临时保管系统的制作方法

本发明涉及临时保管系统。

背景技术：

作为以往的临时保管系统，已知一种如专利文献1所记载的系统。专利文献1所记载的搬运系统具备：第一轨道，通过处理装置的装载口的上部；顶棚行驶车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机；第二轨道，在第一轨道的下方，通过装载口的上方，并且与第一轨道平行配置；用于设置物品的缓冲区，在第二轨道的下方比装载口高的位置被设置为使物品沿铅垂方向自由通过装载口的正上方部；以及局部台车，沿着第二轨道行驶，并且具备在缓冲区和装载口之间传送物品的升降机。

专利文献1：日本特开2012－111635号公报

然而，为了增加缓冲区的数量，需要延长第二轨道，越增加缓冲区的数量，第二轨道的延伸方向两端部的缓冲区就离装载口越远。即，难以在装载口的附近临时保管较多的物品。

技术实现要素：

本发明的一个方面的目的在于提供一种在能够利用台车迅速地对移载口搬运物品的位置能够临时保管较多的物品的临时保管系统。

本发明的一个方面的临时保管系统具备：行驶导轨，具有沿第一方向以直线状延伸的多个第一导轨和沿与第一方向正交的第二方向延伸的多个第二导轨，多个第一导轨和多个第二导轨在同一面上被配置成格子状，并被设置为在俯视时包围物品被移载的移载口；台车，具有行驶部和移载部，行驶部能够在行驶导轨上沿第一方向和第二方向行驶，移载部包含保持物品的保持部和使保持部升降的升降部；以及保管物品的多个保管部，行驶导轨被配置为从保管部相对于移载口所设置的侧，使台车自由进入移载部被配置于移载口的正上方的第一停止位置，并且使台车自由进入移载部被配置于保管部的正上方的第二停止位置。

在本发明的一个方面的临时保管系统中，行驶导轨被设置为在俯视时包围物品被移载的移载口。行驶导轨被配置为从保管部相对于移载口所设置的侧，使台车自由进入移载部被配置于移载口的正上方的第一停止位置，并且使台车自由进入移载部被配置于保管部的正上方的第二停止位置。由此，在临时保管系统中，在能够利用台车迅速地对移载口搬运物品的位置临时保管较多的物品。

在一个实施方式中，也可以为台车以移载部位于比行驶导轨靠上侧的状态行驶在行驶导轨上，对于行驶导轨，俯视时包含移载口的区域为开口部，台车经由开口部通过移载部对移载口进行物品的移载。由此，在以移载部位于比行驶导轨靠上侧的状态行驶在行驶导轨上的台车的结构中，即使在俯视时的移载口的周围设置行驶导轨，台车也能够对移载口移载物品。

在一个实施方式中，也可以为行驶导轨的多个第一导轨和多个第二导轨分别隔开能够使物品沿铅垂方向通过的间隔来配置，保管部设置于由第一导轨和第二导轨划分的空间的正下方，台车经由空间通过移载部对保管部进行物品的移载。在该结构中，在以移载部位于比行驶导轨靠上侧的状态行驶在行驶导轨上的台车的结构中，能够在不妨碍台车的行驶的位置保管较多的物品。

在一个实施方式中，也可以为移载口是设置于处理装置的装载口，开口部具有包含设置于处理装置的多个移载口的区域。在该结构中，能够确保俯视时的行驶导轨与移载口的相对位置的自由度。

在一个实施方式中，也可以为移载部具有移动部，该移动部能够使升降部在与沿着第一方向以及上述第二方向的平面平行的方向上进退，台车停止在形成开口部的第一导轨以及第二导轨的至少一方，并使移动部进出，由此经由开口部将物品移载至移载口。在该结构中，能够扩宽开口部的区域。因此，能够确保俯视时的行驶导轨与移载口的相对位置的自由度。

在一个实施方式中，也可以为在行驶导轨，在台车相对于移载口的停止位置设置有被检测体，台车具备检测被检测体的检测部，行驶部基于检测部的检测结果停止在停止位置。在该结构中，能够使台车高精度地停止在停止位置。

