用于贴膜机的膜收放卷装置及其贴膜机的制作方法

1.本公开涉及器件封装工艺技术领域，更具体地，涉及一种用于贴膜机的膜收放卷装置。


背景技术：

2.在半导体芯片的制造过程中，在某些工艺过程中需要对器件的表面进行保护，此时，需要对半导体器件进行贴膜操作来保护器件的安全。
3.在现有技术下，需要用贴膜机来对半导体器件进行贴膜。通常地，用于半导体器件特别是声表面滤波器器件包括蓝膜和uv膜等保护膜，所述保护膜由两层膜组成，其中，第一层为贴膜过程中用于贴附到器件面上的胶膜，第二层为贴膜之前与胶膜粘合在一起的底膜，保护膜卷被固定在膜轴上。在进行贴膜时需要将胶膜与底膜分离，胶膜被粘贴到器件表面上，而底膜通过底膜卷回收。对于收放卷及膜张紧存在有两种方式：一种采用力矩电机驱动；另一种利用保护膜卷的放卷与底膜卷的收卷存在转速差从而产生的打滑现象，通过打滑所产生的摩擦力来作为膜的张紧力。
4.目前贴膜机对膜卷(保护膜卷)与底膜卷的采用气胀管固定方式，因此支撑结构也相应的采用悬臂式支撑结构。
5.公开内容
6.技术问题
7.然而，对于现有的悬臂式支撑，悬臂端会产生一定的垂直位移，支撑的刚度不够，从而影响膜张紧的均匀性。此外，对于通过气胀管来固定膜卷的方式，虽然该方式对膜卷的装卸比较方便，但是其需要增加气动机构系统，增加了机构的成本和复杂性。
8.问题的解决方案
9.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，包括：支撑结构，其被配置为对保护膜卷和底膜卷提供支撑；带传动组件，包括第一带轮、第二带轮、第一轮轴、第二轮轴以及传动带，其中，所述第一带轮和第二带轮通过传动带连接；保护膜卷，包括保护膜卷筒、第一膜轴、第一压紧端板组和第一压紧调节器；底膜卷，包括底膜卷筒、第二膜轴、第二压紧端板组、以及第二压紧调节器，其中，所述第一轮轴与通过第一啮合结构第一膜轴同轴连接，以及其中，所述第二轮轴与通过第二啮合结构第二膜轴同轴连接。
10.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述保护膜卷的保护膜通过分膜辊而被分离为底膜和胶膜，并且其中，所述底膜被提供给底膜卷筒以形成底膜卷。
11.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述保护膜卷的直径为d1，所述底膜卷筒的直径为d2，所述第一带轮的直径为d1，并且所述第二带轮的直径为d2，以及其中，d1/d2≤d1/d2。
12.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述支撑结构包括左支撑架和右支撑架以及用于第一膜轴的第一凹槽对和用于第二膜轴的第二凹槽对。
13.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述第一凹槽对与第一膜轴直接连接、通过衬套连接、或者通过轴承结构连接；其中，所述第二凹槽对与第二膜轴直接连接、通过衬套连接、或者通过轴承结构连接。
14.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述第一压紧端板组包括第一压紧端板块和第二压紧端板块，其中，第一压紧端板块固定在第一膜轴的一端，第二压紧端板块可沿第一膜轴方向滑动，并且通过第一压紧调节器来调节所述第一压紧端板组与保护膜卷筒的压紧力；以及其中，所述第二压紧端板组包括第三压紧端板块和第四压紧端板块，其中，第三压紧端板块固定在第二膜轴的一端，第四压紧端板块可沿第二膜轴方向滑动，并且通过第二压紧调节器来调节所述第二压紧端板组与底膜卷筒的压紧力。
15.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述第一压紧调节器包括固定到第一膜轴上的第一调节器端部以及第一压力提供装置，所述第一压力提供装置被配置为通过向第二压紧端板块提供压力来所述第一压紧端板组和保护膜卷筒之间提供压紧力；以及其中，所述第二压紧调节器包括固定到第二膜轴上的第二调节器端部以及第二压力提供装置，所述第二压力提供装置被配置为通过向第四压紧端板块提供压力来所述第二压紧端板组和底膜卷筒之间提供压紧力。
