一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的制作方法

1.本实用新型实施例涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置。


背景技术：

2.真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。现有的镀膜设备中，对于镀膜基板在各个工序中的输送都是通过人工进行的，该种搬运方式极大的增加了镀膜基板在运输过程中受到污染的几率，且人工搬运效率低下，使得整个镀膜流水作业拖沓，极大的影响了企业的镀膜效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型提供了一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置，包括机架、自动上下料机构及依次设置于机架上的上料运输机构、撕膜输送机构、除尘运输机构、贴膜运输机构、缓存运输机构、撕保护膜运输机构、下料运输机构；所述上料运输机构及下料运输机构分别与自动上下料机构连接。
5.进一步地，所述机架呈凹字形且所述自动上下料机构设置于所述凹字形的敞口端处；所述自动上下料机构包括自动上下料基座、装设于自动上下料基座上的三维移动机械手及装设于三维移动机械手上的夹料组件，所述夹料组件包括与三维移动机械手连接的夹料基板、装设于夹料基板上的夹料杆及分别装设于夹料杆两侧的定位仿形块和夹料动力件，所述夹料动力件装设有固定块。
6.进一步地，所述上料运输机构包括装设于机架上的上料输送基座、装设于上料输送基座上且用于输送镀膜设备基板的上料输送带、装设于上料输送带两端的上料输送轮及用于带动上料输送轮转动的上料输送动力件；所述上料运输机构还包括上料定位组件，所述上料定位组件包括装设于上料输送基座上一侧的上料定位基座、装设于上料定位基座上的上料定位动力件及装设于上料定位动力件输出端的上料定位仿形块。
7.进一步地，所述撕膜输送机构包括装设于机架上的撕膜输送基座、装设于撕膜输送基座上且用于输送镀膜设备基板的撕膜输送带、装设于撕膜输送带两端的撕膜输送轮及用于带动撕膜输送轮转动的撕膜输送动力件。
8.进一步地，所述除尘运输机构包括装设于机架上的除尘输送基座、装设于除尘输送基座上且用于输送镀膜设备基板的除尘输送带、装设于除尘输送带两端的除尘输送轮及用于带动除尘输送轮转动的除尘输送动力件。
9.进一步地，所述贴膜运输机构包括依次连接的第一贴膜输送组件、第二贴膜输送组件及第三贴膜输送组件，所述第二贴膜输送组件装设于所述机架的凹字形底端中部；所
述第一贴膜输送组件包括第一竖向输送组件和第一竖向输送组件连接的第一横向输送组件；所述第一竖向输送组件包括装设于机架上的第一竖向输送基座、装设于第一竖向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第一竖向输送带、装设于第一竖向输送带两端的第一竖向输送轮及用于带动第一竖向输送轮转动的第一竖向输送动力件，所述第一横向输送组件包括装设于机架上的第一横向输送基座、装设于第一横向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第一横向输送带、装设于第一横向输送带两端的第一横向输送轮及用于带动第一横向输送轮转动的第一横向输送动力件；所述第二贴膜输送组件包括第二横向输送组件，所述第二横向输送组件包括装设于机架上的第二横向输送基座、装设于第二横向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第二横向输送带、装设于第二横向输送带两端的第二横向输送轮及用于带动第二横向输送轮转动的第二横向输送动力件；所述第三贴膜输送组件包括第三横向输送组件及与第三横向输送组件连接的第二竖向输送组件，所述第三横向输送组件包括装设于机架上的第三横向输送基座、装设于第三横向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第三横向输送带、装设于第三横向输送带两端的第三横向输送轮及用于带动第三横向输送轮转动的第三横向输送动力件；所述第二竖向输送组件包括装设于机架上的第二竖向输送基座、装设于第二竖向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第二竖向输送带、装设于第二竖向输送带两端的第二竖向输送轮及用于带动第二竖向输送轮转动的第二竖向输送动力件。