在一个实施方式中，也可以为行驶导轨被配置为台车能够停止在移载口的正上方，台车停止在移载口的正上方并经由开口部将物品移载至移载口。在该结构中，能够对移载口迅速地移载物品。

在一个实施方式中，也可以为台车以移载部位于比行驶导轨靠下侧的状态行驶在行驶导轨上。在该结构中，即使在行驶导轨上未设置开口部，也能够向移载口移载物品。

在一个实施方式中，也可以为在行驶导轨，在台车相对于移载口的停止位置设置有被检测体，台车具备检测被检测体的检测部，行驶部基于检测部的检测结果使台车停止在停止位置。在该结构中，能够使台车高精度地停止在相对于移载口的停止位置。

根据本发明的一个方面，能够在能够利用台车迅速地对移载口搬运物品的位置临时保管较多的物品。

附图说明

图1是包含一个实施方式所涉及的临时保管系统的搬运系统的俯视图。

图2是表示图1所示的搬运系统的一部分的立体图。

图3是表示设置于图1所示的搬运系统的行驶导轨的下方的处理装置的图。

图4是表示行驶导轨的图。

图5是表示台车的图。

图6是从底面侧观察台车的图。

图7是表示台车的移载部使滑动叉伸长的状态的图。

图8是表示设置有条形码的行驶导轨的图。

图9是表示行驶导轨的图。

图10是台车位于移载部被配置于装载口的正上方的停止位置的图。

图11是用于对台车的动作进行说明的图。

图12是用于对台车的动作进行说明的图。

图13是用于对台车的动作进行说明的图。

图14是用于对台车的动作进行说明的图。

图15是表示其他实施方式所涉及的搬运系统的行驶导轨的图。

图16是表示其他实施方式所涉及的搬运系统的台车的图。

图17是表示其他实施方式所涉及的搬运系统的台车的图。

图18是表示其他实施方式所涉及的搬运系统的行驶导轨的图。

图19是表示其他实施方式所涉及的搬运系统的行驶导轨的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细说明。此外，在对附图进行说明时对于相同或者等同元件标注相同的附图标记，并省略重复的说明。

图1所示的搬运系统100例如是用于在具备多个处理装置的半导体制造工厂的洁净室内，搬运收容有多个半导体晶圆等基板的盒的系统。盒是以用于半导体晶圆的搬运以及保管等为目的的载体(物品)，是FOUP(Front Opening Unified Pod：正面开口标准箱)、FOSB(Front Opening Shipping Box：全透明前开口晶圆运输盒)、SmifPod等。在本实施方式中，以搬运FOUP50的搬运系统作为一个例子进行说明。FOUP50具备主体部51、安装于主体部51的开口部的盖52、以及设置于主体部51的上部的凸缘部53。搬运系统100还具有作为暂时保管FOUP50的临时保管系统的功能。

如图1或图2所示，搬运系统100具备行驶导轨4、行驶在行驶导轨4上的台车8、轨道R以及行驶在轨道R上的顶棚搬运车V。轨道R铺设在洁净室的顶棚附近。轨道R遍及搬运系统100和其他搬运系统而设置。轨道R的一部分配置在行驶导轨4的上方。即，顶棚搬运车V行驶在行驶导轨4的上方。在FOUP50的搬运起始地和搬运目的地均处于轨道R的正下方的情况下，由于顶棚搬运车V能够比行驶在行驶导轨4上的台车8更迅速地搬运FOUP50，所以在这样的条件下，用于想要比台车8更迅速地搬运的FOUP50的搬运。此外，轨道R也可以设置于与行驶导轨4相同的高度或比行驶导轨4靠下方。

顶棚搬运车V是OHT(Over Head Transfer：悬吊式物流天车)。顶棚搬运车V向设置于行驶导轨4的单元缓冲区22(后述)搬运FOUP50，并且从单元缓冲区22拾取FOUP50而将FOUP50搬运至其他搬运系统。

