一种等离子处理基板的台车输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及等离子体处理设备技术领域，特别涉及一种等离子处理基板的台车输送装置。


背景技术：

2.使用等离子体对基板进行表面和孔内进行处理是一种广泛的基板生产工艺。目前的等离子体处理设备多为单个腔体同时进行多片基板处理的架构，往往需要人力将需要处理的基板从台车上送入等离子处理系统中进行加工处理，而且当等离子体处理设备打开腔门时，装有基板的台车与等离子真空处理腔体有一定距离的空隙，这就给台车上单槽台车内的基板进入等离子真空处理腔体内加工处理增加难度。这种人工运送方式，需要工作人员比较多，基本要需要一个员工负责一台等离子真空处理腔体的材料运送工作，人工成本高，且工作效率低下。


技术实现要素：

3.为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子处理基板的台车输送装置，这种装置的优点是结构简单，成本低廉，操作简便，可以广泛地应用在等离子体对材料的处理领域。
4.本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子处理基板的台车输送装置，包括等离子处理腔体，在所述等离子处理腔体的前方设置台车输送区域，并在台车输送区域内设置台车，所述台车由车架和固定等离子处理基板的单槽台车组成，所述台车输送区域的上方设置有定位销抬升机构，对应单槽台车上方设有限制单槽台车相对位移的定位销，车架的上端面为转接板，在所述转接板上设有滑轨，滑轨上方设置有沿滑轨向等离子处理腔体方向滑动的过渡板，过渡板在车架上升后与等离子处理腔体的腔门底部处于同一水平面，单槽台车底部沿相对过渡板向等离子处理腔体滑动。
5.作为本实用新型的进一步改进，所述等离子处理基板的单槽台车内等间距固定15片等离子处理基板。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述等离子处理基板的单槽台车为上下固定结构。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述车架的底部设有车架升降机构，以及驱动台车输送等离子处理基板的升降机电机。
8.本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子处理基板的运送装置，通过自动控制系统将装有基板的台车送至等离子真空处理腔体门口时，等离子处理腔体打开腔门，自动将台车上单槽台车内的基板送入等离子处理腔体加工处理，这种运送装置方便实现全程输送基板自动化，即节省人工费又提高工作效率，同时由于设置了过渡板使得在基板推入等离子处理腔体时，避免因台车和等离子处理腔体之间的间隙导致基板掉落造成的损失。
附图说明
9.图1为本实用新型结构示意图；
10.图2为本实用新型运送结构示意图；
11.图中标示：1
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等离子真空处理腔体，2
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台车输送区域，3
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台车，4
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车架，5
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单槽台车，6
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定位销抬升机构，7
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转接板，8
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滑轨；9
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过渡板；10
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车架升降机构；11
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升降机电机。
具体实施方式
12.为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
13.如图1和2出示了本实用新型一种等离子处理基板的台车输送装置一种实施方式，一种等离子处理基板的台车输送装置，包括等离子处理腔体1，在所述等离子处理腔体1的前方设置台车输送区域2，并在台车输送区域2内设置台车3，所述台车3由车架4和固定等离子处理基板的单槽台车5组成，所述台车输送区域2的上方设置有定位销抬升机构6，对应单槽台车5上方设有限制单槽台车5相对位移的定位销，车架4的上端面为转接板7，在所述转接板7上设有滑轨8，滑轨8上方设置有沿滑轨向等离子处理腔体1方向滑动的过渡板9，过渡板9在车架4上升后与等离子处理腔体1的腔门底部处于同一水平面，单槽台车5底部沿相对过渡板9向等离子处理腔体1滑动。
14.所述等离子处理基板的单槽台车5内等间距固定15片等离子处理基板。
15.所述等离子处理基板的单槽台车5为上下固定结构。
16.所述车架4的底部设有车架升降机构10，以及驱动台车3输送等离子处理基板的升降机电机11。
17.本实施例的等离子处理基板的运送装置工作时：通过自动化传送机构将装有基板的台车3放置在等离子处理腔体1前的台车输送区域2内，当等离子处理腔体1的门打开时，定位销抬升机构6将单槽台车5上方的定位销抬升离开定位孔，先推动过渡板9与等离子处理腔体1的腔门连接，再将单槽台车5整体推入等离子处理腔体1内进行处理，实现整个等离子处理送料过程的自动化，同时避免因台车和等离子处理腔体之间存在间隙，而导致在单槽台车5推入等离子处理腔体1时掉落造成的产品损坏。


技术特征：
1.一种等离子处理基板的台车输送装置，包括等离子处理腔体(1)，在所述等离子处理腔体(1)的前方设置台车输送区域(2)，并在台车输送区域(2)内设置台车(3)，其特征在于：所述台车(3)由车架(4)和固定等离子处理基板的单槽台车(5)组成，所述台车输送区域(2)的上方设置有定位销抬升机构(6)，对应单槽台车(5)上方设有限制单槽台车(5)相对位移的定位销，车架(4)的上端面为转接板(7)，在所述转接板(7)上设有滑轨(8)，滑轨(8)上方设置有沿滑轨向等离子处理腔体(1)方向滑动的过渡板(9)，过渡板(9)在车架上升后与等离子处理腔体(1)的腔门底部处于同一水平面，单槽台车(5)底部沿相对过渡板(9)向等离子处理腔体(1)滑动。2.根据权利要求1所述的一种等离子处理基板的台车输送装置，其特征在于：所述等离子处理基板的单槽台车(5)内等间距固定15片等离子处理基板。3.根据权利要求1所述的一种等离子处理基板的台车输送装置，其特征在于：所述等离子处理基板的单槽台车(5)为上下固定结构。4.根据权利要求1所述的一种等离子处理基板的台车输送装置，其特征在于：所述车架(4)的底部设有车架升降机构(10)，以及驱动台车(3)输送等离子处理基板的升降机电机(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种等离子处理基板的台车输送装置，包括等离子处理腔体，等离子处理腔体的前方设置含有台车的台车输送区域，台车由车架和单槽台车组成，台车输送区域的上方设置有定位销抬升机构，单槽台车上方设有定位销，车架的上端面为转接板，转接板上设有滑轨，滑轨上方设置有过渡板，单槽台车底部沿相对过渡板向等离子处理腔体滑动，当装有基板的台车送至等离子真空处理腔体门口时，等离子处理腔体打开腔门，自动将台车上单槽台车内的基板送入等离子处理腔体加工处理，这种运送装置实现全程输送基板自动化，节省人工和提高效率，过渡板使得在基板推入等离子处理腔体时，避免因台车和等离子处理腔体之间的间隙导致基板掉落造成的损失。落造成的损失。落造成的损失。


技术研发人员：张明德 汤家云 刘庆峰 陈培峰 罗梁
受保护的技术使用者：扬州国兴技术有限公司
技术研发日：2021.03.30
技术公布日：2021/11/30