本实用新型涉及自动化设备技术领域，特别涉及具有缓存区的物料传送设备及其物料传送系统。
背景技术：
随着半导体集成电路的飞速发展,在半导体设备行业进行工业4.0改造势在必行。进行改造时,改造点主要集中体现在上下料的位置,但由于半导体设备行业的特殊性,在对原机台设备进行工业4.0改造时,要求改造成本低,运动可靠,运行高效,且组线灵活,现有的改造方案成本较高，因此需要提供一种解决半导体设备单机组线所面临问题的优选方案。
技术实现要素：
本实用新型的目的一是提供一种具有缓存区的物料传送设备，具有单个机台的改造成本低，在对多个改造后的机台进行组线较为灵活的优点。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种具有缓存区的物料传送设备，包括：机台；设于所述机台上的传送装置，所述机台上设有至少两个用于暂存产品的缓存区，所述缓存区设置于所述机台靠近传送装置的一侧或两侧，所述传送装置可延伸出所述机台至少一个缓存区的长度；以及，滑动式设置于所述传送装置上、受所述传送装置驱动以输送产品的机械手装置。
通过采用上述技术方案，在进行单个物料传送设备的改造时，机台上设置至少两个用于暂存产品的缓存区，当机械手装置在传送装置上滑动将产品输送至缓存区时，因每个机台的传送装置延伸出机台自身至少一个缓存区的长度，所以相邻机台的机械手装置可到达前一机台的缓存区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。
本实用新型的进一步设置，所述传送装置包括：设于所述机台上、沿所述机台长度方向设置、供所述机械手装置滑动的轨道；以及，设于所述机台上、用于驱动所述机械手装置在所述轨道上滑动的输送机构。
通过采用上述技术方案，输送机构可驱动机械手装置在轨道上移动，实现产品在机台上的输送及向相邻机台输送的工作。
本实用新型的进一步设置，所述输送机构包括：设于所述轨道上的主动轮及从动轮；用于驱动主动轮转动的电机；以及，套设于所述主动轮及从动轮上与机械手装置固定的传送带。
通过采用上述技术方案，电机驱动主动轮转动，从而带动传送带移动，带动机械手装置移动以实现产品的输送。
本实用新型的进一步设置，所述机械手装置包括：滑动式设置于所述轨道上、与所述传送带固定的滑动座；设于滑动座靠近缓存区一端的架体；设于所述滑动座、用于驱动架体升降的驱动件；以及，多个设于所述架体朝向缓存区一面的吸盘。
通过采用上述技术方案，传送带移动带动滑动座移动，滑动座在轨道上滑动至缓存区时，驱动件驱动架体升降，使吸盘将缓存区上的产品吸合，从而实现产品的转移。
本实用新型的进一步设置，所述机械手装置包括：滑动式设置于所述轨道上、与所述传送带固定的副轨道；滑动式设置于所述副轨道上的滑动座；设于所述副轨道上、用于驱动所述滑动座在所述副轨道上滑动的副输送机构；设于滑动座靠近缓存区一端的架体；设于所述滑动座、用于驱动架体升降的驱动件；以及，多个设于所述架体朝向缓存区一面的吸盘。
通过采用上述技术方案，传送带移动带动副轨道移动，实现调节滑动座及吸盘的位置，副输送机构驱动滑动座移动，也能实现调节吸盘的位置；由于副轨道为滑动式设置，在需要整体拆卸传送装置及机械手装置时，较为方便；滑动座滑动至缓存区时，驱动件驱动架体升降，使吸盘将缓存区上的产品吸合，从而实现产品的转移。
本实用新型的进一步设置，所述驱动件为气缸。
通过采用上述技术方案，便于驱动吸盘升级以实现产品的输送。
本实用新型的目的二是提供一种物料传送系统，包括至少两个如上所述的具有缓存区的物料传送设备，相邻所述具有缓存区的物料传送设备的传送装置交错设置以形成供所述机械手装置将产品从一所述具有缓存区的物料传送设备输送至相邻所述具有缓存区的物料传送设备的缓存区的重叠区。
通过采用上述技术方案，因相邻两机台的传送装置形成有重叠区，所以相邻两机台的机械手装置可到达重叠区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。