10.进一步地，所述缓存运输机构包括装设于机架上的缓存输送基座、装设于缓存输送基座上且用于输送镀膜设备基板的缓存输送带、装设于缓存输送带两端的缓存输送轮及用于带动缓存输送轮转动的缓存输送动力件。
11.进一步地，所述撕保护膜运输机构包括装设于机架上的撕保护膜输送基座、装设于撕保护膜输送基座上且用于输送镀膜设备基板的撕保护膜输送带、装设于撕保护膜输送带两端的撕保护膜输送轮及用于带动撕保护膜输送轮转动的撕保护膜输送动力件。
12.进一步地，所述下料运输机构包括装设于机架上的下料输送基座、装设于下料输送基座上且用于输送镀膜设备基板的下料输送带、装设于下料输送带两端的下料输送轮及用于带动下料输送轮转动的下料输送动力件；所述下料运输机构还包括下料定位组件，所述下料定位组件包括装设于下料输送基座上的下料定位基座、装设于下料定位基座上的下料定位动力件及装设于下料定位动力件输出端的下料定位仿形块。
13.进一步地，所述镀膜设备基板自动化取放流水线装置还包括控制机构及与控制机构连接的视觉机构；所述视觉机构包括装设于三维移动机械手上的摄像头。
14.本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过所述自动上下料机构将基板夹取到上料运输机构上，由所述上料运输机构输送至所述撕膜输送机构上进行撕膜操作，撕膜后再由所述撕膜输送机构输送到除尘运输机构上进行除尘操作，再由除尘运输机构输送到贴膜运输机构上进行贴膜操作，再由贴膜运输机构输送到缓存运输机构，并由缓存运输机构将基板输送至撕保护膜运输机构上进行撕保护膜操作，再由撕保护膜运输机构将基板输送到下料运输机构上，最终由所述自动上下料机构将基板夹取实现下料操作，从而实现镀膜设备中对基板的全自动输送。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的一个立体图。
16.图2为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置去掉自动上下料机构及安全防护网的一个立体图。
17.图3为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的自动上下料机构的一个立体图。
18.图4为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的加料组件的一个立体图。
19.图5为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的定位仿形块的一个立体图。
20.图6为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的夹料动力件的一个立体图。
21.图7为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的上料运输机构的一个立体图。
22.图8为图7的a部分的放大图
23.图9为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的撕膜输送机构的一个立体图。
24.图10为为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的除尘运输机构的一个立体图。
25.图11为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的第一贴膜输送组件的一个立体图。
26.图12为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的第二贴膜输送组件的一个立体图。
27.图13为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的第三贴膜输送组件的一个立体图。
28.图14为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的缓存运输机构的一个立体图
29.图15为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的撕保护膜运输机构的一个立体图。
30.图16为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的下料运输机构的一个立体图。
31.图17为图16的b部分的放大图。