如图1所示，在行驶导轨4的下方设置有处理装置。具体而言，如图3所示，在行驶导轨4的下方设置有：具有多个第一处理装置M1的第一处理装置组G1、具有多个第二处理装置M2的第二处理装置组G2、具有多个第三处理装置M3的第三处理装置组G3、具备多个第四处理装置M4的第四处理装置组G4、具有多个第五处理装置M5的第五处理装置组G5、具有多个第六处理装置M6的第六处理装置组G6、具有多个第七处理装置M7的第七处理装置组G7、具有多个第八处理装置M8的第八处理装置组G8以及具有多个第九处理装置M9的第九处理装置组G9。第一处理装置组G1～第九处理装置组G9分别进行半导体的制造所涉及的各工序(制造工序)的处理。第一处理装置组G1～第九处理装置组G9例如进行对半导体晶圆的成膜、半导体晶圆的清洗等。半导体的制造所涉及的处理不在一个处理装置组中结束，而是在由一个处理装置组进行处理之后，由其他处理装置组来进行。

第一处理装置组G1和第二处理装置组G2在Y方向上相邻配置。第一处理装置组G1和第三处理装置组G3在Y方向上相邻配置。第一处理装置组G1和第四处理装置组G4在X方向上相邻配置。第四处理装置组G4和第五处理装置组G5在Y方向上相邻配置。第三处理装置组G3和第五处理装置组G5在X方向上相邻配置。第四处理装置组G4和第七处理装置组G7在Y方向上相邻配置。第四处理装置组G4和第六处理装置组G6在X方向上相邻配置。第六处理装置组G6和第七处理装置组G7在Y方向上相邻配置。第六处理装置组G6和第八处理装置组G8在X方向上相邻配置。第八处理装置组G8和第九处理装置组G9在Y方向上相邻配置。第七处理装置组G7和第九处理装置组G9在X方向上相邻配置。

第一处理装置M1～第九处理装置M9可以是对半导体晶圆实施相同处理的装置，也可以是实施不同处理的装置。第一处理装置M1～第九处理装置M9的数量也可以根据设计适当地设定。

第一处理装置M1具有将FOUP50内的半导体晶圆存取至第一处理装置M1的接口亦即第一装载口(移载口)(以下，简称为“装载口”)P1。第一处理装置M1例如设置有三个第一装载口P1。第二处理装置M2具有第二装载口P2。第三处理装置M3具有第三装载口P3。第四处理装置M4具有第四装载口P4。第五处理装置M5具有第五装载口P5。第六处理装置M6具有第六装载口P6。第七处理装置M7具有第七装载口P7。第八处理装置M8具有第八装载口P8。第九处理装置M9具有第九装载口P9。对于第一处理装置M1～第九处理装置M9中的第一装载口P1～第九装载口P9的数量，适当地设定即可。

在第一处理装置组G1中，第一处理装置M1在Y方向上隔着规定的间隔配置。第一装载口P1分别沿着Y方向配置。同样在第二处理装置组G2～第九处理装置组G9中，第二处理装置M2～第九处理装置M9沿Y方向隔着规定的间隔配置。第二装载口P2～第九装载口P9分别沿着Y方向配置。

第一处理装置组G1的第一处理装置M1和第四处理装置组G4的第四处理装置M4被配置为第一装载口P1和第四装载口P4对置。在第一装载口P1和第四装载口P4之间，设置有通路A1。通路A1例如具有操作员能够步行的宽度。在第二处理装置组G2和第三处理装置组G3之间，设置有通路A2。在第三处理装置组G3和第五处理装置组G5之间，设置有通路A3。在第六处理装置组G6和第八处理装置组G8之间，设置有通路A4。在第七处理装置组G7和第九处理装置组G9之间，设置有通路A5。

如图1和图2所示，行驶导轨4被设置为在俯视时呈格子状。行驶导轨4例如通过支柱(省略图示)支承于洁净室的顶棚。如图4所示，行驶导轨4由多个第一导轨9和多个第二导轨11构成。

