一种石墨舟移送装置的制作方法

1.本发明涉及石墨舟转运设备技术领域，尤其涉及一种石墨舟移送装置。


背景技术：

2.申请号为202120806650.0，名称为一种pecvd用石墨舟移送装置，包括箱体以及设置在箱体内缓存架和两个移送机构，所述缓存架用于暂存石墨舟，所述缓存架位于两个移送机构之间，所述移送机构上设置有用于承载石墨舟的载料板，所述移送机构用于驱动载料板，将石墨舟移送至缓存架上，通过移送机构和缓存架的设计，实现石墨舟的更换和运输，无需操作人员等待，实现石墨舟生产加工的连续化，提高了生产的效率。
3.上述加工完成后的石墨舟转运时，借助推车转运到上料机处，然后需要人工搬运石墨舟装料，搬运过程繁杂，劳动强度较大，并且转运后也无法很好地夹取出石墨舟中的硅片以待取用。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种石墨舟移送装置，旨在改善上述的问题。
5.本发明是这样实现的：
6.一种石墨舟移送装置，包括用于承载石墨舟的支撑装置、用于夹持硅片的夹片装置和用于托举移动石墨舟到支撑装置上的上料装置，支撑装置的顶面一侧设置有夹片装置，且支撑装置的前部设置有上料装置，夹片装置包括移动板、转动组件、升降组件和夹片组件，其中移动板的正上方设置有用于转向的转动组件，且转动组件的顶部竖直向上安装有升降组件，且升降组件上水平设置有用于夹持硅片的夹片组件。
7.进一步的，支撑装置包括机箱和顶板，其中机箱的顶面上水平固定有顶板，且顶板的顶面一侧贯穿底面水平开设有多个滑槽，且多个滑槽中均水平滑动安装有用于承载石墨舟的承载滑架，且顶板的顶面另一侧固定有多个用于盛放硅片的放置框，机箱的内部水平固定安装有多个第一气缸，且多个第一气缸的输出端连接在承载滑架的底端面上。
8.进一步的，移动板水平固定在顶板的后端面上，且移动板的顶面上水平固定有两根第一滑杆，且移动板的顶面中部贯穿底面开设有通槽，移动板的底面两端均竖直固定有轴承座，且轴承座之间通过轴承转动连接有平移螺杆，移动板一端的轴承座上水平安装有用于驱动平移螺杆的第四电机。
9.进一步的，转动组件包括移动座，移动座水平设置在移动板的正上方，且移动座的底面上水平固定有滑动套设在第一滑杆上的第一滑筒，且移动座的底面中部竖直向下贯穿移动板上的通槽水平固定有平移螺筒，且平移螺筒与平移螺杆螺纹贯穿配合连接，移动座的顶面上通过轴承竖直向上转动连接有转轴，且转轴上水平安装有从动齿轮，移动座的顶面上竖直向上安装有第一电机，且第一电机的输出端安装有与从动齿轮啮合的主动齿轮。
10.进一步的，升降组件包括滑框板、滑块和平推板，其中滑框板竖直设置在移动座的正上方，且滑框板的底面与转轴的顶面固定连接，且滑框板中竖直滑动安装有滑块，且滑块
的一端转动设置有用于安装夹片组件的平推板，滑框板的顶部竖直向下安装有第二气缸，且第二气缸的输出端连接在滑块上，滑块的另一端水平安装有第二电机。
11.进一步的，平推板与滑块之间设置有转架，且转架上的转动杆通过轴承贯穿转动连接在滑块上，且转架上的转动杆端部与第二电机的输出端连接，且转架靠近平推板的一端水平固定有第二气缸，且第二气缸的另一端固定在平推板上，平推板与滑块之间有伸缩杆，且伸缩杆的两端分别固定与平推板与滑块相邻的端面上。
12.进一步的，夹片组件包括夹板和夹片，其中夹板水平设置，且夹板的一端固定在平推板上，且夹板上贯穿开设有拼装槽，且夹板的顶面上沿水平方向安装有多个滑座，且多个滑座滑动安装在夹板上的拼装槽中，且多个滑座的底面上竖直向下固定有夹片。
13.进一步的，夹板的顶面上沿水平方向竖直开设有多个定位螺孔，滑座上竖直向下螺纹贯穿开设有固定螺栓，且固定螺栓配合定位螺孔用于安装滑座在夹板上，夹片上均贯穿安装有吸盘，且吸盘上连通有吸管，夹板上水平固定有吸泵，且吸泵的进风口连通有进风管，且吸泵的进风管上与吸管连通。