16.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述第一压力提供装置和第二压力提供装置包括压缩弹簧、液压压力调节装置、气动压力调节装置或者电动压力调节装置。
17.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，第一压紧端板块、第二压紧端板块、第三压紧端板块和第四压紧端板块被配置为锥形，或者其表面具有不同纹理的圆柱形。
18.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述第一压紧调节器被配置为增加所述第一压紧端板组与保护膜卷筒的压紧力，以使得第一带轮的转速等于保护膜卷放卷转速，其中，所述第二压紧调节器被配置为调节所述第二压紧端板组与底膜卷筒的压紧力，以在与旋转运动相关的接触组件之间产生摩擦打滑现象。
19.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述摩擦打滑现象产生在如下的至少一个处：在传动带与第一带轮或者第二带轮之间、在第一带轮与第一轮轴之间、在第二带轮与第二轮轴之间、所述第二压紧端板组与第二膜轴之间、或者所述第二压紧端板组与底膜卷筒之间。
20.本公开的实施例提供了一种贴膜机的膜收放卷装置，其中，所述第一啮合结构和第一啮合结构包括长方体啮合结构、齿轮形啮合结构或者楔形啮合结构。
21.本公开的实施例提供了一种贴膜机，包括：如上所述的膜收放卷装置；以及贴膜装置，其中，所述膜收放卷装置中的保护膜卷的保护膜通过分膜辊而被分离为底膜和胶膜，其中，所述底膜被提供给底膜卷筒以形成底膜卷，其中，所述胶膜被提供给所述贴膜装置，以将胶膜粘贴到待贴膜器件上。
22.有益效果
23.与现有技术相比，本发明提供了一种用于贴膜机的膜收放卷装置，其用于改进膜卷的装卸和固定，在其中，采用可拆卸式膜轴，膜轴与带轮传动系统间通过采用可拆式啮合方式进行连接；膜卷两端用挡板夹紧所产生的摩擦力固定于膜轴上，这样可以减除了气胀
固定所需的气动系统，同时通过调节挡板上的弹簧压缩量来调节挡板与膜卷之间的摩擦力，从而调节膜的张紧力。
24.此外，通过采用可拆式连接，膜卷的装载及收放卷机构的支撑结构可改进为两端支撑，这样支撑的刚性得到了提高。
附图说明
25.从结合附图的以下描述中，本公开的某些实施例的以上以及其他方面、特征和优点将更加显而易见，其中：
26.图1示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图；
27.图2示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图；
28.图3示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图；
29.图4示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图；
30.图5示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图；
31.图6示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图；以及
32.图7示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图。
具体实施方式
33.在进行下面的详细描述之前，阐述贯穿本专利文件使用的某些单词和短语的定义可能是有利的。术语“耦接”“连接”及其派生词指两个或多个元件之间的任何直接或间接通信或者连接，而无论那些元件是否彼此物理接触。术语“传输”、“接收”和“通信”及其派生词涵盖直接和间接通信。术语“包括”和“包含”及其派生词是指包括但不限于。术语“或”是包含性的，意思是和/或。短语“与
……
相关联”及其派生词是指包括、包括在
……
内、互连、包含、包含在
……
内、连接或与
……
连接、耦接或与
……
耦接、与
……
通信、配合、交织、并列、接近、绑定或与
……
绑定、具有、具有属性、具有关系或与
……
