一种LCD平面靶材组件的吊装装置的制作方法

文档序号:31007407发布日期:2022-08-03 10:58阅读:66来源:国知局
一种LCD平面靶材组件的吊装装置的制作方法
一种lcd平面靶材组件的吊装装置
技术领域
1.本实用新型属于液晶显示面板技术领域,涉及lcd平面靶材组件,尤其涉及一种lcd平面靶材组件的吊装装置。


背景技术:

2.磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上,使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。溅射靶材有金属,合金,陶瓷化合物等。溅射靶材的要求较传统材料行业高,一般对尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、n/o/c/s、晶粒尺寸与缺陷控制等各项均有要求;此外,还会对表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成分与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等具有较高要求或特殊要求。
3.在目前lcd行业中,所使用的靶材都是尺寸较为庞大的lcd平面靶材组件,而且lcd平面靶材组件往往是由铜背板及金属材料(铝、钛、铜、钨等) 焊接而成,在焊接完成后需要利用c-scan检测来判断是否达到焊接结合度的要求。c-scan检测指的是超声波无损探伤,在不破坏产品的前提下,检测出 lcd平面靶材组件内部焊接的状态,检测内容包括焊接内部异物、氧化物、非靶材一体物质检测等。
4.由于lcd平面靶材组件属于大尺寸靶材组件,例如液晶显示面板行业中常见的g6条形钛靶材组件的长度高达3000mm且宽度为230mm,需要借助吊装装置将lcd平面靶材组件吊起来并放入c-scan检测池中,随后撤去吊装装置,利用c-scan探针对lcd平面靶材组件进行c-scan检测,最后再利用吊装装置将lcd平面靶材组件吊起来并送入下一道工序单元。例如cn212050158u公开了一种用于大型平面靶的吊具装置,包括一吊梁、用于钩挂吊钩的挂环和至少两条吊带,挂环连接于吊梁的中间位置,各吊带的上端分别对称连接于吊梁相应的侧部,各吊带的下端分别设置有用作起吊工件的工件挂圈,工件挂圈呈扁平状设置,工件挂圈的内侧设置有一防滑层。但是,上述吊具装置一方面使用吊带固定大型平面靶,导致大型平面靶容易倾斜晃动,另一方面仅仅在吊梁的中间位置设置一个挂环,导致大型平面靶容易重心不稳进而掉落,而且每次使用只能单独吊装一个lcd平面靶材组件,降低了检测效率。
5.综上所述,目前亟需开发一种新型的lcd平面靶材组件的吊装装置,不仅可以实现多个lcd平面靶材组件一起吊装,减少了吊装次数,提升了检测效率,还可以保证lcd平面靶材组件在吊装过程中的牢固性和稳定性,尤其适用于 c-scan检测。


技术实现要素:

6.针对现有技术存在的不足,本实用新型提供了一种lcd平面靶材组件的吊装装置,所述lcd平面靶材组件的吊装装置包括吊装固定板,在所述吊装固定板的相对两端分别设置至少两组与lcd平面靶材组件相对应的螺纹孔。在实际使用过程中,将至少两个lcd平面
靶材组件背板朝下放置在所述吊装固定板上,利用螺栓将lcd平面靶材组件背板上的螺纹孔与吊装固定板上的螺纹孔固定连接,随后借助四条带有吊钩的吊链与吊装固定板的四角上的吊环扣合连接,将至少两个lcd平面靶材组件吊起并整体放入c-scan检测池中,撤去四条带有吊钩的吊链后无需再撤去吊装固定板即可完成c-scan检测,不仅可以实现多个lcd平面靶材组件一起吊装,减少了吊装次数,提升了检测效率,还可以保证lcd平面靶材组件在吊装过程中的牢固性和稳定性,尤其适用于c-scan检测。
7.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