14.进一步的，上料装置包括用于抬升石墨舟上料的托料架和用于转运石墨舟的转运板，其中托料架竖直固定在机箱的前端面上，且托料架的前部设置有转运板，且托料架的两侧竖直端面上竖直贯穿开设有滑道，且托料架的中部通过轴承竖直转动连接有托料螺杆，且托料架的底面上竖直固定有第三电机，且第三电机的输出端连接在托料螺杆的底端转轴上，托料架的滑道中竖直滑动安装有托料滑板，且托料滑板的中部竖直贯穿固定有螺纹配合托料螺杆的托料螺筒，且托料滑板的前端面上水平固定有第二滑杆，且第二滑杆的正上方水平滑动设置有托料框，托料框的底面上水平固定有滑动套设在第二滑杆的第二滑筒，且托料框的顶面两端均竖直固定有挡板，且挡板上水平固定有用于压紧石墨舟的第三气缸。
15.进一步的，转运板的底面上安装有滚轮，且转运板的顶面上沿水平方向均匀固定有多个支框，且多个支框中水平转动连接有多个导轮，转运板的顶面前端竖直向上固定有推架，且推架靠近转运板的一侧设置有推板，且推架上水平螺纹贯穿安装有推料螺杆，且推料螺杆的一端通过轴承转动连接在推板上，且推板的一端面水平固定有第三滑杆贯穿推架用于导向推板平移。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
17.(1)、使用时利用上料装置竖直方向上带动石墨舟进行上升，到达机箱的顶板上，然后将石墨舟放置在承载滑架上，然后使用夹片装置将硅片从石墨舟中均匀夹持铺设在一旁，从而方便夹持使用；
18.(2)、支撑装置包括机箱和顶板，其中机箱的顶面上水平固定有顶板，且顶板的顶面一侧贯穿底面水平开设有多个滑槽，且多个滑槽中均水平滑动安装有用于承载石墨舟的承载滑架，且顶板的顶面另一侧固定有多个用于盛放硅片的放置框，机箱的内部水平固定安装有多个第一气缸，且多个第一气缸的输出端连接在承载滑架的底端面上，从而方便利用第一气缸驱动承载石墨舟进行滑动转运，便于后期移动进行加热和装载硅片；
19.(3)、使用时通过第四电机驱动平移螺杆进行转动驱动升降组件在移动板上水平滑动，调节夹持硅片的位置，然后使用第二气缸竖直推动滑块在滑框板中竖直滑动，调节夹片的高度，然后利用夹片组件上的多个夹片上的吸盘，启动吸泵通过吸管连通吸盘，产生负
压吸附硅片在夹片上，然后利用转动组件通过第一电机驱动主动齿轮配合转轴上的从动齿轮进行转动，从而改变夹持的方向，进而实现多方向的夹持调节，提高夹持的灵活性。
20.(4)、使用时转运板承载携带石墨舟到达脱料架上，然后手动转动推料螺杆水平推动推板进行水平滑动，推动石墨舟在转运板上滑动，推动送到托料框中，然后在通过第三电机带动托料螺杆转动，竖直方向上驱动托料框上升，到达机箱的顶板上，然后将石墨舟放置在承载滑架上。
21.(5)、使用时将石墨舟放置在移动架的顶部板上，运动到支撑装置的上料处，然后启动第五气缸带动滑块座在滑条上滑动，使滑块座运动到石墨舟正上方，然后启动第四气缸带动滑条朝向石墨舟下移，然后夹架在第六气缸的驱动下夹持石墨舟两端，滑动到达机箱的顶板上。
附图说明
22.为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
23.图1是石墨舟移送装置第一实施例的整体结构示意图；
24.图2是石墨舟移送装置的第一实施例的整体分解结构示意图；
25.图3是石墨舟移送装置实施例中支撑装置的分解结构示意图；
26.图4是石墨舟移送装置第一实施例上料装置中托料架的分解结构示意图；
27.图5是石墨舟移送装置实施例中夹片装置的分解结构示意图；
28.图6是石墨舟移送装置实施例中转动组件的分解结构示意图；