本实用新型的进一步设置，相邻所述具有缓存区的物料传送设备的传送装置为上下错开或前后错开。
通过采用上述技术方案，可以灵活设置相邻传送装置错开的方式，从而组线更为灵活。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
1、因每个机台的传送装置延伸出机台自身至少一个缓存区的长度，所以相邻机台的机械手装置可到达前一机台的缓存区，从而实现将一机台上缓存区的产品输送至相邻机台上，在不对原有机台进行过大改造的情况下，实现多个机台的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本；
2、相邻轨道可以为上下错开或前后错开，可以灵活设置相邻轨道错开的方式，从而组线更为灵活。
附图说明
图1是实施例1中物料传送系统的结构示意图；
图2是实施例1中具有缓存区的物料传送设备的结构示意图；
图3是实施例1中传送装置延伸出机台的示意图；
图4是实施例1中相邻两机台上的传送装置之间的连接关系示意图；
图5是实施例1中传送装置和机械手装置的连接关系示意图；
图6是实施例2中相邻两机台上的传送装置之间的连接关系示意图（机械手装置活动前）；
图7是实施例2中相邻两机台上的传送装置之间的连接关系示意图（机械手装置活动后）；
图8是实施例2中传送装置和机械手装置的连接关系示意图。
附图标记：1、机台；2、传送装置；21、轨道；22、输送机构；221、主动轮；222、从动轮；223、传送带；3、缓存区；4、机械手装置；41、滑动座；42、架体；43、驱动件；44、吸盘；45、副轨道；46、副输送机构；5、重叠区；6、工作区。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
实施例1：一种物料传送系统，如图1所示，包括至少两个具有缓存区的物料传送设备，具有缓存区的物料传送设备可用于半导体领域的生产、加工或检测，也可应用于其它各领域中，可通过具有缓存区的物料传送设备的两两并线，实现将两个或者两个以上的具有缓存区的物料传送设备组装成物料传送系统，以实现生产、加工或检测各类产品。
如图2所示，具有缓存区的物料传送设备包括：机台1、设于机台1上的传送装置2及机械手装置4，机械手装置4滑动式设置于传送装置2上、受传送装置2驱动以输送产品。
机台1上设置有用于生产、加工或检测产品的工作区6，机台1上设有至少两个用于暂存产品的缓存区3，缓存区3设置于机台1靠近传送装置2的一侧或两侧，在本实施例中缓存区3设置为两个，缓存区3设置于机台1两侧且与工作区6处于传送装置2的同一侧，结合图3，传送装置2延伸出机台1至少一个缓存区3的长度，因每个机台1的传送装置2延伸出机台1自身至少一个缓存区3的长度，所以相邻机台1的机械手装置2可到达前一机台1的缓存区3，从而实现将一机台1上缓存区3的产品输送至相邻机台1上。
如图2和图4所示，相邻具有缓存区的物料传送设备的传送装置2交错设置以形成供机械手装置4将产品从一具有缓存区的物料传送设备输送至相邻具有缓存区的物料传送设备的缓存区3的重叠区5，因相邻两机台1的传送装置2形成有重叠区5，所以相邻两机台1的机械手装置4可到达重叠区5，从而实现将一机台1上缓存区3的产品输送至相邻机台1上。
相邻轨道21为上下错开或前后错开，在本实施中为前后错开，只需要改变机械手装置的臂长即可，从而可以灵活设置相邻轨道21错开的方式，从而组线更为灵活。
如图5所示，传送装置2包括：设于机台1上、沿机台1长度方向设置、供机械手装置4滑动的轨道21；以及，设于机台1上、用于驱动机械手装置4在轨道21上滑动的输送机构22，输送机构22可驱动机械手装置4在轨道21上移动，实现产品在机台1上的输送及向相邻机台1输送的工作。
输送机构22包括：设于轨道21上的主动轮221及多个从动轮222；用于驱动主动轮221转动的电机；以及，套设于主动轮221及从动轮222上与机械手装置4固定的传送带223，电机驱动主动轮221转动，从而带动传送带223移动，带动机械手装置4移动以实现产品的输送。