32.图18为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的安全防护网的一个立体图。
33.图19为本实用新型提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的基板的一个立体图。
具体实施方式
34.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
35.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
36.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
38.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
39.下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
40.如图1~图19所示，本实用新型提供了一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置，包括机架1、自动上下料机构2及依次设置于机架1上的上料运输机构、撕膜输送机构4、除尘运输机构、贴膜运输机构、缓存运输机构、撕保护膜运输机构、下料运输机构；所述上料运输机构及下料运输机构分别与自动上下料机构2连接。
41.本实施例中，通过所述自动上下料机构2将基板夹取到上料运输机构上，由所述上料运输机构输送至所述撕膜输送机构4上进行撕膜操作，撕膜后再由所述撕膜输送机构4输送到除尘运输机构上进行除尘操作，再由除尘运输机构输送到贴膜运输机构上进行贴膜操作，再由贴膜运输机构输送到缓存运输机构，并由缓存运输机构将基板输送至撕保护膜运输机构上进行撕保护膜操作，再由撕保护膜运输机构将基板输送到下料运输机构上，最终由所述自动上下料机构2将基板夹取实现下料操作，从而实现镀膜设备中对基板的全自动输送。
42.在一个具体实施例中，所述机架1呈凹字形且所述自动上下料机构2设置于所述凹字形的敞口端处；从而所述自动上下料能够处于所述上料运输机构及所述下料运输机构的
两侧，方便所述自动上下料运输机构对基板进行抓取上料及下料，实现一台自动上下料机构2实现上料及下料两个操作；所述自动上下料机构2包括自动上下料基座21、装设于自动上下料基座21上的三维移动机械手22及装设于三维移动机械手22上的夹料组件，所述夹料组件包括与三维移动机械手22连接的夹料基板231、装设于夹料基板231上的夹料杆232及分别装设于夹料杆232两侧的定位仿形块234和夹料动力件，所述夹料动力件装设有固定块2331；本实施例中，所述三维移动机械手22可以实现所述夹料组件在所述上料运输机构及所述下料运输机构之间精准移动，在需要对基板进行夹取时，所述三维移动机械手22驱动所述夹料基板231带动所述夹料杆232移动，使得所述夹料杆232上定位仿形块234插入到基板一侧的定位孔131上，接着所述夹料杆232另一端上的加料动力件233驱动所述固定块2331夹紧基板的另一侧，从而在所述定位仿形块234与所述固定块2331的配合下，实现基板的抓取，具体的，所述夹料杆232在远离所述定位仿形块234的一端设有辅助定位块235，所述定位仿形块234上设有与基板的定位孔131搭配使用的定位柱2341，所述辅助定位块235设有与基板上的辅助定位孔132搭配使用的辅助定位柱2351，所述固定块2331呈l形，所述固定块2331上的长臂与所述夹料动力件233的输出端相连，当要夹取基板时，所述夹料杆232带动所述定位仿形块234及所述辅助定位块235移动到基板的两侧，使得所述定位仿形块234上的所述定位柱2341插入到基板上的所述定位孔131内，且所述辅助定位块235上的所述辅助定位柱2351插入到所述基板上的辅助定位孔132内，接着所述夹料动力件233驱动所述固定块2331收缩，使得所述固定块2331的短臂作用在基板远离所述定位块13234的一侧侧面，从而配合所述定位仿形块234将基板夹取起来。