29.图7是石墨舟移送装置实施例中升降组件的分解结构示意图；
30.图8是石墨舟移送装置实施例中夹片组件的分解结构示意图；
31.图9是石墨舟移送装置第一实施例上料装置中转运板的分解结构示意图；
32.图10石墨舟移送装置第二实施例的整体结构示意图；
33.图11是石墨舟移送装置的第二实施例中上料装置的分解结构示意图；
34.图12是石墨舟移送装置实施例中夹持组件的分解结构示意图。
35.图中：1、支撑装置；11、机箱；12、顶板；13、滑槽；14、承载滑架；15、第一气缸；16、放置框；2、夹片装置；21、移动板；22、第一滑杆；23、轴承座；24、平移螺杆；25、转动组件；251、移动座；252、第一滑筒；253、平移螺筒；254、转轴；255、第一电机；256、主动齿轮；257、从动齿轮；26、升降组件；261、滑框板；262、滑块；263、第二气缸；264、第二电机；265、转架；266、平推气缸；267、伸缩杆；268、平推板；27、夹片组件；271、夹板；272、拼装槽；273、滑座；274、夹片；275、固定螺栓；276、定位螺孔；277、吸盘；278、吸管；279、吸泵；31、托料架；32、托料螺杆；321、第三电机；33、托料滑板；331、托料螺筒；332、第二滑杆；34、托料框；341、第二滑筒；342、挡板；343、第三气缸；35、转运板；351、滚轮；36、支框；361、导轮；37、推架；38、推板；381、第三滑杆；39、推料螺杆；41、移动架；42、顶部板；43、夹持组件；431、滑条；432、支撑板；433、第四气缸；434、第四滑杆；435、第五气缸；436、滑块座；437、夹架；438、第六气缸。
具体实施方式
36.为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
37.实施例1：
38.请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8和图9所示，一种石墨舟移送装置，包括用于承载石墨舟的支撑装置1、用于夹持硅片的夹片装置2和用于托举移动石墨舟到支撑装置1上的上料装置，支撑装置1的顶面一侧设置有夹片装置2，且支撑装置1的前部设置有上料装置，夹片装置2包括移动板21、转动组件25、升降组件26和夹片组件27，其中移动板21的正上方设置有用于转向的转动组件25，且转动组件25的顶部竖直向上安装有升降组件26，且升降组件26上水平设置有用于夹持硅片的夹片组件27，使用时利用上料装置竖直方向上带动石墨舟进行上升，到达机箱11的顶板12上，然后将石墨舟放置在承载滑架14上，然后使用夹片装置2将硅片从石墨舟中均匀夹持铺设在一旁，从而方便后续夹持使用，夹片装置2可以根据石墨舟的位置和角度来调整以更好地夹取硅片。
39.请参阅图3，支撑装置1包括机箱11和顶板12，其中机箱11的顶面上水平固定有顶板12，且顶板12的顶面一侧贯穿底面水平开设有多个滑槽13，且多个滑槽13中均水平滑动安装有用于承载石墨舟的承载滑架14，且顶板12的顶面另一侧固定有多个用于盛放硅片的放置框16，机箱11的内部水平固定安装有多个第一气缸15，且多个第一气缸15的输出端连接在承载滑架14的底端面上，从而方便利用第一气缸15驱动承载石墨舟进行滑动转运，便于后期移动进行加热和装载硅片。