8.一种lcd平面靶材组件的吊装装置,所述lcd平面靶材组件的吊装装置包括吊装固定板,在所述吊装固定板的相对两端分别设置至少两组与lcd平面靶材组件相对应的螺纹孔,在所述吊装固定板的四角分别设置吊环,所述lcd 平面靶材组件的吊装装置还包括四条带有吊钩的吊链,所述吊钩与所述吊环扣合连接。
9.本实用新型所述lcd平面靶材组件的吊装装置充分利用了lcd平面靶材组件的背板上开设的螺纹孔,在实际使用过程中,将至少两个lcd平面靶材组件背板朝下放置在所述吊装固定板上,利用螺栓将lcd平面靶材组件背板上的螺纹孔与吊装固定板上的螺纹孔固定连接,随后借助四条带有吊钩的吊链与吊装固定板的四角上的吊环扣合连接,将至少两个lcd平面靶材组件吊起并整体放入c-scan检测池中,撤去四条带有吊钩的吊链后无需再撤去吊装固定板即可完成c-scan检测,不仅可以实现多个lcd平面靶材组件一起吊装,减少了吊装次数,提升了检测效率,还可以保证lcd平面靶材组件在吊装过程中的牢固性和稳定性,尤其适用于c-scan检测。
10.值得说明的是,本实用新型所述四条带有吊钩的吊链可以直接与吊装行车的挂钩相连接,由于在吊装固定板的四角分别设置吊环,并将所述吊钩与所述吊环扣合连接,本实用新型所述lcd平面靶材组件的吊装装置具有良好的稳定性。
11.值得说明的是,在所述吊装固定板的相对两端分别设置的每组与lcd平面靶材组件相对应的螺纹孔可以是2个或4个,本领域技术人员可以根据实际情况进行合理选择。
12.作为本实用新型优选的技术方案,所述吊装固定板的中部设置至少两个放置lcd平面靶材组件的凹槽,且每组所述螺纹孔分别设置在每个所述凹槽的相对两端。
13.作为本实用新型优选的技术方案,每个所述凹槽的深度均为5-10mm,例如 5mm、6mm、7mm、8mm、9mm或10mm等,但并不仅限于所列举的数值,上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
14.值得说明的是,本实用新型所述吊装固定板上依据待吊装的lcd平面靶材组件的背板尺寸设置凹槽,便于操作人员定位lcd平面靶材组件,进而更有利于后续利用螺栓固定lcd平面靶材组件的操作;进一步地,将每个凹槽的深度设置为5-10mm,既可以达到上述定位作用,又可以降低加工成本,并保证lcd 平面靶材组件的平整度。
15.作为本实用新型优选的技术方案,所述lcd平面靶材组件的吊装装置还包括吊装横杆,所述吊装横杆的两端分别固定两条所述带有吊钩的吊链,所述吊装横杆的中部设置用于与吊装行车连接的吊装连接部。
16.值得说明的是,区别于将四条带有吊钩的吊链直接与吊装行车的挂钩相连接,本实用新型设置了吊装横杆,可以进一步增加吊装的稳定性。
17.作为本实用新型优选的技术方案,所述吊装横杆包括开设连接通槽的中部横杆与
两根端部横杆,所述中部横杆与两根所述端部横杆相应设置多个相同间隔的横杆调位连接孔,两根所述端部横杆分别插入所述中部横杆两端的所述连接通槽内部并利用螺杆贯穿相对应的所述横杆调位连接孔实现连接;两根所述端部横杆分别固定两条所述带有吊钩的吊链,所述中部横杆的中部设置所述吊装连接部。
18.值得说明的是,本实用新型所述吊装固定板需要依据待吊装的吊装固定板来定制,而为了增加吊装稳定性设置的吊装横杆却可以实现长度调节来吊装不同型号的lcd平面靶材组件,具体实现方法是利用多个相同间隔的横杆调位连接孔来调节两根端部横杆相对于中部横杆的伸缩长度,进而调整吊装横杆的整体长度。
19.作为本实用新型优选的技术方案,所述吊装固定板的厚度为20-50mm,例如20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm等,但并不仅限于所列举的数值,上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20.作为本实用新型优选的技术方案,所述吊装固定板的长度为4000-7000mm,例如4000mm、4500mm、5000mm、5500mm、6000mm、6500mm或7000mm等,但并不仅限于所列举的数值,上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
