一种芯片加工用多工位吸盘夹具的制作方法

[0001]
本实用新型属于芯片加工技术领域，具体涉及一种芯片加工用多工位吸盘夹具。


背景技术：

[0002]
目前芯片在生产的过程中，首先是在生产设备上对其进行加工，待芯片加工完成，则需要对其进行检测，待芯片完成检测，则需要对其进行检验，待芯片完成检验，则需要对其进行包装，最后进行成批的运输。因此，加工后的芯片需要在加工平台上进行工位的快速流动，以保证芯片加工的效率，然而目前通常是人工操作，不但容易对芯片造成损伤，而且操作的效率较低，费时费力，为了解决上述的问题，需要一种芯片加工用多工位吸盘夹具。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的在于提供一种芯片加工用多工位吸盘夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0004]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片加工用多工位吸盘夹具，包括纵向支撑板，所述纵向支撑板的左侧壁上焊接有加工平台，所述纵向支撑板的左侧壁上还焊接有内齿圈，所述内齿圈的内部设置有中心齿轮，所述中心齿轮的顶端固定连接有联动杆，所述联动杆的端部固定有从动齿，所述纵向支撑板的左侧壁上固定有电机，所述电机的输出端固定有主动齿，所述内齿圈的内壁啮合连接有行星齿轮，所述行星齿轮的内部固定连接有吸盘壳体，所述吸盘壳体的内壁顶端固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部伸缩端固定连接有真空盘，所述真空盘的底端中心处固定有吸嘴，所述真空盘的顶端左侧连接有波纹管，所述吸盘壳体的顶端固定有微型真空泵，所述微型真空泵左侧壁的抽气嘴上连接有真空管，所述真空管贯穿吸盘壳体，且延伸至吸盘壳体内与波纹管连接。
[0005]
此项设置用于通过电动伸缩杆推动真空盘，实现吸嘴与芯片上表面的接触，再通过微型真空泵与波纹管的配合使用，方便对真空盘内抽真空，达到吸嘴与芯片吸合连接的作用，再通过上述电机的作用，将吸嘴旋转移动至加工平台上的下一个工位上继续加工，达到多工位同时加工的效果。
[0006]
优选的，所述内齿圈的底端固定连接有行星齿轮限位挡圈，且行星齿轮的底端与行星齿轮限位挡圈的顶端接触。
[0007]
此项设置用于使行星齿轮绕旋转的中心齿轮为中心进行旋转，方便将吸盘壳体旋转移动至对应加工平台上侧的出料位置，提高了芯片加工的效率。
[0008]
优选的，所述纵向支撑板的右侧壁上固定有蓄电池组，且蓄电池组通过导线分别与电机、电动伸缩杆和微型真空泵电性连接。
[0009]
优选的，所述内齿圈内呈环形等距的形式设置有四个行星齿轮，且四个行星齿轮啮合连接在内齿圈与中心齿轮之间。
[0010]
此项设置用于实现芯片对工位位移的效果。
[0011]
优选的，所述从动齿与主动齿均为锥型齿轮，且从动齿与主动齿为相互啮合传动
连接。
[0012]
优选的，所述吸盘壳体的形状为圆柱体，所述真空盘为嵌入在吸盘壳体底端内部，且真空盘的直径与吸盘壳体的内径相等。
[0013]
本实用新型的技术效果和优点：该芯片加工用多工位吸盘夹具，
[0014]
1、通过电机带动主动齿旋转的同时，实现啮合连接的从动齿通过联动杆带动中心齿轮旋转的效果，此刻行星齿轮绕旋转的中心齿轮为中心进行旋转，方便将吸盘壳体旋转移动至对应加工平台上侧的出料位置，提高了芯片加工的效率；
[0015]
2、通过电动伸缩杆推动真空盘，实现吸嘴与芯片上表面的接触，再通过微型真空泵与波纹管的配合使用，方便对真空盘内抽真空，达到吸嘴与芯片吸合连接的作用，再通过上述电机的作用，将吸嘴旋转移动至加工平台上的下一个工位上继续加工，达到多工位同时加工的效果。
