真空递送装置及真空递送系统的制作方法

1.本公开涉及真空传样技术领域，特别涉及一种真空递送装置和真空递送系统。


背景技术：

2.在真空、超高真空、表面科学、航空航天以及半导体等领域，需要各种设备之间进行配合完成实验或生产，但这些领域又对环境的真空度有一定的要求，因此往往会将设备之间通过真空互联系统连接起来。但由于设备体积较大，真空互联系统的之间的距离往往很长，在不同设备之间递送样品十分困难。
3.传统技术中往往采取能在真空管道内沿轨道滑动的传样装置来进行送样，传样装置的运行轨道必须设置在真空管道的下方。但在一些特殊的环境中，由于位置限制或配合设备的数量过多，真空管道只能进行延长，增加设备占地面积导致成本上升，且降低了真空管道的利用效率和传送效率。


技术实现要素：

4.本公开提供了一种真空递送装置，包括：主体；滑动组件，设置在所述主体上，用于使所述主体沿轨道滑动；传动组件，设置在所述主体上，用于接收驱动，以带动所述主体沿所述轨道滑动；以及至少一个载样组件，设置在所述主体上，所述载样组件包括至少一个载样架，所述载样架能够在与所述主体相对的反面上承载样品。
5.在一些实施例中，载样架能够在反面上和与反面相对的正面上承载样品。
6.在一些实施例中，载样架包括：载样凹陷或载样托，设置在所述载样架的反面或者所述载样架的正面和反面上，所述载样凹陷或载样托的形状与所述样品相匹配，以用于承载所述样品。
7.在一些实施例中，载样架包括：卡位结构，用于与所述载样凹陷或载样托配合，以将所述样品卡合在所述载样凹陷或载样托内。
8.在一些实施例中，卡位结构包括：设置在所述载样凹陷或载样托侧壁上的至少一个凸起；或设置在所述载样凹陷或载样托上方的卡合片。
9.在一些实施例中，所述载样架包括多个架体，每个所述架体包括所述载样凹陷或载样托的相应部分，所述多个架体共同承载所述样品。
10.在一些实施例中，所述载样架包括相对设置的第一架体和第二架体，所述第一架体包括第一圆弧状凹陷或载样托，所述第二架体包括与所述第一圆弧状凹陷或载样托相配合的第二圆弧状凹陷或载样托。
11.在一些实施例中，所述至少一个载样架包括横向排布和/或纵向堆叠的载样架阵列。
12.在一些实施例中，所述滑动组件包括：多个滑动轮，设置在所述主体上，所述传动组件包括：至少一个安装架，设置在所述主体上；以及至少一个传动磁体，设置在所述至少一个安装架上，用于接收驱动。
13.在一些实施例中，多个滑动轮包括至少一组偏心轮。
14.在一些实施例中，至少一个传动磁体包括：第一磁体，设置在所述安装架上；以及第二磁体，设置在所述安装架上，所述第一磁体与所述第二磁体用于接收驱动的极性相反。
15.本公开提供了一种真空递送系统，包括：真空管道，第一轨道，设置在真空管道内的上部；第二轨道，设置在真空管道内的下部，且与第一轨道相对设置；第一真空递送装置，设置在第一轨道上，第一真空递送装置为本公开中任意一项实施例的真空递送装置；第二真空递送装置，设置在第二轨道上，第二真空递送装置为本公开中任意一项实施例的真空递送装置。
16.在一些实施例中，第一真空递送装置的载样架用于在反面上承载样品，第二真空递送装置的载样架用于在正面上承载样品。
17.在一些实施例中，第一驱动装置，设置在真空管道上方，与第一真空递送装置的传动组件耦合，用于驱动第一真空递送装置沿第一轨道运动；第二驱动装置，设置在真空管道下方，与第二真空递送装置的传动组件耦合，用于驱动第二真空递送装置沿第二轨道运动。
18.根据本公开一些实施例的真空递送装置能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空递送装置能够解决常规技术中传样装置只能在正面上盛放样品，因此只适用于轨道设置在下部的真空轨道、受环境限制大、适用范围小、传输效率低等问题，能够实现适用范围广泛、受环境限制小、能够灵活配合各种系统、降低设备成本的技术效果。
19.根据本公开一些实施例的真空递送系统能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空递送系统能够解决常规技术中系统占地面积大、成本高、直线管道利用率低、传输效率低下等问题，能够实现系统结构紧凑、降低成本、提高直线管道利用率、提高传输效率的技术效果。
附图说明
