真空递送系统的制作方法

1.本公开涉及真空传样技术领域，特别涉及一种真空递送系统。


背景技术：

2.真空传样技术常被用于在真空、超高真空、表面科学、航空航天以及半导体等领域中进行各种设备之间的传样，从而使各种设备进行协同配合，完成实验或生产。这些领域普遍对环境真空度要求很高，而重复的破真空取样和抽真空处理样品严重拖慢实验或生产时长，降低效率。因此在实际生产或实验中，往往会将设备之间通过真空互联系统连接起来，由于设备体积较大，真空互联系统的之间的距离往往很长，在不同设备之间递送样品十分困难。
3.传统技术中往往采取能在真空管道内沿轨道滑动的传样装置来进行送样，由于重力因素，传样装置的运行轨道普遍设置在真空管道的下方，这导致了当系统中需要配合的真空设备数量过多时，只能对真空管道进行延长，从而增加系统整体占地面积，成本上升，且传统设置方式中，真空管道的空间利用效率低，传送效率低。


技术实现要素：

4.本公开提供了一种真空递送系统，包括：真空管道，第一轨道，设置在真空管道内的上部；第一真空递送装置，设置在第一轨道上；第一真空递送装置包括：第一主体；第一滑动组件，设置在第一主体上，用于使第一主体沿第一轨道滑动；第一传动组件，设置在第一主体上，用于接收驱动，以带动第一主体沿第一轨道滑动；以及至少一个第一载样组件，设置在第一主体上，第一载样组件包括至少一个第一载样架，第一载样架用于在与第一主体相对的反面上承载样品，传样装置，与真空管道连接，用于从第一载样架上取样。
5.在一些实施例中，真空递送系统还包括：第二轨道，设置在真空管道的下部，且与第一轨道相对设置；第二真空递送装置，设置在第二轨道上，第二真空递送装置包括：第二主体；第二滑动组件，设置在第二主体上，用于使第二主体沿第二轨道滑动；第二传动组件，设置在第二主体上，用于接收驱动，以带动第二主体沿第二轨道滑动；以及至少一个第二载样组件，设置在第二主体上，第二载样组件包括至少一个第二载样架，第二载样架用于在正面上承载样品。
6.在一些实施例中，传样装置包括：传样臂，包括臂体和设置在臂体远端的抓取件，抓取件用于抓取第一载样架或第二载样架上承载的样品；驱动装置，驱动传样臂运动，以使抓取件抓取第一载样架或第二载样架上承载的样品。
7.在一些实施例中，传样臂还包括：升降装置，设置在臂体远端，抓取件设置在升降装置上，驱动装置用于驱动升降装置升降，以带动抓取件升降。
8.在一些实施例中，驱动装置包括：驱动真空腔；传动磁组件，设置在驱动真空腔内且设置在传样臂的近端；驱动磁组件，设置在驱动真空腔外，与传动磁组件磁耦合，用于驱动传动磁组件，以带动传样臂运动，驱动磁组件用于驱动传动磁组件，带动传样臂作线性运
动或旋转运动，其中，旋转运动用于驱动升降装置带动抓取件升降。
9.在一些实施例中，第一载样架或第二载样架包括：载样凹陷或载样托，设置在第一载样架或第二载样架的反面和/或第一载样架或第二载样架的正面上，用于承载样品。
10.在一些实施例中，第一载样架或第二载样架包括多个架体，每个架体包括载样凹陷或载样托的相应部分，多个架体共同承载样品。
11.在一些实施例中，多个架体包括相对设置的第一架体和第二架体，第一架体包括第一圆弧状凹陷或载样托，第二架体包括与第一圆弧状凹陷或载样托相配合的第二圆弧状凹陷或载样托。
12.在一些实施例中，至少一个第一载样架包括横向排布和/或纵向堆叠的第一载样架阵列；和/或至少一个第二载样架包括横向排布和/或纵向堆叠的第二载样架阵列。
13.在一些实施例中，第一滑动组件或第二滑动组件包括：多个滑动轮，设置在第一主体或第二主体上，第一传动组件或第二传动组件包括：至少一个安装架，设置在第一主体或第二主体上；以及至少一个传动磁体，设置在至少一个安装架上，用于接收驱动。
14.在一些实施例中，至少一个传动磁体包括：第一磁体，设置在安装架上；以及第二磁体，设置在安装架上，第一磁体与第二磁体用于接收驱动的极性相反。
15.根据本公开一些实施例的真空递送系统能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空递送系统能够解决常规技术中真空系统占地面积大、设备成本高、设备之间的真空管道空间利用效率低、传送效率低下等问题，能够实现缩减真空传样系统的占地面积，从而降低设备成本，使得设备之间设置更加紧凑、提高真空管道空间利用率以及大幅提高传样效率的技术效果。