第一导轨9沿X方向(第一方向)以直线状延伸。在第一导轨9设置有引导件10。引导件10是槽，沿着第一导轨9的延伸方向设置。第二导轨11沿与第一导轨9延伸的X方向正交的Y方向(第二方向)以直线状延伸。在第二导轨11设置有引导件12。引导件12是槽，沿着第二导轨11的延伸方向设置。在第一导轨9的引导件10和第二导轨11的引导件12交叉的部分设置有交叉点14。

如图5所示，在行驶导轨4的下方且第一处理装置M1～第九处理装置M9的上方设置有缓冲区6。缓冲区6是载置FOUP50的架子，收容FOUP50。缓冲区6通过支承部件20支承于行驶导轨4。缓冲区6由多个单元缓冲区(保管部)22构成。单元缓冲区22按照每个行驶导轨4中由第一导轨9以及第二导轨11划分的矩形状的单元(空间)16来设定。单元缓冲区22分别保管一个FOUP50。在单元缓冲区22中，经由单元16移载FOUP50。即，FOUP50沿铅垂方向经过单元16移载至单元缓冲区22。如图5所示，缓冲区6设置于载置在该缓冲区6上的FOUP50的一部分在侧面视时与行驶导轨4重叠的位置。

如图2和图5所示，在行驶导轨4上设置有台车8。台车8在行驶导轨4上设置有多个。台车8具备行驶部24和移载部26。另外，台车8还具备控制行驶部24以及移载部26的动作的控制部、能够与上位控制器通信的通信部等。控制部例如是由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(Random Access Memory：随机存储器)等构成的电子控制单元。台车8根据来自上位控制器的指令来搬运FOUP50。

行驶部24呈长方体状。在俯视时，行驶部24与单元16为相等尺寸。如图6所示，行驶部24具有多个(在本实施方式中为四个)行驶单元35。各行驶单元35分别具有多个(在本实施方式中为两个)车轮32a或者车轮32b、行驶马达34以及上下机构(切换部)30。车轮32a在行驶部24中相互对置的两个边上各设置有两个。车轮32b在行驶部24中，在与设置有车轮32a的边正交且相互对置的两个边上各设置有两个。车轮32a被第一导轨9的引导件10引导而行驶在第一导轨9的行驶面上。车轮32b被第二导轨11的引导件12引导而行驶在第二导轨11的行驶面上。行驶马达34使车轮32a、32b驱动。上下机构30使车轮32a、32b以及行驶马达34沿上下方向移动。上下机构30例如是缩放仪(pantograph)、凸轮等。

行驶部24中，通过车轮32a、32b基于上下机构30的上下方向的移动，车轮32a或者车轮32b与第一导轨9的引导件10或者第二导轨11的引导件12接触并沿着第一导轨9或者第二导轨11行驶。即，上下机构30通过使车轮32或者车轮32b沿上下方向移动，将行驶状态切换为车轮32a沿着第一导轨9行驶的第一行驶状态和车轮32b沿着第二导轨11行驶的第二行驶状态。

行驶部24具有传感器36和条形码阅读器(检测部)38。传感器36在行驶部24的四角配置于底面。传感器36检测行驶导轨4的交叉点14。行驶部24基于由传感器36检测出的交叉点14停止，以使行驶部24的中心位于行驶导轨4的单元16的中心。

条形码阅读器38读取条形码(被检测体)B(参照图8)。条形码阅读器38分别设置于各行驶单元35，配置于行驶部24的底面。如图8所示，在第一导轨9(第二导轨11)设置有条形码B。详细而言，条形码B配置于在第一处理装置M1～第九处理装置M9的第一装载口P1～第九装载口P9的正上方能够配置移载部26的台车8的停止位置。行驶部24基于由条形码阅读器38检测出的条形码B，停止在相对于第一装载口P1～第九装载口P9的停止位置。

移载部26从行驶部24突出。移载部26具备滑动叉(移动部)40、转台44、升降装置(升降部)45、升降台46以及俯视传感器(lookdown sensor)47、48。

滑动叉40被行驶部24所支承的支承体26A支承。滑动叉40具有基部41、中间部42以及顶部43。基部41设置于移载部26的支承体26A。滑动叉40使升降装置45在与沿着X方向和Y方向的平面平行的方向上进退。如图7所示，顶部43相对于基部41例如以相当于单元16的一边的行程进出到移载部26的两侧。

