一种氮气柜的制作方法

本发明属于氮气柜技术领域，具体涉及一种氮气柜，用于存放半导体行业领域内的晶圆和元器件等样品使用。

背景技术：

随着半导体行业的快速发展，各大半导体及军工企业单位对氮气柜的要求越来越高，现有的普通氮气柜具有以下缺点：1、将多种样品放入同一个柜子内不易与寻找；2、不同的样品对保存环境要求不同，传统的氮气柜无法满足同时存储不同样品的需求；3、多种样品置于同一个空间内，每次取样均会导致存储环境发生改变，容易对样品产生不良影响。

技术实现要素：

针对上述问题，本发明提供了一种氮气柜，其可以实现对多种样品的独立储藏，满足同时存储不同样品的需求，避免取样导致存储环境发生变化对样品产生不良影响。

其技术方案是这样的：一种氮气柜，包括柜体，所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管道的进口分别与所述氮气舱的出气阀相连，所述出气管道的出口与真空泵相连，所述柜体上开设有出气口，所述真空泵与所述出气口相连，用于排出气体。

进一步的，所述氮气舱外侧边缘设有密封条，每个所述氮气舱分别与所述柜体构成独立的密闭空间。

进一步的，所述柜体上设有控制器，所述氮气舱内部设有：气压传感器，用于监测所述氮气舱内部的气压值；湿度传感器，用于监测所述氮气舱内部的湿度值；温度传感器，用于监测所述氮气舱内部的温度值；氮气浓度传感器，用于监测所述氮气舱内部的氮气浓度；所述氮气舱上设有液晶显示屏和控制按键，所述进气阀、出气阀、液晶显示屏、控制按键、气压传感器、湿度传感器、温度传感器和所述氮气浓度传感器分别与所述控制器电控连接，所述液晶显示屏用于显示所述氮气舱内部的气压、温度、湿度、氮气浓度信息；所述控制按键通过所述控制器来控制所述进气阀和所述出气阀，以调节所述氮气舱内部的气压以及氮气浓度。

本发明的氮气柜的优点：氮气柜通过设置多个独立的氮气舱，每个氮气舱可以分别用于存储不同的样品，每个氮气舱上分别设有进气阀和出气阀，可以调节氮气舱内部的气压以及氮气浓度，从而可以满足同时不同样品的存储需求，同时也避免了多种样品置于同一个空间内，每次取样均会导致环境发生改变导致的对样品产生不良影响，此外，每个氮气舱设有气压传感器、湿度传感器、温度传感器和所述氮气浓度传感器，通过设置液晶显示显示氮气舱内部的气压、温度、湿度、氮气浓度信息，控制按键通过控制器来控制进气阀和出气阀，可调节氮气舱内部的气压以及氮气浓度。

附图说明

图1为本发明的氮气柜的外部结构示意图；

图2为本发明的氮气柜的内部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

见图1、图2，本发明的一种氮气柜，包括柜体1，柜体1上排布有氮气舱2，在本实施例中氮气舱设有6个，氮气舱2为抽屉式氮气舱，氮气舱与柜体通过导轨连接，氮气舱2外侧边缘设有密封条，每个氮气舱2分别与柜体1构成独立的密闭空间，柜体1内部设有进气管道2和出气管道3，进气管道2和出气管道3分别连接每个氮气舱2，氮气舱2上设有进气阀4和出气阀5，进气管道的出口6分别与氮气舱2的进气阀4相连，进气管道的进口7与氮气泵8相连，柜体2上开设有进气口9，氮气泵8与进气口9相连，1用于导入氮气；出气管道的进口10分别与氮气舱2的出气阀5相连，出气管道的出口11与真空泵12相连，柜体1上开设有出气口13，真空泵12与出气口13相连，用于排出气体。

柜体1上设有控制器14，氮气舱2内部设有：气压传感器15，用于监测氮气舱内部的气压值；湿度传感器16，用于监测氮气舱内部的湿度值；温度传感器17，用于监测氮气舱内部的温度值；氮气浓度传感器18，用于监测氮气舱内部的氮气浓度；氮气舱2上设有液晶显示屏19和控制按键20，进气阀4、出气阀5、液晶显示屏19、控制按键20、气压传感器15、湿度传感器16、温度传感器17和氮气浓度传感器18分别与控制器21电控连接，液晶显示屏19用于显示氮气舱内部的气压、温度、湿度、氮气浓度信息；控制按键20通过控制器21来控制进气阀4和出气阀5，以调节氮气舱2内部的气压以及氮气浓度。

以下描述本发明的氮气柜的使用过程：存放样品时，抽出氮气柜，产品放入氮气舱后，把氮气舱推入柜体中，出气阀打开，进气阀关闭，真空泵开始工作，将氮气舱内的气体排出，当达到预设气压后，出气阀关闭后进气阀打开，真空泵停止工作，氮气泵开始工作，将氮气充入氮气舱，气压达到预设值后，进气阀关闭，氮气泵停止工作；

取出样品前，出气阀打开，使氮气舱内部气压与外界气压值相等，方便所述氮气舱的正常打开；

保存样品过程中，考虑氮气舱的气密性影响，舱体内部的氮气浓度和气压值会出现变化，当氮气舱内部的氮气浓度和气压值低于预设值的30%时，进气阀打开，氮气泵开始工作，为氮气舱补充氮气，以达到预设值。

本发明的氮气柜的优点：氮气柜通过设置多个独立的氮气舱，每个氮气舱可以分别用于存储不同的样品，每个氮气舱上分别设有进气阀和出气阀，可以调节氮气舱内部的气压以及氮气浓度，从而可以满足同时不同样品的存储需求，同时也避免了多种样品置于同一个空间内，每次取样均会导致环境发生改变导致的对样品产生不良影响，此外，每个氮气舱设有气压传感器、湿度传感器、温度传感器和氮气浓度传感器，通过设置液晶显示显示氮气舱内部的气压、温度、湿度、氮气浓度信息，控制按键通过控制器来控制进气阀和出气阀，可调节氮气舱内部的气压以及氮气浓度。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明提供了一种氮气柜，其可以实现对多种样品的独立储藏，满足同时存储不同样品的需求，避免取样导致环境变化对样品产生不良影响，包括柜体，柜体上排布有氮气舱，氮气舱为抽屉式氮气舱，氮气舱与柜体通过导轨连接，柜体内部设有进气管道和出气管道，进气管道和出气管道分别连接每个氮气舱，氮气舱上设有进气阀和出气阀，进气管道的出口分别与氮气舱的进气阀相连，进气管道的进口与氮气泵相连，柜体上开设有进气口，氮气泵与进气口相连，用于导入氮气；出气管道的进口分别与氮气舱的出气阀相连，出气管道的出口与真空泵相连，柜体上开设有出气口，真空泵与出气口相连，用于排出气体。

技术研发人员：毕秀文;胡光;杨军;吴晋希;刘佳
受保护的技术使用者：全讯射频科技(无锡)有限公司
技术研发日：2017.07.13
技术公布日：2017.11.03