附图说明
16.为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1示出根据本公开一些实施例的真空递送系统的结构示意图；
18.图2示出根据本公开一些实施例的真空递送系统的侧视图；
19.图3示出根据本公开一些实施例的传样装置的结构示意图；
20.图4示出根据本公开一些实施例的传样装置的剖视图；
21.图5示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置或第二真空递送装置的结构示意图；
22.图6示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置或第二真空递送装置的仰视结构图；
23.图7示出根据本公开一些实施例的架体的结构示意图。
24.在上述附图中，各附图标记分别表示：100真空递送系统
25.10真空管道
26.20a第一轨道
27.20b第二轨道
28.30a第一真空递送装置
29.31a第一主体
30.32a第一滑动组件
31.33a第一传动组件
32.34a第一载样组件
33.341a第一载样架
34.30b第二真空递送装置
35.31b第二主体
36.32b第二滑动组件
37.33b第二传样组件
38.34b第二载样组件
39.341b第二载样架
40.341a-1/341b-1载样凹陷
41.341a-2/341b-2架体
42.1a/1b第一架体
43.2a/2b第二架体
44.321a/321b滑动轮
45.331a/331b安装架
46.332a/332b传动磁体
47.3321a/3321b第一磁体
48.3322a/3322b第二磁体
49.40传样装置
50.41传样臂
51.411臂体
52.412臂体芯杆
53.42驱动装置
54.421驱动真空腔
55.422传动磁组件
56.423驱动磁组件
57.43升降装置
58.431引导件
59.4311引导槽
60.432连接件
61.433滑动件
62.434、434a、434b、434c、434d限位轴承
具体实施方式
63.下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
64.在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
65.图1示出根据本公开一些实施例的真空递送系统100的结构示意图。图2示出根据本公开一些实施例的真空递送系统100的侧视图。
66.如图1和图2所示，真空递送系统100可以包括真空管道10、第一轨道20a、第一真空递送装置30a以及传样装置40。第一轨道20a设置在真空管道10内的上部，第一真空递送装置30a设置在第一轨道20a上。
67.图5示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置30a的结构示意图。
68.图6示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置30a的仰视结构图。如图5和图6所示，第一真空递送装置30a可以包括第一主体31a、第一滑动组件32a、第一传动组件33a以及至少一个第一载样组件34a。第一滑动组件32a设置在第一主体31a上，能够用于使第一主体31a沿第一轨道20a滑动。第一传动组件33a设置在第一主体31a上，能够用于接收驱动，以带动第一主体31a沿第一轨道20a滑动。第一载样组件34a设置在第一主体31a上，第一载样组件34a可以包括至少一个第一载样架341a。第一载样架341a能够用于在与第一主体31a相对的反面上承载样品。传样装置40与真空管道10连接，能够用于从第一载样架341a上取样。
69.本领域技术人员可以理解，虽然图5和图6仅示出了一个第一载样组件34a，但是第一真空递送装置30a可以包括设置在第一主体31a上的多个第一载样组件34a，如排列或排布在第一主体31a上。
70.如图1和图2所示，在本公开的一些实施例中，真空递送系统100还可以包括第二轨道20b和第二真空递送装置30b。第二轨道20b设置在真空管道10的下部，且与第一轨道20a相对设置。第二真空递送装置30b，设置在第二轨道20b上。