40.请参阅图5、图6、图7和图8，移动板21水平固定在顶板12的后端面上，且移动板21的顶面上水平固定有两根第一滑杆22，且移动板21的顶面中部贯穿底面开设有通槽，移动板21的底面两端均竖直固定有轴承座23，且轴承座23之间通过轴承转动连接有平移螺杆24，移动板21一端的轴承座23上水平安装有用于驱动平移螺杆24的第四电机，使用第四电机驱动平移螺杆24进行转动，转动组件25包括移动座251，移动座251水平设置在移动板21的正上方，且移动座251的底面上水平固定有滑动套设在第一滑杆22上的第一滑筒252，且移动座251的底面中部竖直向下贯穿移动板21上的通槽水平固定有平移螺筒253，且平移螺筒253与平移螺杆24螺纹贯穿配合连接，移动座251的顶面上通过轴承竖直向上转动连接有转轴254，且转轴254上水平安装有从动齿轮257，移动座251的顶面上竖直向上安装有第一电机255，且第一电机255的输出端安装有与从动齿轮257啮合的主动齿轮256，升降组件26包括滑框板261、滑块262和平推板268，其中滑框板261竖直设置在移动座251的正上方，且滑框板261的底面与转轴254的顶面固定连接，且滑框板261中竖直滑动安装有滑块262，且滑块262的一端转动设置有用于安装夹片组件27的平推板268，滑框板261的顶部竖直向下安装有第二气缸263，且第二气缸263的输出端连接在滑块262上，滑块262的另一端水平安
装有第二电机264，平推板268与滑块262之间设置有转架265，且转架265上的转动杆通过轴承贯穿转动连接在滑块262上，且转架265上的转动杆端部与第二电机264的输出端连接，且转架265靠近平推板268的一端水平固定有平推气缸266，且平推气缸266的另一端固定在平推板268上，平推板268与滑块262之间有伸缩杆267，且伸缩杆267的两端分别固定于平推板268与滑块262相邻的端面上，伸缩杆267相当于滑动导向杆，夹片组件27包括夹板271和夹片274，其中夹板271水平设置，且夹板271的一端固定在平推板268上，且夹板271上贯穿开设有拼装槽272，且夹板271的顶面上沿水平方向安装有多个滑座273，且多个滑座273滑动安装在夹板271上的拼装槽272中，且多个滑座273的底面上竖直向下固定有夹片274，夹板271的顶面上沿水平方向竖直开设有多个定位螺孔276，滑座273上竖直向下螺纹贯穿开设有固定螺栓275，且固定螺栓275配合定位螺孔276用于安装滑座273在夹板271上，夹片274上均贯穿安装有吸盘277，且吸盘277上连通有吸管278，夹板271上水平固定有吸泵279，且吸泵279的进风口连通有进风管，且吸泵279的进风管上与吸管278连通，使用时通过第四电机驱动平移螺杆24进行转动驱动升降组件26在移动板21上水平滑动，调节夹持硅片的位置，然后使用第二气缸263竖直推动滑块262在滑框板261中竖直滑动，调节夹片的高度，然后利用夹片组件27上的多个夹片274上的吸盘277，启动吸泵279通过吸管278连通吸盘277，产生负压吸附硅片在夹片274上，然后利用转动组件25通过第一电机255驱动主动齿轮256配合转轴上的从动齿轮257进行转动，从而改变夹持的方向，进而实现多方向的夹持调节，提高夹持的灵活性，通过设置第二电机264可以在放置硅片时调整角度防止吸管278进入触碰放置框16。本实施例中设有两个放置框16，对应两个石墨舟，通过设置平推气缸266和伸缩杆267可以选择夹片组件27的夹取对象。
