一种光刻版的存放装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产制造领域，具体涉及一种光刻版的存放装置。


背景技术：

2.光刻工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上，光刻的精度将直接影响到半导体产品的最终性能。
3.而在光刻工艺中，光刻掩模版(简称光刻版)的使用是重中之重。光刻掩膜版是光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。因此，在存取和使用的时候都需要格外小心，避免损坏或弄脏光刻版，影响光刻版的使用寿命和产品质量。
4.在现有生产流程中，光刻版通常被存储于出厂时使用的固定盒套中，待使用时取出。然而，出厂时使用的固定盒套仅用于以销售为目的地储存和转运，无法满足生产使用过程中光刻版需要频繁取出与存放的要求，因此时常出现刮伤或脏污的问题，这不仅仅影响了光刻版的使用寿命，还直接影响了由不良光刻版制得的整批半导体产品的质量，无形中给企业增加了不必要的生产成本。


技术实现要素：

5.为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够保护光刻版并且实现快速存取的光刻版的存放装置。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：存放盒包括至少两个开口向上的盒体，所述盒体固定连接呈阶梯状分布；所述盒体包括底板、递进阶梯板、至少一个分隔板，所述底板设置于盒体底部；每个所述盒体内由所述底板与所述盒体所形成的开口朝上的容置空间相同；所述递进阶梯板较低一侧与所述底板边缘相连接，所述递进阶梯板较高一侧与所述盒体的连接面相连接；所述分隔板与所述阶梯板踏面相连接，设置于每个所述阶梯板踏面上方。
7.其中，所述递进阶梯板的坡度为25
°
。
8.其中，所述存放装置还包括五个所述盒体。
9.其中，所述分隔板纵向两排分布。
10.其中，所述分隔板的高度小于盒体的高度。
11.其中，所述盒体还包括凹槽，所述凹槽设置于所述容置空间两侧，且所述凹槽的高度小于所述容置空间的侧面的高度。
12.其中，所述存放装置的材质为亚克力塑料板或聚丙烯塑料板。
13.其中，所述分隔板呈横向四排分布。
14.其中，所述分隔板与所述底面的坡度为锐角。
15.其中，所述存放装置还包括包装体，包装体包括光刻版存放槽、标签口、手提板、外
壳体，所述手提板和所述外壳体上下连接，所述标签口设置于所述手提板上，所述光刻版存放槽设置于所述外壳体上，所述标签口与所述光刻版存放槽同侧设置，所述光刻板存放槽低于所述存放盒，所述存放盒低于所述标签口。
16.其中，所述包装体嵌套入所述存放盒的所述容置空间中，所述标签口朝向所述递进阶梯板较低一侧。
17.本实用新型的有益效果在于：采用阶梯状的存放盒，能够使得光刻版呈阶梯状分布，配合包装体上的标签，能够使得工作人员快速区分不同的光刻版，迅速找到所需光刻版并使用，避免了来回翻找对光刻版的伤害，提高了生产效率；包装盒设置光刻版存放槽用以存在光刻版，嵌套入存放盒中，能够有效保护各个光刻版不受划伤、脏污的影响，避免由此对光刻版造成的伤害，进一步减少半导体生产过程中不必要的生产成本。
附图说明
18.图1所示为本实用新型的光刻版的存放装置的存放盒的立体结构示意图；
19.图2所示为本实用新型的光刻版的存放装置的存放盒的正视图；
20.图3所示为本实用新型的光刻版的存放装置的存放盒的顶视图；
21.图4所示为本实用新型的光刻版的存放装置的立体结构示意图；
22.图5所示为本实用新型的光刻版的存放装置的包装体的结构示意图；
