液口与液体储存容器9相通。 输出泵10出液口最好与缓冲容器5的第二上容置 空间6相通，输入泵11出液口最好与液体储存容器9 上部相通。
第二上容置空间6与第一上容置空间2通过管道 相通。
设置一紫外线杀菌装置14，其设置于输出泵10 与缓冲容器5之间。
储存容器1上有一低液位控制点15和一高液位控 制点16。
储存容器1的第一下容置空间3上设置液体输入、 输出装置。
一气体压力感应装置设置在储存容器1的第一上 容置空间2或缓冲容器5的第二上容置空间6上(因 第一、二上容置空间是相通的)。
气体补充、排放装置设置在储存容器1的第一上 容置空间2或缓冲容器5的第二上容置空间6上(因 第一、二上容置空间是相通的)。
一液封容器通过管体23与缓冲容器5的第二上容
置空间6相通，所述管体23开口置于液封容器的液面
下。(防止产生负压而损坏缓冲容器5)
气态往复式封存装置的封存方法，包括下列步骤当 第一下容置空间中的液体存量变化时，液位感应装置感应液位
变化并产生液压讯号，并传递至液体控制装置；液体控制装置 根据液压讯号控制液体在液体控制装置与第二下容置空间之间传输，从而使气体在第一上容置空间与第二上容置空间之间 流动，从而封存第一下容置空间中的液体。 本发明的动作原理是-
第一上容置空间2和第二上容置空间6中的气体为氮气， 第一下容置空间3中的液体为纯水，第二下容置空间7和液 体储存容器9的液体为逆渗透水。在图1中，当第一下容置 空间3的纯水自液体输出装置17取出，氮气自缓冲容器5的 第二上容置空间6流动至储存容器1的第一上容置空间2;随 着氮气的流动达到一定程度，液位感应装置4产生液压讯号 传送至输出泵10并激活输出泵10，将压控液体储存容器9内 之逆渗透水通过输出管体12输出至缓冲容器5的第二下容置 空间7，随着逆渗透水流入缓冲容器5的第二下容置空间7， 储存容器1与缓冲容器5内部的压力逐渐回复至气体压力感 应装置19原始之设定值；当内部压力已达到设定值时，液位 感应装置4不再送出液压讯号，输出泵即停止动作而不再输 送逆渗透水至缓冲容器5的第二下容置空间7中。当液位感 应装置4侦测到纯水之液位低于设定之低液位控制点15时， 纯水经由液体输入装置18自动输入至储存容器1，氮气受到 挤压而由储存容器1的第一上容置空间2流动至缓冲容器5 的第二上容置空间6;液位感应装置4将液压讯号传送至输入 泵11以开启输入泵11，以进行抽取缓冲容器5内的逆渗透水， 通过输入管体13回传至液体储存容器9，以维持缓冲容器5 与储存容器1内部之压力，当纯水回复至设定之高液位控制 点16时，液体输入装置18将停止注入纯水于储存容器1中， 并且液位感应装置4不再送出液压讯号，输入泵11亦停止抽 取缓冲容器5中之逆渗透水。通过以上所述的往复式操作， 以实现本发明的目的。
权利要求
1.一种气态往复式封存装置，其特征是至少一储存容器(1)，其由第一上容置空间(2)与第一下容置空间(3)构成，第一上容置空间(2)和第一下容置空间(3)相连通；至少一液位感应装置(4)，液位感应装置(4)与储存容器(1)的内部空间连通；至少一缓冲容器(5)，其由第二上容置空间(6)与第二下容置空间(7)构成，第二上容置空间(6)与第二下容置空间(7)相连通，第二上容置空间(6)与第一上容置空间(2)相通；至少一液体控制装置(8)，液体控制装置(8)与缓冲容器(5)相连通。
2. 根据权利要求1所述的气态往复式封存装置， 其特征是液体控制装置(8)主要由液体储存容器(9)、 输出泵(10)及输入泵(11)组成；输出泵(10)吸 液口与液体储存容器(9)相通，输出泵(10)出液口 与缓冲容器(5)相通，输入泵(11)吸液口与第二下容置空间(7)相连通，输入泵(11)出液口与液体储 存容器(9)相通。
3. 根据权利要求2所述的气态往复式封存装置， 其特征是输出泵(10)出液口与缓冲容器(5)的第 二上容置空间(6)相通，输入泵(11)出液口与液体 储存容器(9)上部相通。
4. 根据权利要求1所述的气态往复式封存装置， 其特征是第二上容置空间(6)与第一上容置空间(2) 通过管道相通。
5. 根据权利要求1所述的气态往复式封存装置，其特征是设置一紫外线杀菌装置(14)，其设置于输出泵(10)与缓冲容器(5)之间。
6. 根据权利要求l所述的气态往复式封存装置， 其特征是储存容器(1)上有一低液位控制点(15) 和一高液位控制点(16)。
7. 根据权利要求l所述的气态往复式封存装置，其特征是储存容器(1)的第一下容置空间(3)上设置液体输入、输出装置。
8. 根据权利要求l所述的气态往复式封存装置，其特征是 一气体压力感应装置设置在储存容器(1)的第一上容置空间(2)或缓冲容器(5)的第二上容 置空间(6)上。
9. 根据权利要求1所述的气态往复式封存装置， 其特征是气体补充、排放装置设置在储存容器(1) 的第一上容置空间(2)或缓冲容器(5)的第二上容 置空间(6)上。
10. 根据权利要求1所述的气态往复式封存装置， 其特征是 一液封容器通过管体(23)与缓冲容器(5) 的第二上容置空间(6)相通，所述管体(23)开口置于 液封容器的液面下。
11. 一种权利要求1所述的气态往复式封存装置的封存方法，其特征是包括下列步骤当第一下容置空间(3) 中的液体存量变化时，液位感应装置(4)感应液位变化并产 生液压讯号，并传递至液体控制装置(8);液体控制装置(8) 根据液压讯号控制液体在液体控制装置与第二下容置空间(7 ) 之间传输，从而使气体在第一上容置空间(2)与第二上容置空间(6)之间流动，从而封存第一下容置空间(3)中的液体。全文摘要
本发明公开了一种气态往复式封存装置及封存方法，它至少一储存容器，其由第一上容置空间与第一下容置空间构成，第一上容置空间和第一下容置空间相连通；至少一液位感应装置，液位感应装置与储存容器的内部空间连通；至少一缓冲容器，其由第二上容置空间与第二下容置空间构成，第二上容置空间与第二下容置空间相连通，第二上容置空间与第一上容置空间相通；至少一液体控制装置，液体控制装置与缓冲容器相连通。它主要用在环境敏感度极高的液体保存领域。本例通过往复式的操作以重复利用封存用气体，降低封存用气体的用量，从而降低生产成本。
文档编号B65D81/20GK101164836SQ20061009695
公开日2008年4月23日 申请日期2006年10月18日 优先权日2006年10月18日
发明者飞 邹, 郑宗杰 申请人:昆山中辰矽晶有限公司