储架模块的制作方法

本实用新型涉及一种储架模块，尤指用以收纳制造半导体元件用的基板的晶圆盒，并可减少自动搬运装置定位次数的储架模块。

背景技术：

在半导体的各项制程装置中，为了能够缩短处理时间以及提高处理量，以及缩短处理时间等目的，会在制程装置内尽可能保管更多收纳基板的晶圆盒(frontopeningunifiedpod，foup)，利用制程装置中所设置的搬运装置(机械手臂)，将保管的晶圆盒移载进行处理，但目前保管晶圆盒的储存架，由于储存架上的储存位置无法精确的定位，因此储存架在使用前都必须一一的对各晶圆盒的储存位置进行定位，才能使搬运装置准确的存取储存位置上的晶圆盒。

是以，要如何能使储存架上的储存位置具有精准的间距，使搬运装置只需进行一次对位，即可精准的存取所有储存位置上的晶圆盒，即为此行业相关业这所即欲改善的课题所在。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的乃在于，将储架模块用以供晶圆盒放置的支撑板，以固定间隔方式设置，俾使搬运装置仅须对其中之一支撑板的位置进行定位，即可准确的对各支撑板进行晶圆盒取放。

为达上述目的，本实用新型提供一种储架模块，用以收纳制造半导体元件用的基板的晶圆盒，其特征在于：该储架模块由背架、复数个支撑杆以及复数个支撑板所构成，其中：

该背架由复数个立杆与复数个横杆所构成，该复数个立杆并排竖立设置，横杆连接于两相邻的立杆之间，进而固定两相邻的立杆之间距离，且各立杆上设置有非圆形的定位孔；

该支撑杆具有支撑部以及支撑部一侧所凸设的定位部，定位部外缘形状相同于前述背架的定位孔，各支撑杆的定位部分别定位于各背架的定位孔内，使支撑杆形成横向并排间隔状；

该支撑板具有连接部以及连接部两侧同向延伸的抵靠部，各支撑板的抵靠部分别定位于前述两相邻支撑杆的支撑部表面。

其中：该背架设置有复数个定位片，定位片具有基部以及基部侧方所延伸的延伸部，各定位片的基部以固定元件固定于立杆，使延伸部位于相邻于该立杆的横杆端部，并以固定元件将延伸部固定于该横杆。

其中：该支撑板的连接部与抵靠部之间外侧设置有缺槽，使立杆位于缺槽处，让连接部进入于两相邻的立杆之间。

凭借上述结构，各支撑板的位置即会相距一定距离，搬运装置只需针对部分支撑板进行定位后，即可依据该相距的距离得知所有支撑板的确定位置，进而可对所有支撑板进行晶圆盒存放。

附图说明

图1是本实用新型的立体外观图。

图2是本实用新型背架的正视图。

图3是本实用新型支撑杆组合于背架的示意图。

图4是本实用新型支撑杆与背架组合后的立体外观图。

图5是本实用新型支撑板组合于支撑杆的示意图。

附图标记说明：1-背架；11-立杆；111-定位孔；12-横杆；13-定位片；131-基部；132-延伸部；2-支撑杆；21-支撑部；22-定位部；3-支撑板；31-连接部；32-抵靠部；33-缺槽。

具体实施方式

请参阅图1至图5所示，由图中可清楚看出，本实用新型设置有背架1、复数个支撑杆2以及复数个支撑板3，其中：

该背架1由复数个立杆11、复数个横杆12以及复数个定位片13，该立杆11上设置有非圆形的定位孔111，定位片13具有基部131以及基部131侧方所延伸的延伸部132。

支撑杆2具有支撑部21以及支撑部21一侧所凸设的定位部22，定位部22外缘形状相同于前述背架1的定位孔111。

该支撑板3具有连接部31以及连接部31两侧同向延伸的抵靠部32，且连接部31与抵靠部32之间外侧设置有缺槽33，而支撑板3系用以提供晶圆盒放置。

请参阅图2所示，由图中可清楚看出，当本实用新型于组构时，系先组装背架1，将立杆11以并排竖立设置，并以横杆12连接于两相邻的立杆11之间，利用横杆12固定两相邻的立杆11之间距离，并将各定位片13的基部131与延伸部132，分别以固定元件(图中未示出)固定于立杆11以及相邻于该立杆11的横杆12端部，进而组装成背架。

请参阅图3与图4所示，由图中可清楚看出，背架1组装完成后，续将各支撑杆2的定位部22分别定位于各背架1的定位孔111内，并以固定元件(图中未示出)固定，使支撑杆2形成横向并排间隔状，由于立杆11之间隔距离受到横杆12所固定，因此两相邻支撑杆2之间的距离也会固定。

请参阅图5所示，由图中可清楚看出，支撑杆2组装于背架1后，续将各支撑板3的抵靠部32分别定位于前述两相邻支撑杆2的支撑部21表面，并使立杆11位于缺槽33处，让连接部31进入于两相邻的立杆11之间。

凭借上述结构，各支撑板3的位置即会相距一定距离，搬运装置只需针对部分支撑板3进行定位后，即可依据该相距的距离得知所有支撑板3的确定位置，进而可对所有支撑板3进行晶圆盒存放。

技术特征：

1.一种储架模块，用以收纳制造半导体元件用的基板的晶圆盒，其特征在于：该储架模块由背架、复数个支撑杆以及复数个支撑板所构成，其中：

该背架由复数个立杆与复数个横杆所构成，该复数个立杆并排竖立设置，横杆连接于两相邻的立杆之间，进而固定两相邻的立杆之间距离，且各立杆上设置有非圆形的定位孔；

该支撑杆具有支撑部以及支撑部一侧所凸设的定位部，定位部外缘形状相同于前述背架的定位孔，各支撑杆的定位部分别定位于各背架的定位孔内，使支撑杆形成横向并排间隔状；

该支撑板具有连接部以及连接部两侧同向延伸的抵靠部，各支撑板的抵靠部分别定位于前述两相邻支撑杆的支撑部表面。

2.如权利要求1所述的储架模块，其特征在于：该背架设置有复数个定位片，定位片具有基部以及基部侧方所延伸的延伸部，各定位片的基部以固定元件固定于立杆，使延伸部位于相邻于该立杆的横杆端部，并以固定元件将延伸部固定于该横杆。

3.如权利要求1所述的储架模块，其特征在于：该支撑板的连接部与抵靠部之间外侧设置有缺槽，使立杆位于缺槽处，让连接部进入于两相邻的立杆之间。

技术总结
本实用新型提供一种储架模块，由背架、复数个支撑杆以及复数个支撑板所构成，背架由复数个立杆与复数个横杆所构成，横杆连接于两相邻的立杆之间，进而固定两相邻的立杆之间距离，各支撑杆分别定位于各背架，使支撑杆形成横向并排间隔状，支撑板具有连接部以及连接部两侧同向延伸的抵靠部，各支撑板的抵靠部分别定位于前述两相邻支撑杆的支撑部表面，俾使搬运装置仅须对其中之一支撑板的位置进行定位，即可准确对各支撑板进行晶圆盒取放。

技术研发人员：简呈儒;黄瑞廷;宋孟樵;谢贵如
受保护的技术使用者：迅得机械(东莞)有限公司
技术研发日：2020.01.17
技术公布日：2020.10.23