23.标号说明：1、盒体；2、分隔板；3、底板；4、递进阶梯板；5、包装体；6、标签口；7、提手板；8、光刻版存放槽；9、外壳体。
具体实施方式
24.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
25.本实用新型最关键的构思在于：采用多个盒体形成梯形结构对光刻版进行存储收纳，能够将处在不同工序下的光刻版在同一个存放装置中分开收纳，并且存放装置中设置了分隔板和递进梯形板，使得被容置的光刻版形成高度差，便于工作人员观察，进而快速找到所需光刻版，避免了在取用光刻版时反复拿取对光刻版造成的不必要的脏污或损坏。
26.请参照图1至图5所示，本实用新型的工作原理为：存放盒包括至少两个开口向上的盒体1，所述盒体1固定连接呈阶梯状分布；所述盒体1包括底板3、递进阶梯板4、至少一个分隔板2，所述底板3设置于盒体1底部；每个所述盒体1内由所述底板3与所述盒体1所形成的开口朝上的容置空间相同；所述递进阶梯板4较低一侧与所述底板3边缘相连接，所述递进阶梯板4较高一侧与所述盒体1的连接面相连接；所述分隔板2与所述阶梯板踏面相连接，设置于每个所述阶梯板踏面上方。
27.从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：采用多个盒体1形成阶梯状的存储装置能够更好区分不同工序下的光刻版，各个盒体1之中设置分隔板2和递进阶梯板4能够使同一工序下的光刻版形成一定高度差，使得工作人员能够快速找到所需光刻版，除此之外，采用一体收纳的方式，避免了分开收纳时易产生的污损。容置空间的高度大于光刻板的高度，使得光刻版可以被完整保护在存放盒中。
28.进一步的，递进阶梯板4的坡度为25
°
。
29.从上述描述可知，当递进阶梯板4的坡度为25
°
，能够使被容置的光刻版呈阶梯状分布，并且存放盒结构稳定，不易因高度过高而导致倾覆。
30.进一步的，包括五个盒体1。
31.从上述描述可知，存放装置可根据晶圆不同道工序设计多层存放单元，主要是mesa、cbl、ito、metel、pv五道工序，将处在这五道工序中的光刻版分别存于不同的盒体1中，进一步提高了工作人员拿取时的效率，所述mesa为台面，指刻蚀出的p型氮化镓平台、cbl(current blocking layer)为电流阻挡层、ito为铟锡氧化物，指透明电流扩展层、metal为金属、pv(plasma vapor deposition)为等离子气相沉积，指表面二氧化硅保护层。
32.进一步的，分隔板2为纵向两排分布。
33.从上述描述可知，分隔板2为纵向两排分布能够为光刻版提供更好支撑，使得光刻版能够直立摆放，使得工作人员更易区分不同光刻版。
34.进一步的，分隔板2的高度不超过盒体1的高度。
35.从上述描述可知，分隔板2设于盒体1内部，用以分隔光刻版，若分隔板2的高度高于盒体1的高度，则易给拿取光刻版造不便，故分隔板2的高度不超过盒体1的高度。
36.进一步的，盒体1还包括凹槽，凹槽设置于每一容置空间的两侧，且高度小于容置空间侧面的高度。
37.从上述描述可知，盒体1侧面设置凹槽，凹槽设置于每一容置空间的两侧，且高度小于容置空间侧面的高度，则工作人员在拿取光刻版时可以考虑从侧面取出，避免从上部拿取引起的不便和视线遮挡。
38.进一步的，存放装置的材质为亚克力塑料板或聚丙烯塑料板。
39.从上述描述可知，本存放装置采用环保材料制成，亚克力塑料板与聚丙烯塑料板均为环保材料，并且能够满足本存放装置的使用要求。
40.进一步的，分隔板2横向设置四排分布。
41.进一步的，分隔板2与底面的坡度为锐角。
42.从上述描述可知，分隔板2和底面的坡度为锐角，则容置的光刻版也为倾斜的，光刻版顶侧的观察面积更大，更易于工作人员辨认区别不同光刻版。
