一种硅片立式上料机构的制作方法

文档序号:24924942发布日期:2021-05-04 10:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片立式上料机构,通过架体(11)设置在水池上,其特征在于:包括一级上料机构(2)、二级上料机构(5)、硅片弹夹(1);

所述硅片弹夹(1)和一级上料机构(2)设置在水面以下,硅片弹夹(1)的硅片出口与一级上料机构(2)相邻;所述二级上料为轮状结构,与架体(11)转动连接,上部位于水面以上;

所述一级上料机构(2)竖直设置,位于轮状结构的切线方向,与架体固定连接;所述一级上料机构的上端部与二级上料机构(5)相邻;

所述一级上料机构(2)用于吸附硅片弹夹(1)中的硅片并上传至二级上料机构(5);所述二级上料机构(5)用于将硅片由竖直状态翻转成水平状态,进入下一工序的输送带。

2.根据权利要求1所述的一种硅片立式上料机构,其特征在于:所述一级上料机构(2)包括安装板(6)、吸水板(7);

所述安装板(6)为竖直设置的矩形体结构,与架体(11)固定连接;所述吸水板(7)固定在矩形体上部一侧靠近端部的位置;

所述吸水板(7)内部设有容置空间,外部靠近硅片的一侧设有若干吸水孔(701);所述吸水板(7)远离安装板(6)的一侧设有出水孔,出水孔通过管路与吸水泵连通;所述吸水孔(701)和出水孔均连通吸水板(7)内部的容置空间;

所述安装板(6)固定吸水板(7)的一面还设有若干安装孔,安装孔内对应设有转轴;所述转轴与安装孔转动连接,两端与架体(11)转动连接;所述转轴上固定设有若干滚轮(8),滚轮(8)与转轴固定连接;一个及以上的转轴端部对应设有用于驱动转轴转动的驱动电机。

3.根据权利要求2所述的一种硅片立式上料机构,其特征在于:所述二级上料机构主体为轮状结构,轮状结构中部周向设有环形凹槽,两侧轴向设有用于驱动其转动的驱动轴,驱动轴与架体(11)转动连接,驱动轴端部对应设有驱动电机;所述轮状结构的上半部位于水面以上。

4.根据权利要求3所述的一种硅片立式上料机构,其特征在于:所述硅片弹夹(1)和一级上料机构(2)之间还设有用于将成垛硅片进行间隔吹散的侧喷分片机构(4);所述侧喷分片机构(4)包括安装底板(13)和若干侧喷喷头(12);

所述安装底板(13)主体为圆矩形,中部上下两侧向外侧延伸形成固定板,固定板上设有固定用的螺钉孔;

所述安装底板(13)内部中空,靠近水池的一侧设有若干用于安装侧喷喷头(12)的安装孔,安装孔贯穿至安装底板的内部空间;所述安装底板(13)一侧设有贯穿至内部空间的进水口;所述进水口用于连接外部进水管路和水泵。

5.根据权利要求4所述的一种硅片立式上料机构,其特征在于:所述二级上料机构(5)的轮状结构的径向且与一级上料机构(2)垂直的面上设有压片机构(3);所述压片机构(3)与二级上料机构(5)之间留有缝隙;

所述压片机构(3)为圆柱状结构,轴心处设有转轴孔,转轴孔内对应设有安装轴;

包括用于固定安装轴的l型连接件;所述l型连接件两端分别设有安装孔;所述l型连接件一端与安装轴转动连接,另一端通过转轴孔与架体(11)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种硅片立式上料机构,其特征在于:所述压片机构(3)与二级上料机构(5)之间缝隙的大小与硅片的厚度对应。

7.根据权利要求1所述的一种硅片立式上料机构,其特征在于:所述架体(11)上还设有用于将硅片弹夹(1)内硅片推出的机械手。


技术总结
本实用新型提供了一种硅片立式上料机构,通过架体设置在水池上,包括一级上料机构、二级上料机构、硅片弹夹;所述硅片弹夹和一级上料机构设置在水面以下,硅片弹夹的硅片出口与一级上料机构相邻;所述二级上料为轮状结构,与架体转动连接,上部位于水面以上;所述一级上料机构竖直设置,位于轮状结构的切线方向,上端部与二级上料机构相邻;所述一级上料机构用于吸附硅片弹夹中的硅片并上传至二级上料机构;所述二级上料机构用于将硅片由竖直状态翻转成水平状态,进入下一工序的输送带。本实用新型所述的一种硅片立式上料机构,压片机构与一级上料机构和二级上料机构配合,可以很好的完成硅片的立式上料,上料效果更好。

技术研发人员:靳立辉;杨骅;耿名强;赵晓光;尹擎;杜晨朋
受保护的技术使用者:天津环博科技有限责任公司
技术研发日:2020.04.17
技术公布日:2021.05.04
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