转台44设置于顶部43的下部。转台44使设置于该转台44的下部的升降装置45旋转。转台44例如被设置为能够旋转180°。升降装置45通过带、绳索、线等使升降台46升降。升降台46具有保持(把持)FOUP50的凸缘部53的夹具(保持部)46A。

俯视传感器47、48检测在升降台46升降时升降台46的周围的物体。如图6所示，俯视传感器47、48在顶部43配置于夹持升降装置45的位置。具体而言，俯视传感器47、48配置于在升降台46保持有FOUP50的状态下FOUP50不妨碍物体的检测的位置。移载部26还可以具备检测单元缓冲区22中的FOUP50的有无的传感器、读入设置于FOUP50的ID等的ID阅读器等。另外，移载部26为了避免与顶棚搬运车V的接触，还可以具备检测台车8的周围的物体(障碍物)的传感器。

台车8具有配重49。配重49设置于行驶部24。配重49具有抵消从移载部26对车轮32施加的力的力矩的功能。配重49使台车8的重心维持在由多个车轮32围起的范围内。

接着，对行驶导轨4进行更加详细的说明。如图1所示，行驶导轨4设置在第一处理装置组G1～第九处理装置组G9上。行驶导轨4遍及多个处理装置组而配置于设置有第一处理装置组G1～第九处理装置组G9的区域的整个面。作为具体的一个例子，格子状的行驶导轨4例如遍及第一处理装置组G1和第四处理装置组G4之间来设置。即，行驶导轨4也设置在设置于第一处理装置组G1和第四处理装置组G4之间的通路A1上。

如图9所示，在行驶导轨4设置有开口部K。在图9所示的例子中，开口部K设置于第一处理装置M1的第一装载口P1的正上方(铅垂上方)。开口部K是由第一导轨9和第二导轨11划分出的区域。通过开口部K，第一装载口P1的上方成为开放的空间。换句话说，在开口部K的区域的下方，未设置有缓冲区6。开口部K被设定在包含多个(在这里为三个)第一装载口P1的区域。开口部K的长边方向(Y方向)的尺寸比相同方向上的从第一装载口P1的一个端部到另一个端部的尺寸大。开口部K设置在第一处理装置M1～第九处理装置M9的第一装载口P1～第九装载口P9的上方。在通过台车8向第一装载口P1～第九装载口P9移载FOUP50的情况下，停止在形成开口部K的第一导轨9以及第二导轨11的至少一方上，使滑动叉40进出而使升降台46升降，由此经由开口部K将FOUP50移载至第一装载口P1～第九装载口P9。

单元缓冲区22设置于X方向的两侧以及Y方向的两侧。即，如图9所示，单元缓冲区22设置于开口部K的周围。

行驶导轨4被配置为从单元缓冲区22相对于第一装载口P1～第九装载口P9所设置的侧使台车8自由进入移载部26被配置于第一装载口P1～第九装载口P9的正上方的停止位置，并且使台车8自由进入移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的停止位置。根据该结构，如图10所示，在通过台车8从单元缓冲区22向第一装载口P1移载FOUP50的情况下，台车8从设置有单元缓冲区22的侧(图示左侧)移动到移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的第二停止位置停止，经由单元16从单元缓冲区22取出FOUP50(用点划线表示)。之后，台车8从设置有单元缓冲区22的侧移动到移载部26被配置于第一装载口P1的正上方的第一停止位置(在图10中台车8停止的位置)停止，从而将FOUP50移载到第一装载口P1。

接着，参照图11～图14对台车8的动作进行详细说明。在图11～图14中，对在开口部K的区域内，第四装载口P4相比中央略靠近第二导轨11，在台车8相对于第四装载口P4停止在图示右侧的状态下，通过滑动叉40使移载部26向第四装载口P4的正上方移动来进行FOUP50的移载的方式进行说明。