43.在一个具体实施例中，所述上料运输机构3包括装设于机架1上的上料输送基座31、装设于上料输送基座31上且用于输送镀膜设备基板的上料输送带32、装设于上料输送带32两端的上料输送轮33及用于带动上料输送轮33转动的上料输送动力件；所述上料运输机构3还包括上料定位组件，所述上料定位组件包括装设于上料输送基座31上一侧的上料定位基座341、装设于上料定位基座341上的上料定位动力件342及装设于上料定位动力件342输出端的上料定位仿形块343；本实施例中，在所述自动上下料机构2将基板夹取到所述上料输送带32上后，所述上料定位动力件342驱动所述上料定位仿形块343伸出与基板的侧面接触，起到将基板对齐作用，从而实现对基板的定位，防止基板在输送的过程中发生偏离，从而使得基板能够平稳的通过安全防护网11，具体运输时，所述上料输送动力件驱动所述上料输送轮33转动，从而驱动所述上料输送带32运转，使得所述上料输送带32上的基板能够跟随着所述上料输送带32移动。
44.在一个具体实施例中，所述撕膜输送机构4包括装设于机架1上的撕膜输送基座41、装设于撕膜输送基座41上且用于输送镀膜设备基板的撕膜输送带42、装设于撕膜输送带42两端的撕膜输送轮43及用于带动撕膜输送轮43转动的撕膜输送动力件；本实施例中，当基板从所述上料运输机构3输送到所述撕膜输送机构4上时，作业人员将基板从所述撕膜输送机构4上取下，进行撕膜操作，之后继续由所述撕膜输送机构4输送到下个工序输送机构，具体输送时，所述撕膜输送动力件驱动所述撕膜输送轮43转动，使得所述撕膜输送带42运转，从而带动所述撕膜输送带42上的基板移动，达到输送基板的作用。
45.在一个具体实施例中，所述除尘运输机构5包括装设于机架1上的除尘输送基座51、装设于除尘输送基座51上且用于输送镀膜设备基板的除尘输送带52、装设于除尘输送
带52两端的除尘输送轮53及用于带动除尘输送轮53转动的除尘输送动力件；本实施例中，当作业人员对输送到除尘运输机构5进行除尘操作后，由所述除尘运输机构5对基板输送到下个工序输送机构，具体输送时，所述除尘输送动力件驱动所述除尘输送轮53运转，使得所述除尘输送轮53上的除尘输送带52运转，进而带动所述除尘输送带52上的基板移动，达到输送基板的作用。
46.在一个具体实施例中，所述贴膜运输机构6包括依次连接的第一贴膜输送组件、第二贴膜输送组件及第三贴膜输送组件，所述第二贴膜输送组件装设于所述机架1的凹字形底端中部；通过设置有第一贴膜输送组件、第二贴膜输送组件及第三贴膜输送组件，从而可以在贴膜操作流程中，使用3个作业人员轮流进行，基板在3个贴膜输送组件上运转，从而提高贴膜效率；所述第二贴膜输送组件位于所述机架1的凹字形底端中部，起到将基板输送到第三贴膜输送组件上，承载起将基板从凹字形的一边侧壁输送到凹字形的另一边侧壁的转运作用。
47.进一步地，所述第一贴膜输送组件包括第一竖向输送组件61和第一竖向输送组件61连接的第一横向输送组件62；所述第一竖向输送组件61用于承接所述除尘运输机构5输送下来的基板，所述第一横向输送组件62用于承接所述第一竖向输送组件61输送过来的基板，并将基板输送到第二贴膜输送组件上，从而实现对基板从竖向输送转换成横向输送，从而符合凹字形的作业操作流程，节省了输送空间。
48.进一步地，所述第一竖向输送组件61包括装设于机架1上的第一竖向输送基座611、装设于第一竖向输送基座611上且用于输送镀膜设备基板的第一竖向输送带612、装设于第一竖向输送带612两端的第一竖向输送轮613及用于带动第一竖向输送轮613转动的第一竖向输送动力件，所述第一横向输送组件62包括装设于机架1上的第一横向输送基座621、装设于第一横向输送基座621上且用于输送镀膜设备基板的第一横向输送带622、装设于第一横向输送带622两端的第一横向输送轮623及用于带动第一横向输送轮623转动的第一横向输送动力件；具体的，基板从所述除尘运输机构5输送到所述第一竖向输送组件61上，此时所述第一竖向输送动力件驱动所述第一竖向输送轮613转动，从而实现基板的竖向输送，将基板输送到与所述第一竖向输送带612相垂直设置的第一横向输送带622上，由所述第一横向输送动力件驱动所述第一横向输送轮623转动，从而实现基板在所述第一横向输送带622上定向移动，将基板输送到第二贴膜输送组件上。
49.进一步地，所述第二贴膜输送组件包括第二横向输送组件63，所述第二横向输送组件63包括装设于机架1上的第二横向输送基座631、装设于第二横向输送基座631上且用于输送镀膜设备基板的第二横向输送带632、装设于第二横向输送带632两端的第二横向输送轮633及用于带动第二横向输送轮633转动的第二横向输送动力件；具体的，基板从所述第一横向输送组件62上输送到所述第二横向输送带632上，此时所述第二横向输送动力件驱动所述第二横向输送轮633运转，从而实现所述第二横向输送带632运转，从而带动基板移动，将基板输送到所述第三贴膜输送组件上。