20.为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1示出根据本公开一些实施例的真空递送装置在正面朝上的状态下的结构示意图；
22.图2示出根据本公开一些实施例的真空递送装置在反面朝上的状态下的结构示意图；
23.图3示出根据本公开一些实施例的载样架在正面朝上的状态下的结构示意图；
24.图4示出根据本公开一些实施例的载样架在反面朝上的状态下的结构示意图；
25.图5示出根据本公开另一些实施例的真空递送装置的结构示意图；
26.图6示出根据本公开一些实施例的真空递送系统的结构示意图；
27.图7示出根据本公开一些实施例的真空递送系统的侧视图。
28.在上述附图中，各附图标记分别表示：
29.100、100a、100b、500真空递送装置
30.10主体
31.20滑动组件
32.211、211a、211b、211c偏心轮
33.212、212a、212b、212c定心轮
34.30传动组件
35.31、31a、31b安装架
36.32传动磁体
37.321a、321b第一磁体
38.322a、322b第二磁体
39.40载样组件
40.41、541a、541b、541c载样架
41.411载样凹陷
42.411a第一圆弧状凹陷
43.411b第二圆弧状凹陷
44.4111、4111a、4111b分隔结构
45.412、412a、412b架体
46.200轨道
47.200a第一轨道
48.200b第二轨道
49.300样品
50.400真空管道
51.540载样架阵列
52.1000真空递送系统
具体实施方式
53.下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
54.在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
55.图1示出根据本公开一些实施例的真空递送装置100在正面朝上的状态下的结构示意图。图2示出根据本公开一些实施例的真空递送装置100在反面朝上的状态下的结构示意图。
56.如图1和图2所示，真空递送装置100可以包括：主体10、滑动组件20、传动组件30以及至少一个载样组件40。滑动组件20设置在主体10上，能够用于使主体10沿轨道200(如图7所示)滑动。传动组件30设置在主体10上，能够用于接收驱动以带动主体10沿轨道200滑动。至少一个载样组件40设置在主体10上。载样组件40可以包括至少一个载样架41。载样架41能够在与主体10相对的反面上承载样品。本领域技术人员可以理解，虽然图1和图2都仅仅示出一个载样组件40，但是真空递送装置100可以设置在主体10上的多个载样组件40，如排列或阵列设置在主题10上。
57.如图1和图2所示，在本公开的一些实施例中，载样架41能够在反面上和与反面相对的正面上承载样品。
58.本领域技术人员可以理解，本公开的实施例中所称的反向为图1、图2和图5中，沿y轴负方向的方向。因此，载样架41的反面是指靠近车体10的一面。图2是真空递送装置100在反面朝上的状态下的结构示意图。本公开的实施例中所称的正向为图1、图2和图5中，沿y轴正方向的方向。例如，载样架41的正面是指远离车体10的一面。图1和图5是真空递送装置100和500在正面朝上的状态下的结构示意图。
59.图3示出根据本公开一些实施例的载样架41在正面朝上的状态下的结构示意图。图4示出根据本公开一些实施例的载样架41在反面朝上的状态下的结构示意图。
60.如图3和图4所示，在本公开的一些实施例中，载样架41可以包括载样凹陷411，设置在载样架41的反面或者正面和反面上。载样凹陷411的形状与样品300(如图6所示)相匹配，以用于承载样品300。在一些实施例中，载样架41可以包括载样托，设置在载样架41的反面或者正面和反面上。载样托的形状与样品300(如图6所示)相匹配，以用于承载样品300。载样托可以包括托盘、托架、托板等等。
61.例如，如图3和图4所示，在本公开的一些实施例中，载样凹陷411内可以设置有分隔结构4111(例如，分隔结构4111a、4111b)。分隔结构4111(例如，分隔结构4111a、4111b)将载样凹陷411内分为两个凹槽，使得真空递送装置100在正置(正面朝上的情况下)或倒置(反面朝上的情况下)的情况下都能够承载样品300。