最初，对如图11所示，例如将FOUP50从用“S1”表示的单元缓冲区22搬运至第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载口P4的情况进行说明。如图11所示，台车8停止在移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的第二停止位置(用虚线表示台车8的位置)，拾取FOUP50。若拾取到FOUP50，则台车8沿着Y方向向图示上侧移动，从单元缓冲区22相对于第四装载口P4所设置的侧移动到移载部26被配置于第四装载口P4的正上方的第一停止位置(用实线表示台车8的位置)停止，从而将FOUP50移载至第四装载口P4。如以上那样，台车8将FOUP50从单元缓冲区22搬运至第四装载口P4。

接着，对如图12所示，例如将FOUP50从用“S2”表示的单元缓冲区22搬运至第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载口P4的情况进行说明。如图12所示，台车8停止在移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的第二停止位置(用虚线表示台车8的位置)，拾取FOUP50。若拾取到FOUP50，则台车8沿着Y方向向图示下侧移动，从单元缓冲区22相对于第四装载口P4所设置的侧移动到移载部26被配置于第四装载口P4的正上方的第一停止位置(用实线表示台车8的位置)停止，从而将FOUP50移载至第四装载口P4。如以上那样，台车8将FOUP50从单元缓冲区22搬运至第四装载口P4。

接着，对如图13所示，例如将FOUP50从用“S3”表示的单元缓冲区22搬运至第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载口P4的情况进行说明。如图13所示，台车8停止在移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的第二停止位置(用虚线表示台车8的位置)，拾取FOUP50。若拾取到FOUP50，则台车8沿着Y方向向图示下侧移动，移动到移载部26被配置于第四装载口P4的正上方的第一停止位置(用实线表示台车8的位置)停止，从而将FOUP50移载至第四装载口P4。如以上那样，台车8将FOUP50从单元缓冲区22搬运至第四装载口P4。

接着，对如图14所示例如，将FOUP50从用“S4”表示的单元缓冲区22搬运至第四处理装置组G4的第四处理装置M4的第四装载口P4的情况进行说明。如图14所示，台车8停止在移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的第二停止位置(用“1”表示的位置)，拾取FOUP50。若拾取到FOUP50，则台车8沿着Y方向移动到图示下侧的“2”的位置，之后，沿着X方向移动到图示右侧的用“3”表示的位置。然后，台车8从用“3”表示的位置移动到移载部26被配置于第四装载口P4的正上方的第一停止位置停止，从而将FOUP50移载至第四装载口P4。如以上那样，台车8将FOUP50从单元缓冲区22搬运到第四装载口P4。