附图说明
[0016]
图1为本实用新型的结构示意图；
[0017]
图2为本实用新型行星齿轮的连接示意图；
[0018]
图3为本实用新型吸盘壳体的结构剖视图。
[0019]
图中：1、纵向支撑板；2、加工平台；3、内齿圈；4、中心齿轮；5、联动杆；6、从动齿；7、电机；8、主动齿；9、行星齿轮；10、吸盘壳体；11、电动伸缩杆；12、真空盘；13、吸嘴；14、波纹管；15、微型真空泵；16、真空管；17、行星齿轮限位挡圈；18、蓄电池组。
具体实施方式
[0020]
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0021]
本实用新型提供了如图1-3所示的一种芯片加工用多工位吸盘夹具，包括纵向支撑板1，所述纵向支撑板1的左侧壁上焊接有加工平台2，具体的，所述纵向支撑板1的右侧壁上固定有蓄电池组18，且蓄电池组18通过导线分别与电机7、电动伸缩杆11和微型真空泵15电性连接，所述纵向支撑板1的左侧壁上还焊接有内齿圈3，具体的，所述内齿圈3的底端固定连接有行星齿轮限位挡圈17，且行星齿轮9的底端与行星齿轮限位挡圈17的顶端接触，所述内齿圈3的内部设置有中心齿轮4，所述中心齿轮4的顶端固定连接有联动杆5，所述联动杆5的端部固定有从动齿6，所述纵向支撑板1的左侧壁上固定有电机7，所述电机7的输出端固定有主动齿8，具体的，所述从动齿6与主动齿8均为锥型齿轮，且从动齿6与主动齿8为相互啮合传动连接，所述内齿圈3的内壁啮合连接有行星齿轮9，具体的，所述内齿圈3内呈环形等距的形式设置有四个行星齿轮9，且四个行星齿轮9啮合连接在内齿圈3与中心齿轮4之间，所述行星齿轮9的内部固定连接有吸盘壳体10，通过电机7带动主动齿8旋转的同时，实现啮合连接的从动齿6通过联动杆5带动中心齿轮4旋转的效果，此刻行星齿轮9绕旋转的中心齿轮4为中心进行旋转，方便将吸盘壳体10旋转移动至对应加工平台2上侧的出料位置，提高了芯片加工的效率；
[0022]
所述吸盘壳体10的内壁顶端固定有电动伸缩杆11，所述电动伸缩杆11的底部伸缩端固定连接有真空盘12，具体的，所述吸盘壳体10的形状为圆柱体，所述真空盘12为嵌入在吸盘壳体10底端内部，且真空盘12的直径与吸盘壳体10的内径相等，所述真空盘12的底端中心处固定有吸嘴13，所述真空盘12的顶端左侧连接有波纹管14，所述吸盘壳体10的顶端固定有微型真空泵15，所述微型真空泵15左侧壁的抽气嘴上连接有真空管16，所述真空管16贯穿吸盘壳体10，且延伸至吸盘壳体10内与波纹管14连接，通过电动伸缩杆11推动真空盘12，实现吸嘴13与芯片上表面的接触，再通过微型真空泵15与波纹管14的配合使用，方便对真空盘12内抽真空，达到吸嘴13与芯片吸合连接的作用，再通过上述电机7的作用，将吸嘴13旋转移动至加工平台2上的下一个工位上继续加工，达到多工位同时加工的效果。
[0023]
该芯片加工用多工位吸盘夹具，在使用时，通过电机7带动主动齿8旋转的同时，实现啮合连接的从动齿6通过联动杆5带动中心齿轮4旋转的效果，此刻行星齿轮9绕旋转的中心齿轮4为中心进行旋转，方便将吸盘壳体10旋转移动至对应加工平台2上侧的出料位置，提高了芯片加工的效率；通过电动伸缩杆11推动真空盘12，实现吸嘴13与芯片上表面的接触，再通过
[0024]
微型真空泵15与波纹管14的配合使用，方便对真空盘12内抽真空，达到吸嘴13与芯片吸合连接的作用，再通过上述电机7的作用，将吸嘴13旋转移动至加工平台2上的下一个工位上继续加工，达到多工位同时加工的效果。
[0025]
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。