43.进一步的，存放装置还包括包装体5，包装体5包括光刻版存放槽8、标签口6、手提板7、外壳体9，手提板7和外壳体9上下连接，标签口6设置于手提板7上，光刻版存放槽8设置于外壳体9上，标签口6与光刻版存放槽8同侧设置，所述光刻板存放槽低于所述存放盒，所述存放盒低于所述标签口6。
44.从上述描述可知，存放装置还包括包装体5，包装体5能够避免光刻版在存放盒中由于没有外保护而因积灰等问题造成的脏污。设置光刻版存放槽8，避免光刻版直接与存放盒表面接触造成不必要的划伤。设置标签口6，用以存放光刻版的信息，便于工作人员快速识别所需光刻版。
45.进一步的，包装体5嵌套入存放盒的容置空间中使用，标签口6朝向递进阶梯板4较低一侧。
46.从上述描述可知，包装体5与存放盒配套使用，形成双重保护，更好的保护光刻版。标签口6朝向递进阶梯板4较低一侧，便于工作人员观察标签，从而区别光刻版。
47.应用场景：生产半导体过程中，不同工序中需要频繁取用光刻版时。
48.实施例一
49.请参照图1至图5所示，本实用新型的实施例一为：一种光刻版存取装置，包括存放盒和包装体5，材质为亚克力塑料板。存放盒由五个盒体1组成，盒体1之间依次固定连接呈递进阶梯状，递进阶梯的坡度为25
°
，所有盒体1的长均为15厘米，宽均为10厘米，盒体1从低到高的高度分别为10厘米、12厘米、14厘米、16厘米和18厘米，从高至低分别存放mesa、cbl、ito、metel、pv五道不同工序中的光刻版，盒体1包括底板3、递进阶梯板4与8块分隔板2，8块分隔板2呈两排纵向分布，所述底板3设置于盒体1底部，每个所述盒体1内由所述底板3与所述盒体1所形成的开口朝上的容置空间相同；所述递进阶梯板4较低一侧与所述底板3边缘相连接，所述递进阶梯板4较高一侧与所述盒体1的连接面相连接；所述分隔板2与所述阶梯板踏面相连接，设置于每个所述阶梯板踏面上方。包装体5包括光刻版存放槽8、标签口6、手提板7、外壳体9，手提板7和外壳体9上下连接，标签口6设置于手提板7上，光刻版存放槽8设置于外壳体9上，标签口6与光刻版存放槽8同侧设置，包装体5嵌套入存放盒的容置空间中，标签口6朝向递进阶梯板4较低一侧，所述光刻板存放槽低于所述存放盒，所述存放盒低于所述标签口6。所述分隔板2与底面的坡度为90
°
。
50.实施例2
51.请参照图1至图5所示，本实用新型的实施例一为：一种光刻版存取装置，包括存放盒和包装体5，材质为亚克力塑料板。存放盒由五个盒体1组成，盒体1之间依次固定连接呈递进阶梯状，递进阶梯的坡度为25
°
，所有盒体1的长均为15厘米，宽均为10厘米，盒体1从低到高的高度分别为10厘米、12厘米、14厘米、16厘米和18厘米，从高至低分别存放mesa、cbl、ito、metel、pv五道不同工序中的光刻版，盒体1包括底板3、递进阶梯板4与8块分隔板2，8块分隔板2呈两排纵向分布，所述底板3设置于盒体1底部，每个所述盒体1内由所述底板3与所述盒体1所形成的开口朝上的容置空间相同；所述递进阶梯板4较低一侧与所述底板3边缘相连接，所述递进阶梯板4较高一侧与所述盒体1的连接面相连接；所述分隔板2与所述阶梯板踏面相连接，设置于每个所述阶梯板踏面上方。包装体5包括光刻版存放槽8、标签口6、手提板7、外壳体9，手提板7和外壳体9上下连接，标签口6设置于手提板7上，光刻版存放槽8设置于外壳体9上，标签口6与光刻版存放槽8同侧设置，包装体5嵌套入存放盒的容置空间中，标签口6朝向递进阶梯板4较低一侧，所述光刻板存放槽低于所述存放盒，所述存放盒低于所述标签口6。所述分隔板2与底面的坡度为60
°
。
52.以上仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。