41.请参阅图2、图4和图9，上料装置包括用于抬升石墨舟上料的托料架31和用于转运石墨舟的转运板35，其中托料架31竖直固定在机箱11的前端面上，且托料架31的前部设置有转运板35，且托料架31的两侧竖直端面上竖直贯穿开设有滑道，且托料架31的中部通过轴承竖直转动连接有托料螺杆32，且托料架31的底面上竖直固定有第三电机321，且第三电机321的输出端连接在托料螺杆32的底端转轴上，托料架31的滑道中竖直滑动安装有托料滑板33，且托料滑板33的中部竖直贯穿固定有螺纹配合托料螺杆32的托料螺筒331，且托料滑板33的前端面上水平固定有第二滑杆332，且第二滑杆332的正上方水平滑动设置有托料框34，托料框34的底面上水平固定有滑动套设在第二滑杆332的第二滑筒341，且托料框34的顶面两端均竖直固定有挡板342，且挡板342上水平固定有用于压紧石墨舟的第三气缸343，转运板35的底面上安装有滚轮351，且转运板35的顶面上沿水平方向均匀固定有多个支框36，且多个支框36中水平转动连接有多个导轮361，转运板35的顶面前端竖直向上固定有推架37，且推架37靠近转运板35的一侧设置有推板38，且推架37上水平螺纹贯穿安装有推料螺杆39，且推料螺杆39的一端通过轴承转动连接在推板38上，且推板38的一端面水平固定有第三滑杆381贯穿推架37用于导向推板38平移，使用时转运板35承载携带石墨舟到达脱料架31上，然后手动转动推料螺杆39水平推动推板38进行水平滑动，推动石墨舟在转运板35上滑动，推动送到托料框34中，然后再通过第三电机321带动托料螺杆32转动，竖直方向上驱动托料框34上升，到达机箱11的顶板12上，然后将石墨舟放置在承载滑架14上。
42.工作原理：使用时利用上料装置上的转运板35承载携带石墨舟到达脱料架31上，然后手动转动推料螺杆39水平推动推板38进行水平滑动，推动石墨舟在转运板35上滑动，
推动送到托料框34中，然后在通过第三电机321带动托料螺杆32转动，竖直方向上驱动托料框34上升，到达机箱11的顶板12上，然后将石墨舟放置在承载滑架14上，然后使用夹片装置2将硅片均匀夹持铺设在放置框16中，从而方便夹持使用。
43.实施例2：
44.本发明实施例所提供的装置，其实现原理及产生的技术效果和实施例1相同，为简要描述，本实施例未提及之处，可参考实施例1中相应内容。
45.请参阅图10、图11和图12，上料装置包括移动架41和夹持组件43，移动架41包括底板和顶部板42，其中底板的正上方通过多根竖杆固定有顶部板42，底板的底面上安装有滚轮，夹持组件43包括水平设置的滑条431，滑条431设置在顶部板42的正上方，顶部板42的前端竖直固定有支撑板432，支撑板432的顶面上竖直向上固定有第四气缸433，第四气缸433的输出端连接在滑条431的底面上，滑条431的端部底面竖直向下固定有第四滑杆434，且第四滑杆434竖直滑动贯穿插接在支撑板432上，滑条431上滑动连接有滑块座436，滑条431的一端水平固定有第五气缸435，且第五气缸435的输出端连接在滑块座436上，滑块座436的两端均滑动连接有夹架437，且滑块座436上水平固定有第六气缸438，且第六气缸438的输出端连接在夹架437上，使用时将石墨舟放置在移动架41的顶部板42上，运动到支撑装置1的上料处，然后启动第五气缸435带动滑块座436在滑条431上滑动，使滑块座436运动到石墨舟正上方，然后启动第四气缸433带动滑条431朝向石墨舟下移，然后夹架437在第六气缸438的驱动下夹持石墨舟两端，滑动下运动到支撑装置1上。
46.工作原理：使用时将石墨舟放置在移动架41的顶部板42上，运动到支撑装置1的上料处，然后启动第五气缸435带动滑块座436在滑条431上滑动，使滑块座436运动到石墨舟正上方，然后启动第四气缸433带动滑条431朝向石墨舟下移，然后夹架437在第六气缸438的驱动下夹持石墨舟两端，滑动到达机箱11的顶板12上，然后将石墨舟放置在承载滑架14上，然后使用夹片装置2将硅片均匀夹持铺设在放置框16中，从而方便夹持使用。
47.以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。