有关系等。术语“控制器”是指控制至少一个操作的任何设备、系统或其一部分。这种控制器可以用硬件、或者硬件和软件和/或固件的组合来实施。与任何特定控制器相关联的功能可以是集中式的或分布式的，无论是本地的还是远程的。短语“至少一个”，当与项目列表一起使用时，意指可以使用所列项目中的一个或多个的不同组合，并且可能只需要列表中的一个项目。例如，“a、b、c中的至少一个”包括以下组合中的任意一个：a、b、c、a和b、a和c、b和c、a和b和c。
34.贯穿本专利文件提供了其他特定单词和短语的定义。本领域普通技术人员应该理解，在许多情况下，即使不是大多数情况下，这种定义也适用于这样定义的单词和短语的先前和将来使用。
35.在本专利文件中，模块的应用组合以及子模块的划分层级仅用于说明，在不脱离本公开的范围内，模块的应用组合以及子模块的划分层级可以具有不同的方式。
36.以下将结合附图进一步描述本公开的实施例。
37.图1示出了根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置的结构示意图。
38.如图1所示，根据本公开实施例的用于贴膜机的膜收放卷装置包括：(1)支撑结构、带传动组件(其包括(2)带轮1、(3)带轮2、(4)传动带以及(5)轮轴)、(6)膜轴、(7)保护膜卷、(8)底膜卷筒、(9)压紧端板、以及(10)压紧调节器。
39.参考图1，(1)支撑结构被固定在基台上，用于固定和支撑保护膜卷和底膜卷。带传动组件被配置在支撑结构的一侧，其包括(2)带轮1、(3)带轮2、(4)传动带以及(5)轮轴。其中，(5)轮轴包括第一轮轴和第二轮轴，(2)带轮1和(3)带轮2分别通过第一轮轴和第二轮轴而被安装在支撑结构的一侧，并且(2)带轮1和(3)带轮2由(4)传动带连接，相互传递转动。
40.参考图1，(6)膜轴包括分别用于(7)膜卷的第一膜轴和(8)底膜卷筒的第二膜轴。(6)膜轴的两端通过轴承结构而连接到(1)支撑结构，并且其中一端(与带轮相对应的一端)，设计有啮合结构，其与(5)轮轴的啮合结构相咬合，从而将带轮的转动传递给膜轴。
41.参考图1，(7)保护膜卷的卷筒和(8)底膜卷筒被配置为中空的圆柱筒结构，(6)膜轴中的第一膜轴和第二膜轴分别穿过(7)保护膜卷的卷筒和(8)底膜卷筒。通过(6)膜轴两端的(9)压紧端板，将(7)保护膜卷的卷筒和(8)底膜卷筒固定到(6)膜轴上，并保持(6)膜轴与(7)保护膜卷的卷筒和(8)底膜卷筒同轴。
42.参考图1，(9)压紧端板包括用于第一膜轴的第一压紧端板组和用于第二膜轴的第二压紧端板组，并且其中，(10)压紧调节器包括用于的第一压紧端板组的第一压紧调节器和用于的第二压紧端板组的第二压紧调节器。所述第一压紧端板组包括左右为一组的第一压紧端板块和第二压紧端板块，其中，第一压紧端板块固定在第一膜轴的一端，第二压紧端板块可沿第一膜轴方向滑动，通过(10)压紧调节器的第一压紧调节器来调节第二压紧端板块与(7)保护膜卷的卷筒的压紧力。其中，所述第二压紧端板组包括左右为一组的第三压紧端板块和第四压紧端板块，其中，第三压紧端板块固定在第二膜轴的一端，第四压紧端板块可沿第二膜轴方向滑动，通过(10)压紧调节器中的第二压紧调节器来调节第四压紧端板块与(8)底膜卷筒的压紧力。
43.图2是示出了根据本公开实施例的支撑结构的示意图。
44.参考图2，支撑结构由左支撑架和右支撑架来组成。其中，在左支撑架和右支撑架中分别配置有用于支撑和固定(6)膜轴的凹槽，根据本发明的实施例，凹槽也可以通过轴承结构来与(6)膜轴连接。其中，所述凹槽包括用于第一膜轴的第一凹槽对，以及用于第二膜轴的第二凹槽对。本领域技术人员应该理解，虽然本发明实施例中示出了通过轴承结构来与膜轴连接的示例，但是本发明不限于此，例如，所述凹槽也可以直接与膜轴连接或者通过衬套来与膜轴连接。通过凹槽结构，使得膜轴和支撑结构实现可拆式连接，通过左支撑架和右支撑架来对膜卷进行两端支撑，提高了支撑的刚性。
45.图3是根据本公开实施例的膜轴与轮轴的啮合结构的示意图。
46.参考图3，(6)膜轴的一端(带轮相对应的一端)，设计有啮合结构，其与(5)轮轴的啮合结构相咬合。根据本发明的实施例，(6)膜轴的啮合结构可以被配置为长方体的凸起结构，并且(5)轮轴的啮合结构可以被配置为长方体的凹陷结构，这两个啮合结构可以互相咬合，从而将带轮的转动传递给膜轴。本领域技术人员应该理解，虽然本发明实施例中示出了长方体的啮合结构的示例，但是本发明不限于此，例如，所述啮合结构也可以包括齿轮形啮合结构以及楔形啮合结构等。