62.在本公开的一些实施例中，载样架41可以包括卡位结构(图中未示出)，能够用于与载样凹陷411或载样托配合，以将样品300卡合在载样凹陷411或载样托内。
63.在本公开的一些实施例中，卡位结构可以包括设置在载样凹陷411或载样托侧壁上的至少一个凸起(图中未示出)。卡位结构可以包括对称设置在载样凹陷411或载样托上的两个凸起，能够在样品300在载样凹陷411或载样托中时对样品300的位置进行限制，防止样品300在传样过程中发生掉落，节约成本且提高传样效率。
64.在本公开的另一些实施例中，位结构可以包括设置在载样凹陷411或载样托上方的卡合片(图中未示出)，卡合片通过旋转轴(图中未示出)固定在载样凹陷411或载样托上方，能够以旋转轴为中心与载样凹陷411或载样托相对转动。在递送样品过程中，卡合片旋转至样品300上方，能够对载样凹陷411或载样托中的样品300的位置进行限制，防止其掉落。
65.本领域技术人员可以理解，虽然图3和图4示例性地示出了载样架41以及载样凹陷411为分体式结构，但是载样架41以及载样凹陷411可以是一体式结构。此外，虽然图3和图4示例性地示出了载样架41包括载样凹陷411，但是载样架41可以包括载样托。
66.如图3和图4所示，在本公开的一些实施例中，载样架41包括多个架体412(例如，架体412a、412b)，每个架体412(例如，架体412a、412b)包括载样凹陷411的相应部分，多个架体412(例如，架体412a、412b)共同承载样品300。
67.如图3和图4所示，在本公开的一些实施例中，载样架41可以包括相对设置的第一架体412a和第二架体412b。第一架体412a可以包括第一圆弧状凹陷411a，第二架体412b可以包括与第一圆弧状411a凹陷相配合的第二圆弧状凹陷411b。第一架体412a的第一圆弧状凹陷411a和第二架体412b的第二圆弧状凹陷411b形成与样品300相配合的圆形或椭圆形凹陷，使得样品300能够正好嵌入其中，降低掉落风险，传样更加平稳。
68.本领域技术人员可以理解，虽然图1和图2中示出了相对设置的第一架体412a和第二架体412b，但这仅是示例性的，架体412的数量可以也可以大于两个。更进一步的，虽然图3和图4中示出的第一架体412a具有第一圆弧状凹陷411a，第二架体412b具有第二圆弧状凹陷411b，但这仅是示例性的，载样凹陷411的形状与样品300相匹配，也可以是矩形凹陷、多边形凹陷等。此外，第一架体412a的第一圆弧状凹陷411a和第二架体412b的第二圆弧状凹陷411b可以由第一圆弧状载样托和第二圆弧状载样托代替或与之组合。
69.图5示出根据本公开另一些实施例的真空递送装置500的结构示意图。
70.如图5所示，在本公开的另一些实施例中，载样组件的至少一个载样架541包括横向排布和/或纵向堆叠的载样架阵列540。
71.本领域技术人员可以理解，本公开的实施例中所述的横向为图1、图2和图5中的x方向，纵向为图1、图2和图5中的y方向。
72.如图5所示，载样架阵列540包括沿y方向依次堆叠的载样架541(例如，载样架541a、541b、541c)，能够同时搭载多个样品300，使得真空递送装置100的利用效率提高，从而提高实验或生产效率。载样架541可以采用根据本公开一些实施例中任一项所述的载样架，例如图1-4中的载样架41。
73.如图1和图2所示，在本公开的一些实施例中，滑动组件20可以包括多个滑动轮，设置在主体10上。传动组件30可以包括安装架31(例如，安装架31a、31b)和传动磁体32。安装架31(例如安装架31a、31b)设置在主体10上，传动磁体32设置在安装架31(例如安装架31a、31b)上，能够用于接收驱动。
74.如图1和图2所示，安装架31a、31b为c型安装架，固定在车体10的反面上，且位于车体10的两端。传动磁体32安装在安装架31a、31b上，能够接收驱动，从而带动车体10运动。