50.进一步地，所述第三贴膜输送组件包括第三横向输送组件64及与第三横向输送组件64连接的第二竖向输送组件65，所述第三横向输送组件64包括装设于机架1上的第三横向输送基座641、装设于第三横向输送基座641上且用于输送镀膜设备基板的第三横向输送带642、装设于第三横向输送带642两端的第三横向输送轮643及用于带动第三横向输送轮
643转动的第三横向输送动力件；所述第二竖向输送组件65包括装设于机架1上的第二竖向输送基座651、装设于第二竖向输送基座651上且用于输送镀膜设备基板的第二竖向输送带652、装设于第二竖向输送带652两端的第二竖向输送轮653及用于带动第二竖向输送轮653转动的第二竖向输送动力件；具体运输中，所述第三横向输送动力件驱动所述第三横向输送轮643转动，从而实现所述第三横向输送带642运转，从而将基板输送到与所述第三横向输送带642相垂直设置的第二竖向输送带652上，从而实现运输方向的转换，使得基板从凹字形的中间部分输送到凹字形的侧壁上，由所述第二竖向输送动力件驱动所述第二竖向输送轮653转动，从而带动所述第二竖向输送带652运转，以实现将基板输送到所述缓存运输机构7上。
51.在一个具体实施例中，所述缓存运输机构7包括装设于机架1上的缓存输送基座71、装设于缓存输送基座71上且用于输送镀膜设备基板的缓存输送带72、装设于缓存输送带72两端的缓存输送轮73及用于带动缓存输送轮73转动的缓存输送动力件；所述缓存运输机构7用于起到暂时缓存基板的作用，以基板在缓存运输机构7上输送的时机来确保整个流水作业的时间可控性，具体的，所述缓存输送动力件驱动所述缓存输送轮73转动，从而带动所述缓存输送带72运转，进而带动基板移动。
52.在一个具体实施例中，所述撕保护膜运输机构8包括装设于机架1上的撕保护膜输送基座81、装设于撕保护膜输送基座81上且用于输送镀膜设备基板的撕保护膜输送带82、装设于撕保护膜输送带82两端的撕保护膜输送轮83及用于带动撕保护膜输送轮83转动的撕保护膜输送动力件；本实施例中，当作业人员在所述贴膜运输机构6上将基板贴完膜后，基板有贴膜运输机构6输送到所述撕保护膜运输机构8上，由作业人员对基板进行撕保护膜，撕完保护膜后，作业人员启动所述撕保护膜运输机构8，此时所述撕保护膜输送动力件驱动所述撕保护膜输送轮83转动，从而实现所述撕保护膜输送带82运转，进而达到将基板输送到下一作业输送机构上。
53.在一个具体实施例中，所述下料运输机构9包括装设于机架1上的下料输送基座91、装设于下料输送基座91上且用于输送镀膜设备基板的下料输送带92、装设于下料输送带92两端的下料输送轮93及用于带动下料输送轮93转动的下料输送动力件；所述下料运输机构9还包括下料定位组件，所述下料定位组件包括装设于下料输送基座91上的下料定位基座941、装设于下料定位基座941上的下料定位动力件942及装设于下料定位动力件942输出端的下料定位仿形块943；本实施例中，当作业人员将基板上的保护膜撕下后并由所述撕保护膜运输机构8运输到所述下料运输机构9上时，所述下料定位动力件942驱动所述下料定位仿形块943伸出与基板的侧面接触，起到将基板对齐作用，防止在输送过程中发生偏移，并由所述下料输送动力件驱动所述下料输送轮93运转，从而实现所述下料输送带92运转，以达到对基板的输送，使得所述自动上下料机构2能够对基板进行抓取下料。
54.在一个具体实施例中，所述镀膜设备基板自动化取放流水线装置还包括控制机构12及与控制机构12连接的视觉机构；所述视觉机构包括装设于三维移动机械手22上的摄像头10，所述控制机构12用于控制各输送机构的开启或关闭，所述视觉机构用于对基板进行视觉检测。
55.在一个具体实施例中，所述镀膜基板自动化取放流水线装置还包括与所述上料运输机构3及所述下料运输机构9相连的安全防护网11，所述安全防护网11上设有用于供基板
穿出所述上料运输机构3的第一输送开口111，及设有用于供基板从所述撕保护膜运输机构8穿入到所述下料运输机构9的第二输送开口112。
56.在一个可选实施例中，所有动力件均可采用电机。
57.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“一个实施例”、“一些实施例”、“在一个可选实施例中”、“具体地”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
58.以上内容是结合具体的实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换。