47.图4是根据本公开实施例的膜轴与支撑结构的连接的示意图。
48.参考图4，(6)膜轴的另一端(远离带轮的一端)与支撑结构的凹槽连接，优选地，(6)膜轴可以通过轴承结构与凹槽连接，但是本发明不限于此，(6)膜轴也可以直接与凹槽连接或者通过衬套来与凹槽连接。此外，在(6)膜轴的该一端处，配置有(10)压紧调节器。根
据本发明的实施例，(10)压紧调节器包括固定到膜轴上的调节器端部以及压缩弹簧，所述压缩弹簧被配置为通过向用于(9)压紧端板的可沿膜轴方向滑动的压紧端板块提供弹力来在(9)压紧端板和卷筒之间提供压紧力。根据本发明实施例，(9)压紧端板被配置为锥形，以在压紧的同时保持膜轴与卷筒同轴。然而，本领域技术人员应该理解，(9)压紧端板可以配置为其他形式，例如，圆柱形，其通过表面的不同纹理来调节压紧力。本领域技术人员应该理解，虽然本发明实施例中示出了压缩弹簧的示例，但是本发明不限于此，例如，所述(10)压紧调节器也可以采用液压压力调节装置、气动压力调节装置或者电动压力调节装置，以提供更加精确的调节。此外，虽然本发明实施例中示出了(10)压紧调节器被配置在远离带轮一侧的示例，但是本发明不限于此，例如，(10)压紧调节器也可以配置在靠近带轮的一侧。
49.图5是根据本公开实施例的膜放卷装置的示意图。
50.参考图5，通过在(7)保护膜卷的卷筒上缠绕保护膜来形成(7)保护膜卷，(7)保护膜卷通过第一膜轴而与支撑结构连接，并且在贴膜之后，保护膜中的底膜与胶膜分离，并且底膜通过缠绕到(8)底膜卷筒上而形成底膜卷，并且底膜卷通过第二膜轴而与支撑结构连接。通过带轮的转动以使得(7)保护膜卷放卷，并且使得底膜卷收卷。
51.图6是根据本公开实施例的包括膜放卷装置的贴膜机的侧视图。
52.参考图6，贴膜机包括膜放卷装置以及贴膜装置，其中，从保护膜卷提供的保护膜经过分膜辊而被分离为底膜和胶膜。底膜被提供给底膜卷筒以形成底膜卷，而胶膜被提供给贴膜装置，以将胶膜粘贴到半导体器件(待贴膜器件)上。
53.图7是根据本公开实施例的包括膜放卷装置的贴膜机，以及其沿着e-e平面的剖视图。
54.参考图7，(8)底膜卷筒的直径为d2，并且(7)保护膜卷的直径为d1，则当收放卷装置工作的初始状态，由于受到膜的约束，底膜卷筒转速(收卷转速)/保护膜卷转速(放卷转速)＝d1/d2；此外，带轮2的直径为d2，并且带轮1的直径为d1，则由于受到传动带的约束，带轮2转速/带轮1转速＝d1/d2。
55.根据本发明实施例，对带轮1和带轮2的直径进行配置，以使得d1/d2≤d1/d2，则此时，底膜筒收卷转速/保护膜卷放卷转速小于或者等于带轮2转速/带轮1转速。
56.通过压紧调节装置，增加压紧端板对膜卷的压紧力，从而增加接触摩擦力，当压紧端板与膜卷之间的摩擦力足够大，使得保护膜卷与带轮1转速相等，以使得带轮1转速＝保护膜卷放卷转速，这样底膜卷筒收卷转速将大于带轮2转速，通过调节压紧调节器的压紧力，当压紧端板与底膜卷的摩擦力不足时，可在压紧端板与底膜卷筒接触处产生摩擦打滑现象，可以进行配置以使得此处所产生的摩擦力与工艺膜拉伸的张紧力理论相等。因此，通过调节压紧端板对底膜筒的压力，从而调节相互之间的打滑摩擦力以实现对张紧力的调节。
57.由于在放卷过程中(7)保护膜卷的直径d1变小，同时底膜卷的直径d2’变大，因此d1/d2恒小于d1/d2，因此，在压紧端板与底膜卷筒接触处将始终产生摩擦打滑现象，从而可以为底膜提供持续和恒定的张力。
58.本领域技术人员应该理解，虽然本发明实施例中示出了在压紧端板与卷筒接触处产生摩擦打滑现象的示例，但是本发明不限于此，摩擦打滑可产生在与旋转运动的转矩传
递过程中的任意接触零件之间，例如，在传动带与带轮之间；在带轮与轮轴之间；或者膜轴与压紧端板之间等等。
59.尽管已经用示例性实施例描述了本公开，但是可以向本领域技术人员建议各种改变和修改。本公开旨在涵盖落入所附权利要求范围内的这种改变和修改。
60.本公开中的任何描述都不应被理解为暗示任何特定的元件、步骤或功能是必须包括在权利要求范围内的必要元件。专利主题的范围仅由权利要求限定。