如以上说明的那样，在本实施方式所涉及的搬运系统100中，将行驶导轨4设置为在俯视时包围FOUP50被移载的第一装载口P1～第九装载口P9。在该结构中，行驶导轨4具备在俯视时包围第一装载口P1～第九装载口P9的矩形形状的部分。在该矩形形状的部分的与至少两个边相应的位置，设置有保管FOUP50的单元缓冲区22。例如，在俯视时，在第一装载口P1～第九装载口P9的四个方位设置有单元缓冲区22。在该结构中，行驶导轨4被配置为使台车8自由进入移载部26被配置于第一装载口P1～第九装载口P9的正上方的第一停止位置，并且使台车8自由进入移载部26被配置于单元缓冲区22的正上方的第二停止位置。由此，在搬运系统100中，能够在通过台车8迅速地将FOUP50搬运到第一装载口P1～第九装载口P9的位置临时保管较多的FOUP50。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，行驶导轨4被设置为从单元缓冲区22相对于第一装载口P1～第九装载口P9所设置的侧自由进入第一停止位置。在该结构中，能够在能够通过台车8将FOUP50迅速地搬运至第一装载口P1～第九装载口P9位置临时保管较多的FOUP50。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，台车8以移载部26位于比行驶导轨4靠上侧的状态行驶在行驶导轨上。对于行驶导轨4，俯视时包含第一装载口P1～第九装载口P9的区域为开口部K。台车8经由开口部K通过移载部26对第一装载口P1～第九装载口P9进行FOUP50的移载。由此，在以移载部26位于比行驶导轨4靠上侧的状态行驶在行驶导轨4上的台车8的结构中，即使在俯视时的第一装载口P1～第九装载口P9的周围设置行驶导轨4，台车8也能够对第一装载口P1～第九装载口P9移载FOUP50。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，行驶导轨4将多个第一导轨9和多个第二导轨11分别隔开使FOUP50能够沿铅垂方向通过的间隔来配置。单元缓冲区22设置在由第一导轨9和第二导轨11划分的单元16的正下方。台车8经由单元16通过移载部26对单元缓冲区22进行FOUP50的移载。在该结构中，在以移载部26位于比行驶导轨4靠上侧的状态行驶在行驶导轨4上的台车8的结构中，能够在不妨碍台车8的行驶的位置保管较多的FOUP50。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，单元缓冲区22设置于比第一装载口P1～第九装载口P9靠上方。由此，能够实现缩短台车8在单元缓冲区22中移载FOUP50的时间。结果，进一步实现FOUP50的搬运效率的提高。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，第一装载口P1～第九装载口P9设置于第一处理装置M1～第九处理装置M9，开口部K具有包含设置于第一处理装置M1～第九处理装置M9的多个第一装载口P1～第九装载口P9的区域。在该结构中，能够确保俯视时的行驶导轨4与第一装载口P1～第九装载口P9的相对位置的自由度。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，台车8的移载部26具有滑动叉40，该滑动叉40能够使升降装置45在与沿着X方向以及Y方向的平面平行的方向上进退。台车8停止在形成开口部K的第一导轨9以及第二导轨11的至少一方上，使滑动叉40进出，由此经由开口部K将FOUP50移载至第一装载口P1～第九装载口P9。在该结构中，能够扩宽开口部K的区域。因此，能够进一步确保俯视时的行驶导轨4与第一装载口P1～第九装载口P9的相对位置的自由度。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，在行驶导轨4，在台车8相对于第一装载口P1～第九装载口P9的停止位置设置有条形码B。台车8具备检测条形码B的条形码阅读器38。台车8的行驶部24基于条形码阅读器38的检测结果使台车8停止在停止位置。在该结构中，能够使台车8高精度地停止到相对于第一装载口P1～第九装载口P9的停止位置。

在本实施方式所涉及的搬运系统100中，行驶部24具有上下机构30，该上下机构30将行驶状态切换为沿着第一导轨9行驶的第一行驶状态和沿着第二导轨11行驶的第二行驶状态。由此，能够使台车8沿着X方向以及Y方向纵横行驶。

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式。

在上述实施方式中，以具备轨道R和顶棚搬运车V的方式作为一个例子进行了说明，但也可以不具备轨道R和顶棚搬运车V。

在上述实施方式中，以第一装载口P1～第九装载口P9沿着Y方向配置的方式作为一个例子进行了说明。但是，第一装载口P1～第九装载口P9的配置方式并不限于此。对于第一装载口P1～第九装载口P9，根据设计适当地设置即可。例如，如图15所示，在第一处理装置组G1中，各第一处理装置M1的第一装载口P1分别沿着Y方向或者X方向配置。第一装载口P1其排列方向未设置在一条直线上，在Y方向或者X方向上错开配置。同样在第二处理装置组G2中，各第二处理装置M2的第二装载口P2分别沿着Y方向或者X方向配置。第二装载口P2其排列方向未设置在一条直线上，在Y方向或者X方向上错开配置。即使是该结构，由于在搬运系统100中，台车8通过行驶导轨4上的X方向以及Y方向的组合能取得多个行驶路径，所以能够在被设置为非平行的多个装载口彼此间高效地搬运FOUP50。另外，在该结构中，能够提高第一装载口P1～第九装载口P9的配置的自由度，进而提高第一处理装置M1～第九处理装置M9的配置的自由度。

在上述实施方式中，以缓冲区6被设置在侧面视时载置在该缓冲区6上的FOUP50的一部分与行驶导轨4重叠的位置的方式作为一个例子进行了说明。但是，缓冲区6(单元缓冲区22)也可以在与行驶导轨4相同的高度或比行驶导轨4靠上方具备FOUP50的载置面。