21.作为本实用新型优选的技术方案,所述吊装固定板的宽度为600-1200mm,例如600mm、700mm、800mm、900mm、1000mm、1100mm或1200mm等,但并不仅限于所列举的数值,上述数值范围内其他未列举的数值同样适用。
22.值得说明的是,本实用新型所述吊装固定板的长度和宽度依据待吊装的 lcd平面靶材组件的尺寸以及数量来定制,本领域技术人员可以根据实际情况进行合理选择。
23.与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:
24.本实用新型所述lcd平面靶材组件的吊装装置充分利用了lcd平面靶材组件的背板上开设的螺纹孔,在实际使用过程中,将至少两个lcd平面靶材组件背板朝下放置在所述吊装固定板上,利用螺栓将lcd平面靶材组件背板上的螺纹孔与吊装固定板上的螺纹孔固定连接,随后借助四条带有吊钩的吊链与吊装固定板的四角上的吊环扣合连接,将至少两个lcd平面靶材组件吊起并整体放入c-scan检测池中,撤去四条带有吊钩的吊链后无需再撤去吊装固定板即可完成c-scan检测,不仅可以实现多个lcd平面靶材组件一起吊装,减少了吊装次数,提升了检测效率,还可以保证lcd平面靶材组件在吊装过程中的牢固性和稳定性,尤其适用于c-scan检测。
附图说明
25.图1为本实用新型实施例1所述lcd平面靶材组件的吊装装置的结构示意图;
26.图2是本实用新型实施例1所述吊装固定板的结构示意图;
27.图3是本实用新型实施例1所述吊装横杆的结构示意图;
28.其中,1-吊装固定板;2-螺纹孔;3-吊环;4-吊钩;5-吊链;6-凹槽;7-吊装横杆;8-吊装连接部;9-中部横杆;10-端部横杆;11-横杆调位连接孔;12-lcd 平面靶材组件。
具体实施方式
29.为使本实用新型的技术方案、目的和优点更加清楚,下面通过具体的实施例子并结合附图对本实用新型做进一步的详细描述。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式
仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限制本实用新型。
30.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
31.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于电和通信领域而言,可以是有线连接,也可以是无线连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.实施例1
33.本实施例提供了一种lcd平面靶材组件的吊装装置,用于最多可同时吊装 3个g6型钛靶材组件,如图1所示,所述lcd平面靶材组件的吊装装置包括吊装固定板1,在所述吊装固定板1的相对两端分别设置三组与lcd平面靶材组件12相对应的螺纹孔2,在所述吊装固定板1的四角分别设置吊环3,所述 lcd平面靶材组件的吊装装置还包括四条带有吊钩4的吊链5,所述吊钩4与所述吊环3扣合连接;
34.如图2所示,所述吊装固定板1的中部设置三个放置lcd平面靶材组件12 的凹槽6,且每组所述螺纹孔2分别设置在每个所述凹槽6的相对两端;
35.如图3所示,所述lcd平面靶材组件的吊装装置还包括吊装横杆7,所述吊装横杆7包括开设连接通槽的中部横杆9与两根端部横杆10,所述中部横杆 9与两根所述端部横杆10相应设置多个相同间隔的横杆调位连接孔11,两根所述端部横杆10分别插入所述中部横杆9两端的所述连接通槽内部并利用螺杆贯穿相对应的所述横杆调位连接孔11实现连接;两根所述端部横杆10分别固定两条所述带有吊钩4的吊链5,所述中部横杆9的中部设置吊装连接部8;