71.图5示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置30b的结构示意图。图6示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置30b的仰视结构图。如图5和图6所示，与第一真空递送装置30a类似，第二真空递送装置30b可以包括第二主体31b、第二滑动组件32b、第二传样组件33b以及至少一个第二载样组件34b。第二滑动组件32b设置在第二主体31b上，用于使第二主体31b沿第二轨道20b滑动。第二传动组件33b设置在第二主体31b上，能够用于接收驱动，以带动第二主体31b沿第二轨道20b滑动。第二载样组件34b，设置在第二主体31b上。第二载样组件34b包括至少一个第二载样架341b，第二载样架341b用于在正面上承载样
品。第二载样架341a、341b的反面分别与第一主体31a、31b相对，朝向第二载样架341a、341b内部。第二载样架341a、341b的正面与反面相反，朝向第二载样架341a、341b外部。
72.本领域技术人员可以理解，虽然图2仅示出了一个第二载样组件34b，但是第二真空递送装置30b可以包括设置在第二主体31b上的多个第二载样组件34b，如排列或阵列在第二主体31b上。
73.图3示出根据本公开一些实施例的传样装置40的结构示意图。图4示出根据本公开一些实施例的传样装置40的剖视图。
74.如图3和图4所示，在本公开的一些实施例中，传样装置40可以包括传样臂41和驱动装置42。传样臂41可以包括臂体411和设置在臂体411远端的抓取件(图中未示出)。抓取件用于抓取第一载样架341a或第二载样架341b上承载的样品。例如，抓取件可以包括托架，用于托起第一载样架341a或第二载样架341b上承载的样品，以进行传样。驱动装置42可以驱动传样臂41运动，以使抓取件能够抓取(例如，托起、吸起等)第一载样架341a或第二载样架341b上承载的样品。
75.如图3所示，在本公开的一些实施例中，传样臂41还可以包括升降装置43，设置在臂体411远端。抓取件可以设置在升降装置43上。驱动装置42驱动升降装置43升降，以带动抓取件升降。
76.如图3所示，升降装置43可以包括传动齿轮(图中未示出)、传动齿条(图中未示出)、引导件431、连接件432、滑动件433。引导件431通过连接件432与臂体411的远端固定连接。引导件431可以为方柱状，两侧开设有引导槽4311。滑动件433套设在引导件上，具有能够与引导槽4311配合的引导螺丝(图中未示出)，使得滑动件433与引导件431滑动连接，且能够在引导件431上沿引导槽4311滑动。臂体411中穿设有臂体芯杆412，传动齿条固定在滑动件433上，与固定在臂体芯杆412远端的传动齿轮相啮合，臂体芯杆412带动传动齿轮转动，使得传动齿条能够进行升降运动，从而带动滑动件433沿引导件431作升降运动。抓取件固定设置在滑动件433上，能够随滑动件433的滑动作升降运动，从而进行取样或送样。例如，在一些实施例中，抓取件可以包括托架。臂体芯杆412的转动可以带动传动齿轮转动，从而驱动传动齿条进行升降运动。在传动齿条的带动下，滑动件433沿引导件431作升降运动，驱动抓取件的托架升降。这样，托架可以托起第一载样架341a或第二载样架341b上承载的样品，以进行传样。
77.如图3所示，升降装置43还包括至少两组限位轴承434(例如，限位轴承434a、434b、434c、434d)，设置在滑动件433的内侧且与引导件431相接触。每组限位轴承的数量为四，分别设置在引导件431的两侧，例如限位轴承434a、434b和两个图中未示出的限位轴承434。
78.本领域技术人员可以理解，虽然图3中仅示出了两组限位轴承434，但升降组件43还可以包括两组以上限位轴承434。
79.如图4所示，在本公开的一些实施例中，驱动装置42可以包括驱动真空腔421、传动磁组件422以及驱动磁组件423。传动磁组件422设置在驱动真空腔421内且设置在传样臂41的近端。驱动磁组件422设置在驱动真空腔421外，与传动磁组件422磁耦合，能够用于驱动传动磁组件422，以带动传样臂41运动。驱动磁组件423驱动传动磁组件422，带动传样臂41作线性运动或旋转运动。其中，旋转运动驱动升降装置40带动抓取件升降。
