一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组的制作方法

文档序号:11625345阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,包括料座上料机构及晶棒上料机构,用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机械手、进料端与粘棒机出料端对应,出料端位于拆分机械手下方的预固化流水线及进料端与拆分机械手对接的数字固化库。本发明创造所述的粘棒机组实现了粘棒工序的自动化、少人化,降低了工人劳动强度的同时生产效率有了极大的提高。

技术研发人员:靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎
受保护的技术使用者:天津中环半导体股份有限公司
技术研发日:2017.05.05
技术公布日:2017.08.01
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