一种新型光阻桶结构设计的制作方法

文档序号:12766428阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种新型光阻桶结构,桶顶部,桶身部和桶底部;在光阻桶的桶身部有底角开口,内侧桶壁为增加桶内光阻流动性的非圆柱形结构,上述结构使得光阻在内侧桶壁的流动性增加,有效地降低光阻粘壁聚集现象,避免光阻在使用过程中出现断层或空穴,同时,流动性增加的残余光阻不会粘附在内侧桶壁上,而是沿内侧底面经底角开口进行合并回收利用,提高操作的便捷性及残留光阻利用率,避免浪费。

技术研发人员:李志欢;刘学敏;雷洪伟
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
文档号码:201621399072
技术研发日:2016.12.19
技术公布日:2017.06.30

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