80.图5示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置30a或第二真空递送装置30b
的结构示意图。图6示出根据本公开一些实施例的第一真空递送装置30a或第二真空递送装置30b的仰视结构图。
81.如图5和图6所示，在本公开的一些实施例中，第一载样架341a或第二载样架341b可以包括载样凹陷341a-1/341b-1。载样凹陷341a-1/341b-1设置在第一载样架341a或第二载样架341b反面或者第一载样架341a或第二载样架341b的正面，或者正面和反面上。载样凹陷341a-1/341b-1的形状与样品相匹配，以用于承载样品。
82.本领域技术人员可以理解，虽然图5和图6中示出的第一载样架341a或第二载样架341b可以包括载样凹陷341a-1/341b-1，但这仅是示例性的，第一载样架341a或第二载样架341b也可以包括载样托。
83.本领域技术人员可以理解，在本公开的一些实施例中，至少一个第一载样架341a和/或至少一个第二载样架341b可以包括横向排布和/或纵向堆叠的第一载样架阵列或第二载样架阵列。
84.图7示出根据本公开一些实施例的架体的结构示意图。
85.如图7所示，在本公开的一些实施例中，第一载样架341a或第二载样架341b包括多个架体341a-2/341b-2。每个架体341a-2/341b-2包括载样凹陷341a-1/341b-1的相应部分。多个架体341a-2/341b-2共同承载样品。
86.如图7所示，在本公开的一些实施例中，多个架体341a-2/341b-2包括相对设置的第一架体1a/1b和第二架体2a/2b。第一架体1a/1b包括第一圆弧状凹陷，第二架体2a/2b包括与第一圆弧状凹陷相配合的第二圆弧状凹陷。
87.如图5和图6所示，在本公开的一些实施例中，第一滑动组件32a或第二滑动组件32b可以包括多个滑动轮321a/321b，设置在第一主体31a或第二主体31b上。第一传动组件33a或第二传动组件33b可以包括至少一个安装架331a/331b，设置在第一主体31a或第二主体31b上。第一传动组件33a或第二传动组件33b还可以包括至少一个传动磁体332a/332b，设置在至少一个安装架331a/331b上，用于接收驱动。
88.如图5和图6所示，在本公开的一些实施例中，至少一个传动磁体332a/332b可以包括第一磁体3321a/3321b和第二磁体3322a/3322b。第一磁体3321a/3321b和第二磁体3322a/3322b设置在安装架331a/331b上。第一磁体3321a/3321b与第二磁体3322a/3322b用于接收驱动的极性相反。例如，第一磁体3321a/3321b和第二磁体3322a/3322b向上暴露的磁极用于接收驱动，分别为n极和s极。这种异性磁极的组合能够使传动更加稳定。
89.本领域技术人员可以理解，虽然图5和图6示出的安装架331a/331b上安装有第一磁体3321a/3321b和第二磁体3322a/3322b，但是安装架331a/331b也可以分别安装有极性相同的一个或多个磁体，而且安装在安装架331a/331b上的一个或多个磁体与安装到安装架331a/331b上的一个或多个磁体可以极性相同或者相反。
90.本领域技术人员可以理解，虽然图5和图6示出的安装架331a/331b为c型安装架，但这仅是示例性的，安装架331a/331b也可以为l型。类似地，本领域技术人员可以理解，本公开的实施例中还可以包括其他n极和s极的组合，例如，n极、s极和n极的组合等等。
91.第一真空递送装置30a在第一轨道20a上运动，第二真空递送装置30b设置在第二轨道20b上运动。第一真空递送装置30a和第二真空递送装置30b能够同时在真空管道10内进行送样，提高真空管道10的利用效率，能够使系统整体结构更加紧凑，减小设备占地面
积。另外，第一真空递送装置30a和第二真空递送装置30b的位置可以交换，真空递送系统100既适用于位于真空管道10上方的第一轨道20a，也适用于位于真空管道10下方的第二轨道20b，适用更加灵活，在部件出现故障时可以随时替换使用，降低设备成本。
92.需要指出的是，以上仅为本公开的示例性实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。