在上述实施方式中，以利用条形码阅读器38读取设置于行驶导轨4的条形码B的方式作为一个例子进行了说明。但是，设置于行驶导轨4的被检测体例如也可以是磁标记、光学标记、线性刻度等。检测部是能够检测这些被检测体的装置即可。

在上述实施方式中，以在单元缓冲区22收容一个FOUP50的方式作为一个例子进行了说明。但是，也可以在单元缓冲区22收容多个FOUP50。

在上述实施方式中，以台车8的移载部26具备滑动叉40的方式作为一个例子进行了说明。但是，也可以代替滑动叉40具备SCARA机械臂(Selective Compliance Assembly Robot Arm)等沿水平方向进退的臂。

在上述实施方式中，以台车8具备行驶部24和移载部26，移载部26从行驶部24突出的方式作为一个例子进行了说明。但是，台车的方式并不限于此。例如，如图16所示，台车70在行驶部72具备滑动叉40。另外，台车也可以是臂状的移载部绕行驶部的重心旋转的结构。在该结构中，移载部也可以不具备滑动叉。

另外，如图17所示，台车80具有行驶部84和移载部86。也可以是台车80位于行驶导轨4的下方，行驶部84以悬挂于行驶导轨4的状态行驶的方式。在该结构中，即使在行驶导轨4未设置开口部，也能够将FOUP50移载至第一装载口P1～第九装载口P9。另外，也可以是台车停止在行驶导轨4的单元16的正上方并经由该单元16能够移载FOUP50的方式。即，台车的移载部也可以不具备滑动叉。在该结构中，由于在对第一装载口P1～第九装载口P9移载FOUP50时，无需使移载部进出，所以能够对第一装载口P1～第九装载口P9迅速地移载FOUP50。

在上述实施方式中，以台车8的行驶部24具备上下机构30的方式作为一个例子进行了说明。但是，将行驶状态切换到沿着第一导轨9行驶的第一行驶状态和沿着第二导轨11行驶的第二行驶状态的切换部的结构并不限定于此。切换部能够采用各种机构。例如，切换部也可以是能够使车轮(行驶单元)相对于行驶部移动的机构。在该结构中，通过切换部使车轮移动，由此在行驶部沿着Y方向行驶的情况下被配置为车轮沿着Y方向，在行驶部沿着X方向行驶的情况下被配置为车轮沿着X方向。

在上述实施方式中，以多个装载口位于设置于行驶导轨4的开口部K的区域内的方式作为一个例子进行了说明。但是，如图18所示，开口部K也可以被设置为在区域内包含1个第一装载口P1。在该结构中，也可以是台车8位于行驶导轨4的开口部K上，能够经由该开口部K移载FOUP50的结构。在该结构中，能够对第一装载口P1～第九装载口P9更加迅速地移载FOUP50。

在上述实施方式中，以由设置有引导件10的第一导轨9和设置有引导件12的第二导轨11构成的行驶导轨4作为一个例子进行了说明。但是，行驶导轨例如也可以是图19所示的方式。如图19所示，行驶导轨17由第一导轨18和第二导轨19构成。在第一导轨18设置有两根引导件10、10。在第二导轨19设置有两根引导件12、12。在引导件10与引导件12之间以及引导件12与引导件12之间设置有分离带。分离体21呈凸状，使引导件10与引导件10以及引导件12与引导件12分离。在具备行驶导轨17的搬运系统中，两台台车8能够同时位于第一导轨18或者第二导轨19上。

附图标记说明

4…行驶导轨，6…缓冲区，8…台车，9…第一导轨，11…第二导轨，22…单元缓冲区(保管部)，24…行驶部，26…移载部，38…条形码阅读器(检测部)，40…滑动叉(移动部)，45…升降装置(升降部)，46A…夹具(保持部)，50…FOUP(物品)，100…搬运系统(临时保管系统)，B…条形码(被检测体)，P1～P9…第一装载口～第九装载口。