75.在本公开的一些实施例中，如图2所示，传动磁体32包括第一磁体321a、321b和第二磁体322a、322b。第一磁体321a和第二磁体322a设置在安装架31a上，类似地，第一磁体321b和第二磁体322b设置在安装架31b上。第一磁体321a、321b与第二磁体322a、322b用于接收驱动的极性相反。例如，如图2所示，第一磁体321a、321b和第二磁体322a、322b向上暴露的磁极用于接收驱动，分别为n极和s极。这种异性磁极的组合能够使传动更加稳定。
76.本领域技术人员可以理解，虽然图1和图2示出的安装架31a、31b上安装有第一磁体321a、321b和第二磁体322a、322b，但是安装架31a或安装架31b也可以分别安装有极性相同的一个或多个磁体，而且安装在安装架31a上的一个或多个磁体与安装到安装架31b上的一个或多个磁体可以极性相同或者相反。
77.本领域技术人员可以理解，虽然图1和图2示出的安装架31a、31b为c型安装架，但
这仅是示例性的，安装架31a、31b也可以为l型。类似地，本领域技术人员可以理解，本公开的实施例中还可以包括其他n极和s极的组合，例如，n极、s极和n极的组合等等。
78.如图1和图2所示，在本公开的一些实施例中，多个滑动轮可以包括至少一组偏心轮211(例如，偏心轮211a、211b、211c)。多个滑动轮还可以包括至少一组定心轮212(例如，212a、212b、212c)。
79.如图1和图2所示，偏心轮211(例如，偏心轮211a、211b、211c)通过螺栓设置在主体10的反向表面上，且沿x方向呈线性均匀排布在车体10上。定心轮212(例如，定心轮212a、212b、212c)通过螺栓设置在主体10的反向表面，且与偏心轮211(例如，偏心轮211a、211b、211c)对称设置。偏心轮211(例如，偏心轮211a、211b、211c)和定心轮212(例如，定心轮212a、212b、212c)的组合使得真空递送装置100更易调整偏差，检修方便，使得真空递送装置100的行驶更加平稳，降低侧翻和倾覆发生的概率。
80.本领域技术人员可以理解，图1和图2中示出的偏心轮211(例如，偏心轮211a、211b、211c)和定心轮212(例如，定心轮212a、212b、212c)的安装位置仅是示例性的，偏心轮211(例如，偏心轮211a、211b、211c)和定心轮212(例如，定心轮212a、212b、212c)的安装位置可以相互调换。
81.图6示出根据本公开一些实施例的真空递送系统1000的结构示意图。
82.图7示出根据本公开一些实施例的真空递送系统1000的侧视图。
83.如图6和图7所示，真空递送系统1000可以包括真空管道400、第一轨道200a、第二轨道200b、第一真空递送装置100a、第二真空递送装置100b。第一轨道200a设置在真空管道400内的上部，第二轨道200b设置在真空管道内的下部，且与第一轨道200a相对设置。第一真空递送装置100a设置在第一轨道200a上，第二真空递送装置100b设置在第二轨道200b上。
84.如图6和图7所示，在本公开的一些实施例中，第一真空递送装置100a的载样架用于在反面上承载样品，第二真空递送装置100b的载样架用于在正面上承载样品。
85.在本公开的一些实施例中，真空递送系统1000还可以包括：第一驱动装置(图中未示出)和第二驱动装置(图中未示出)。第一驱动装置设置在真空管道400上方，与第一真空递送装置100a的传动组件耦合，用于驱动第一真空递送装置100a沿第一轨道200a运动。第二驱动装置设置在真空管道400下方，与第二真空递送装置100b的传动组件耦合，能够用于驱动第二真空递送装置100b沿第二轨道运动200b。
86.第一真空递送装置100a在第一轨道200a上运动，第二真空递送装置100b设置在第二轨道200b上运动。第一真空递送装置100a和第二真空递送装置100b能够同时在真空管道400内进行送样，提高真空管道400的利用效率，能够使系统整体结构更加紧凑，减小设备占地面积。另外，第一真空递送装置100a和第二真空递送装置100b的位置可以交换，真空递送装置100既适用于位于真空管道400上方的第一轨道200a，也适用于位于真空管道400下方的第二轨道200b，适用更加灵活，在部件出现故障时可以随时替换使用，降低设备成本。
87.需要指出的是，以上仅为本公开的示例性实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。