物品传送设备的制作方法

本发明涉及一种物品传送设备。

背景技术：

1、一般而言，为了制造半导体器件，执行各种类型的工艺，诸如沉积、光刻和蚀刻，并且执行这些工艺中的每一者的装置被布置在半导体制造线中。用于执行半导体器件制造过程的物体(诸如晶片)可以在容纳在诸如foup的容器中的状态下提供到每个半导体处理装置。另外，可以将已经处理过的物体从每个半导体处理装置回收到容器中，并且可以将包括所回收的物体的容器传送到外部。

2、容器由高架吊运运输(oht)装置传送。oht装置将容纳有物体的容器传送到半导体处理装置中的任一者的装载端口。另外，oht装置可以从装载端口拾取容纳有经过处理的物体的容器并且将该容器传送到外部或半导体处理装置中的另一者。

3、然而，当前oht装置只能以每oht带有一个负载(容器)移动。如果传送具有相同目的地的负载(容器)，则需要等于负载数量的oht装置，从而导致低效的异常传送情况，诸如oht瓶颈现象。

技术实现思路

1、本发明致力于提供一种能够在负载传送期间防止瓶颈现象的物品传送设备。

2、本发明的目的不限于此，并且本领域的普通技术人员将从以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。

3、本发明的示例性实施例提供了一种物品传送设备，包括：载具，所述载具沿着安装在顶板上的行进轨道行进；载具主体，所述载具主体连接到所述载具并且提供装载有物品的装载空间；以及起吊模块，所述起吊模块包括夹持物品的夹持单元并且将物品装载到所述装载空间并从所述装载空间卸载物品。

4、此外，所述物品传送设备还可以包括水平移动构件，所述水平移动构件安装在所述载具主体中并且使所述起吊模块在水平方向上移动，使得所述夹持单元移动到所述装载空间中的任一者。

5、此外，在所述载具主体中，所述装载空间可以设置为与所述载具的行进方向平行，使得物品沿着所述载具的所述行进方向成行装载，并且所述水平移动构件可以包括水平轨道部分，所述水平轨道部分在所述载具主体中沿着所述行进方向安装成直线。

6、此外，所述载具主体可以包括在底板的中心供物品进入和离开的物品入口，并且所述装载空间可以设置在围绕所述物品入口的所有方向上。

7、此外，所述水平移动构件可以包括水平轨道部分，所述水平轨道部分设置为使得所述起吊模块从所述载具主体的所述中心沿所有方向移动。

8、此外，所述起吊模块还可以包括用于升降所述夹持单元的升降单元。

9、此外，所述载具主体还可以包括用于固定位于所述装载空间中的物品的物品固定部分。

10、此外，所述物品固定部分可以包括：固定构件，所述固定构件用于固定所述物品，使得所述物品不与所述装载空间分开；以及致动构件，所述致动构件用于使所述固定构件在所述固定构件固定物品的固定位置与释放位置之间移动，使得装载在所述装载空间中的所述物品被所述起吊模块提起。

11、此外，所述固定构件可以在通过所述致动构件转动时在所述固定位置与所述释放位置之间往复运动。

12、本发明的另一个示例性实施例提供了一种物品传送设备，包括：行进轨道，所述行进轨道沿着连续地设置处理装置的制造线的顶板设置；以及传送单元装置，所述传送单元装置在所述行进轨道上行进并且将物品发往所述处理装置的安装地点并从该安装地点接收物品，其中所述传送单元包括：载具，所述载具沿着所述行进轨道行进；载具主体，所述载具主体连接到所述载具并且提供装载有物品的装载部分；起吊模块，所述起吊模块安装在所述载具主体中并且能够与所述安装地点并与所述装载部分中的每一者交换所述物品；以及水平移动构件，所述水平移动构件使所述起吊模块在所述载具主体中水平地移动，使得所述起吊模块位于所述装载部分中的任一者上。

13、此外，所述起吊模块可以包括：夹持单元，所述夹持单元夹持所述物品；以及升降单元，所述升降单元用于使所述夹持单元上下移动。

14、此外，所述装载部分可以设置为使得物品沿着所述载具的行进方向装载成一条线，并且所述水平移动构件可以包括水平轨道部分，所述水平轨道部分在所述载具主体中沿着所述行进方向安装成直线。

15、此外，所述载具主体可以包括在底板的中心供物品进入和离开的物品入口，并且所述装载部分可以设置在围绕所述物品入口的所有方向上。

16、此外，所述水平移动构件可以包括水平轨道部分，所述水平轨道部分设置为使得所述起吊模块从所述载具主体的所述中心沿所有方向移动。

17、此外，所述装载部分可以包括用于固定所述物品的物品固定部分。

18、此外，所述物品固定部分可以包括：固定构件，所述固定构件用于固定所述物品，使得所述物品不与所述装载空间分开；以及致动构件，所述致动构件用于将所述固定构件移动到用于固定物品的固定位置和释放位置，在所述释放位置，所述起吊模块将所述物品从所述安装地点传送到所述装载部分或将所述物品从所述装载部分传送到所述安装地点。

19、此外，所述固定构件可以在通过所述致动构件转动时在所述固定位置与所述释放位置之间往复运动。

20、本发明的又一个示例性实施例提供了一种物品传送设备，其包括：行进轨道，所述行进轨道沿着连续地设置处理装置的制造线的顶板设置；以及传送单元装置，所述传送单元装置在所述行进轨道上行进并且将物品发往所述处理装置的安装地点并从该安装地点接收物品，其中所述传送单元包括：载具，所述载具沿着所述行进轨道行进；载具主体，所述载具主体连接到所述载具并且提供装载有物品的装载部分；起吊模块，所述起吊模块安装在所述载具主体中并且能够与所述安装地点并与所述装载部分中的每一者交换所述物品；以及水平移动构件，所述水平移动构件使所述起吊模块在所述载具主体中水平地移动，使得所述起吊模块位于所述装载部分中的任一者上，并且所述装载部分具有直线布置或菱形布置，在所述直线布置中，物品沿着所述载具的行进方向装载成

21、一条线，在所述菱形布置中，物品装载在围绕供物品进入和离开的中心开口的5所有方向上。

22、此外，所述装载部分可以包括用于固定所述物品的物品固定部分。

23、此外，所述起吊模块可以包括：夹持单元，所述夹持单元能够夹持并且装载/卸载从装载在所述装载部分中的所述物品中选择的一个物品；以及升降单元，

24、所述升降单元用于使所述夹持单元上下移动，并且所述物品固定部分可以包括：0固定构件，所述固定构件用于固定所述物品，使得所述物品不与所述装载空间

25、分开；以及致动构件，所述致动构件用于将所述固定构件移动到用于固定物品的固定位置和释放位置，在所述释放位置，所述起吊模块将所述物品从所述安装地点传送到所述装载部分或将所述物品从所述装载部分传送到所述安装地点。

26、根据本发明的示例性实施例，可以通过在装载基板容纳容器的状态下传送

27、具有相同目的地或方向的基板容纳容器来提高传送效率并防止异常情况，诸如瓶颈现象。

28、本发明的效果不限于前述效果，并且本领域技术人员可以从本说明书和附图清楚地理解未提及的效果。

29、