机械手装置4包括：滑动式设置于轨道21上、与传送带223固定的滑动座41；结合图1，设于滑动座41靠近缓存区3一端的架体42；设于滑动座41、用于驱动架体42升降的驱动件43，驱动件43为气缸；以及，多个设于架体42朝向缓存区3一面的吸盘44，传送带223移动带动滑动座41移动，滑动座41在轨道21上滑动至工作区6及缓存区3时，驱动件43驱动架体42升降，使吸盘44将工作区6及缓存区3上的产品吸合，从而实现产品的转移。
工作过程：靠近储料区的机台1上的机械手装置4将储料区的产品输送至缓存区3上，相邻机台1的机械手装置4将前一机台1的缓存区3上的产品输送至当前机台1的缓存区3上，然后后一机台1的机械手装置4再将前一机台1的缓存区3上的产品输送至当前机台1上，依次实现产品的输送；待每台机台1的缓存区3都暂存有产品时，靠近储料区的机台1上的机械手装置4将储料区的产品输送至工作区6，相邻机台1的机械手装置4将前一机台1的缓存区3上的产品输送至当前机台1的工作区6上，然后后一机台1的机械手装置4再将前一机台1的缓存区3上的产品输送至当前机台1的工作区6上，依次实现产品的输送；待产品的生产、加工或检测过程完成后，依次通过与上料过程同样的方式完成下料。
需要进行说明的是，每台具有缓存区的物料传送设备的机械手装置4都参与上下料的过程，可采用串联接力，即一具有缓存区的物料传送设备上的机械手装置4将产品输送至靠近相邻具有缓存区的物料传送设备的缓存区3时，然后相邻具有缓存区的物料传送设备的机械手装置4将前一具有缓存区的物料传送设备上的产品输送至当前具有缓存区的物料传送设备上，或采用每台具有缓存区的物料传送设备的机械手装置4同步的方式，即前一具有缓存区的物料传送设备上的产品通过机械手装置4输送至当前具有缓存区的物料传送设备上的同时，当前具有缓存区的物料传送设备上的机械手装置4将产品输送至下一具有缓存区的物料传送设备上，实现多个具有缓存区的物料传送设备上的产品的同步输送，或采用串联接力和多个机械手装置4同步组合的方式，在编写软件时，只需对多台具有缓存区的物料传送设备上的电机的驱动、气缸的控制做出时序上的调整。
具体原理阐述：在进行单个物料传送设备的改造时，机台1上设置至少两个用于暂存产品的缓存区3，当机械手装置4在传送装置2上滑动将产品输送至缓存区3时，因每个机台1的传送装置2延伸出机台1自身至少一个缓存区3的长度，在进行组线时，相邻两机台1的传送装置2形成有重叠区5，所以相邻两机台1的机械手装置4可到达重叠区5，从而实现将一机台1上缓存区3的产品输送至相邻机台1上，在不对原有机台1进行过大改造的情况下，实现多个具有缓存区的物料传送设备的组线，改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本。
实施例2：一种物料传送系统，与实施例1不同之处在于，如图6所示，机械手装置4包括：滑动式设置于轨道21上、与传送带223固定的副轨道45；滑动式设置于副轨道45上的滑动座41；设于副轨道45上、用于驱动滑动座41在副轨道45上滑动的副输送机构46；设于滑动座41靠近缓存区3一端的架体42；设于滑动座41、用于驱动架体42升降的驱动件43；以及，多个设于架体42朝向缓存区3一面的吸盘44。
副输送机构46采用如施例1中输送机构22同样的结构，结合图7和图8，传送装置2可延伸出机台1至少一个缓存区3的长度，传送带223移动带动副轨道45移动，实现调节滑动座41及吸盘44的位置，可使副轨道45延伸出机台1至少一个缓存区3的长度，也可使副轨道45收缩至机台1内，副输送机构46驱动滑动座41移动，也能实现调节吸盘44的位置；由于副轨道45为滑动式设置，在需要整体拆卸传送装置2及机械手装置4时，较为方便；滑动座41滑动至缓存区3时，驱动件43驱动架体42升降，使吸盘44将缓存区3上的产品吸合，从而实现产品的转移。
本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。