一种小型MO源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置的制作方法

一种小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置
技术领域
1.本实用新型属于mo源钢瓶领域，具体涉及一种小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置。


背景技术：

2.mo源钢瓶作为一种用于封装超纯化合物（具体可以为液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等）的封装容器，它能够很好地避免超纯化合物输送面临的复杂性问题。
3.具体来说， 在mo源的一些特定应用场合中，例如在半导体的ald设备在应用mo源时需要设置大量的mo源取样节点，为了节约安装体积，通常会采用仅设有单出口的小型mo源钢瓶，然而在实际操作时，会发现这类设有单出口的小型mo源钢瓶在灌装以及清洗时的操作非常不便。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置，采用简单结构实现了便捷式气液体置换效果，既能实现便捷灌装也能利用双通道结构进行快速清洗维护，而且本技术的安装体积小，适合取代现有的单出口式小型mo源钢瓶进行规模推广应用。
5.本实用新型采用的技术方案如下：
6.一种小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置，包括呈竖直状插装在小型mo源取样钢瓶上端部且与钢瓶内腔连通的第一管体，所述第一管体的上端安装连接设有第一接口的第一变径接头，所述第一管体的外周套设有与钢瓶内腔连通的所述第二管体，所述第二管体的上端部通过第二变径接头与所述第一变径接头的底部密封接触配合，其中，同时所述第二变径接头包括套设在所述第一管体的外周的第二接头管体部以及与所述第二接头管体部联通的第二接口；所述第一接口的中心线与所述第一管体的中心线重合，且所述第二接口的中心线与所述第一管体的中心线垂直。
7.优选地，所述第二管体包括与所述第二接头管体部密封安装配合的上管体段以及与所述小型mo源取样钢瓶上端部密封安装配合的下管体段，所述上管体段与所述下管体段密封安装为一体。
8.优选地，所述上管体段设有母接头，所述下管体段设有公接头，所述母接头与所述公接头密封安装为一体。
9.优选地，所述第一接口的口径和所述第二接口的口径相同，且所述第一接口的口径大于所述第一管体的内径且小于所述第二管体的内径。
10.优选地，所述第一变径接头包括呈变径连接的第一接头内径部和第二接头内径部，所述第一接头内径部与所述第一接口连接，所述第二接头内径部与所述第一管体连接，所述第一接头内径部的内径大于所述第一接口的口径，所述第二接头内径部的内径等于所
述第一管体的内径。
11.优选地，所述第二接头管体部的内径等于所述第二管体的内径。
12.优选地，所述小型mo源取样钢瓶在其顶部设有插接口，所述第一管体贯穿所述插接口延伸至所述钢瓶内腔，同时所述第二管体插装在所述插接口内与其密封安装配合。
13.优选地，所述第一变径接头通过所述第一管体与所述钢瓶内腔连通形成第一通路，所述第二变径接头通过所述第二管体与所述钢瓶内腔连通形成第二通路；当所述第一通路作为mo源液体注入通道时，所述第二通路作为mo源气体取样通道；当所述第二通路作为mo源液体注入通道时，所述第一通路作为mo源气体取样通道。
14.优选地，所述小型mo源取样钢瓶的内腔体积不大于5l。
15.本技术在小型mo源取样钢瓶上设置了具有双通路结构，具体包括：由依次连通的第一接口、第一变径接头、第一管体与钢瓶内腔组成的第一通路，由依次连通的第二接口、第二变径接头、第二管体与钢瓶内腔组成的第二通路，通过该简易式结构设计实现了双通路的结构设计，在实际使用时，当第一通路作为mo源液体注入通道时，第二通路作为mo源气体取样通道；当第二通路作为mo源液体注入通道时，第一通路作为mo源气体取样通道，因此本技术采用简单结构实现了便捷式气液体置换效果，既能实现便捷灌装也能利用双通道结构进行快速清洗维护，而且本技术的安装体积小，适合取代现有的单出口式小型mo源钢瓶进行规模推广应用。
附图说明
16.图1是本技术具体实施方式下小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置的结构示意图；
17.图2是图1隐藏了小型mo源取样钢瓶的结构示意图；
18.图3是图2中a处结构放大图。
