一种新型光阻桶结构设计的制作方法

文档序号:12766428阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型光阻桶结构,其特征在于,包括:桶顶部,桶身部和桶底部;

所述桶身部包括内侧桶壁,所述桶底部包括内侧底面和外侧底面;

在所述桶身部上具有底角开口;

所述内侧桶壁为增加桶内光阻流动性的非圆柱形结构。

2.根据权利要求1所述的一种新型光阻桶结构,其特征在于,所述底角开口紧贴内侧底面。

3.根据权利要求1所述的一种新型光阻桶结构,其特征在于,所述内侧桶壁为波浪形。

4.根据权利要求1所述的一种新型光阻桶结构,其特征在于,所述内侧底面与外侧底面倾斜成一定角度。

5.根据权利要求4所述的一种新型光阻桶结构,其特征在于,所述倾斜的角度为5度。

6.根据权利要求4所述的一种新型光阻桶结构,其特征在于,所述内侧底面的倾斜方向为由高到低朝底角开口位置倾斜,内侧底面的最低位置位于底角开口处。

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