36.其中,每个所述凹槽6的深度均为5mm;所述吊装固定板1的厚度为20mm;所述吊装固定板的长度为4000mm;所述吊装固定板1的宽度为600mm。
37.实施例2
38.本实施例提供了一种lcd平面靶材组件的吊装装置,用于最多可同时吊装 3个g8.5型钼靶材组件,与图1-3所述结构相同,所述lcd平面靶材组件的吊装装置包括吊装固定板1,在所述吊装固定板1的相对两端分别设置三组与lcd 平面靶材组件12相对应的螺纹孔2,在所述吊装固定板1的四角分别设置吊环 3,所述lcd平面靶材组件的吊装装置还包括四条带有吊钩4的吊链5,所述吊钩4与所述吊环3扣合连接;
39.所述吊装固定板1的中部设置三个放置lcd平面靶材组件12的凹槽6,且每组所述螺纹孔2分别设置在每个所述凹槽6的相对两端;
40.所述lcd平面靶材组件的吊装装置还包括吊装横杆7,所述吊装横杆7包括开设连接通槽的中部横杆9与两根端部横杆10,所述中部横杆9与两根所述端部横杆10相应设置多个相同间隔的横杆调位连接孔11,两根所述端部横杆 10分别插入所述中部横杆9两端的所
述连接通槽内部并利用螺杆贯穿相对应的所述横杆调位连接孔11实现连接;两根所述端部横杆10分别固定两条所述带有吊钩4的吊链5,所述中部横杆9的中部设置吊装连接部8;
41.其中,每个所述凹槽6的深度均为8mm;所述吊装固定板1的厚度为30mm;所述吊装固定板的长度为5500mm;所述吊装固定板1的宽度为900mm。
42.实施例3
43.本实施例提供了一种lcd平面靶材组件的吊装装置,用于最多可同时吊装 3个g11型钼靶材组件,与图1-3所述结构相同,所述lcd平面靶材组件的吊装装置包括吊装固定板1,在所述吊装固定板1的相对两端分别设置三组与lcd 平面靶材组件12相对应的螺纹孔2,在所述吊装固定板1的四角分别设置吊环 3,所述lcd平面靶材组件的吊装装置还包括四条带有吊钩4的吊链5,所述吊钩4与所述吊环3扣合连接;
44.所述吊装固定板1的中部设置三个放置lcd平面靶材组件12的凹槽6,且每组所述螺纹孔2分别设置在每个所述凹槽6的相对两端;
45.所述lcd平面靶材组件的吊装装置还包括吊装横杆7,所述吊装横杆7包括开设连接通槽的中部横杆9与两根端部横杆10,所述中部横杆9与两根所述端部横杆10相应设置多个相同间隔的横杆调位连接孔11,两根所述端部横杆 10分别插入所述中部横杆9两端的所述连接通槽内部并利用螺杆贯穿相对应的所述横杆调位连接孔11实现连接;两根所述端部横杆10分别固定两条所述带有吊钩4的吊链5,所述中部横杆9的中部设置吊装连接部8;
46.其中,每个所述凹槽6的深度均为10mm;所述吊装固定板1的厚度为50mm;所述吊装固定板的长度为7000mm;所述吊装固定板1的宽度为1200mm。
47.综上所述,本实用新型所述lcd平面靶材组件的吊装装置充分利用了lcd 平面靶材组件的背板上开设的螺纹孔,在实际使用过程中,将至少两个lcd平面靶材组件背板朝下放置在所述吊装固定板上,利用螺栓将lcd平面靶材组件背板上的螺纹孔与吊装固定板上的螺纹孔固定连接,随后借助四条带有吊钩的吊链与吊装固定板的四角上的吊环扣合连接,将至少两个lcd平面靶材组件吊起并整体放入c-scan检测池中,撤去四条带有吊钩的吊链后无需再撤去吊装固定板即可完成c-scan检测,不仅可以实现多个lcd平面靶材组件一起吊装,减少了吊装次数,提升了检测效率,还可以保证lcd平面靶材组件在吊装过程中的牢固性和稳定性,尤其适用于c-scan检测。
48.以上所述仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,所属技术领域的技术人员应该明了,任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。
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