具体实施方式
19.本实用新型实施例公开了一种小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置，包括呈竖直状插装在小型mo源取样钢瓶上端部且与钢瓶内腔连通的第一管体，第一管体的上端安装连接设有第一接口的第一变径接头，第一管体的外周套设有与钢瓶内腔连通的第二管体，第二管体的上端部通过第二变径接头与第一变径接头的底部密封接触配合，其中，同时第二变径接头包括套设在第一管体的外周的第二接头管体部以及与第二接头管体部联通的第二接口；第一接口的中心线与第一管体的中心线重合，且第二接口的中心线与第一管体的中心线垂直。
20.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
21.请参见图1、图2和图3所示，一种小型mo源取样钢瓶的便捷式气液体置换装置，包括呈竖直状插装在小型mo源取样钢瓶1上端部且与钢瓶内腔11连通的第一管体21，第一管
体21的上端安装连接设有第一接口23的第一变径接头22，第一管体21的外周套设有与钢瓶内腔11连通的第二管体31，第二管体31的上端部通过第二变径接头32与第一变径接头22的底部密封接触配合，其中，同时第二变径接头32包括套设在第一管体21的外周的第二接头管体部32a以及与第二接头管体部32a联通的第二接口32b；第一接口23的中心线与第一管体21的中心线重合，且第二接口32b的中心线与第一管体21的中心线垂直。
22.优选地，在本实施方式中，小型mo源取样钢瓶1在其顶部设有插接口12，第一管体21贯穿插接口12延伸至钢瓶内腔11，同时第二管体31插装在插接口12内与其密封安装配合。
23.在本实施方式中，第一变径接头22通过第一管体21与钢瓶内腔11连通形成第一通路，第二变径接头32通过第二管体31与钢瓶内腔11连通形成第二通路；当第一通路作为mo源液体注入通道时，第二通路作为mo源气体取样通道；当第二通路作为mo源液体注入通道时，第一通路作为mo源气体取样通道。
24.优选地，在本实施方式中，小型mo源取样钢瓶1的内腔11体积建议不大于5l，实现对小型mo源取样钢瓶1的高效取样以及便捷式灌装、清洗效果。
25.优选地，为了便于装配和拆装维护，在本实施方式中，第二管体31包括与第二接头管体部32a密封安装配合的上管体段31a以及与小型mo源取样钢瓶1上端部密封安装配合的下管体段31b，上管体段31a与下管体段31b密封安装为一体；优选地，为了利于密封安装效果，在本实施方式中，上管体段31a设有母接头33a，下管体段31b设有公接头33b，母接头33a与公接头33b密封安装为一体。
26.优选地，为了同时确保密封安装效果以及获得更为高效的气液体置换效果，在本实施方式，第一接口23的口径和第二接口32b的口径相同，且第一接口23的口径大于第一管体21的内径且小于第二管体31的内径；第一变径接头22包括呈变径连接的第一接头内径部22a和第二接头内径部22b，第一接头内径部22a与第一接口23连接，第二接头内径部22b与第一管体21连接，第一接头内径部22a的内径大于第一接口23的口径，第二接头内径部22b的内径等于第一管体21的内径；第二接头管体部32a的内径等于第二管体31的内径；具体优选地，在本实施方式中，第一接口23的口径、第二接口32b的口径均采用3/8英寸规格，第一管体21的内径规格采用1/4英寸规格，第二管体31的内径规格采用1/2英寸规格。
27.本实施例在小型mo源取样钢瓶上设置了具有双通路结构，具体包括：由依次连通的第一接口23、第一变径接头22、第一管体21与钢瓶内腔11组成的第一通路，由依次连通的第二接口32b、第二变径接头32、第二管体31与钢瓶内腔11组成的第二通路，通过该简易式结构设计实现了双通路的结构设计，在实际使用时，当第一通路作为mo源液体注入通道时，第二通路作为mo源气体取样通道；当第二通路作为mo源液体注入通道时，第一通路作为mo源气体取样通道；本实施例采用简单结构实现了便捷式气液体置换效果，既能实现便捷灌装也能利用双通道结构进行快速清洗维护，而且本实施例的安装体积小，适合取代现有的单出口式小型mo源钢瓶1进行规模推广应用。
28.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含
义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
29.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。