一种晶圆上下料装置的制作方法

本技术涉及晶圆制备，尤其涉及一种晶圆上下料装置。

背景技术：

1、在晶圆制备过程中，晶圆切割在晶圆的封装过程中不可或缺。为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤，事先会在晶圆上贴敷上一层保护膜，以保证更安全的晶圆切割效果。

2、现有技术中，在保护膜的贴附过程中，可使用自动上下料装置来完成晶圆的上下料。但是，如果对晶圆的暂时存放不当，则会损坏晶圆，造成材料损耗，降低贴膜质量和贴膜效率。

3、因此，亟需提供一种晶圆上下料装置，以解决上述问题。

技术实现思路

1、基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种晶圆上下料装置，以解决因对晶圆的暂时存放不当而导致的损坏晶圆、造成材料损耗等问题。

2、为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种晶圆上下料装置，包括：

4、支撑单元，其包括支撑架和支撑平台，所述支撑平台可抽拉地设置于所述支撑架上；

5、储料单元，其包括储料仓，所述储料仓安装于所述支撑平台上，所述储料仓上设置有多个卡槽，所述卡槽被配置为限位晶圆；

6、上下料单元，其包括吸盘，所述吸盘能够吸取所述晶圆，所述吸盘相对所述支撑架可水平移动、可升降、可转动设置，以带动所述晶圆在所述储料仓和放料台的放料位之间移动。

7、进一步地，多个所述卡槽沿竖直方向间隔设置于所述储料仓内。

8、进一步地，所述支撑单元还包括检测组件，所述检测组件设置于所述支撑架上，所述检测组件能够检测所述储料仓内的物料状态。

9、进一步地，所述检测组件包括传感器，所述传感器安装于所述支撑架上，所述传感器能够检测所述储料仓内的物料状态。

10、进一步地，所述检测组件还包括感应支架，所述感应支架安装于所述支撑架上，所述传感器安装于所述感应支架上。

11、进一步地，所述支撑平台包括平台本体和滑轨，所述平台本体的两侧各设置有所述滑轨，所述储料仓安装于所述平台本体上，所述滑轨可滑动地设置于所述支撑架上。

12、进一步地，所述上下料单元包括吸盘组件，所述吸盘组件包括转座和所述吸盘，所述转座相对所述支撑架可水平移动、可升降、可转动设置，所述吸盘与所述转座连接。

13、进一步地，所述上下料单元还包括升降组件，所述升降组件包括升降座，所述升降座相对所述支撑架可水平移动、可升降设置，所述转座可转动地设置于所述升降座上。

14、进一步地，所述上下料单元还包括水平组件，所述水平组件包括水平座，所述水平座相对所述支撑架可水平移动设置，所述升降座可升降地设置于所述水平座上。

15、进一步地，所述升降组件还包括丝杠和丝母，所述丝杠可转动地设置于所述水平座上，所述丝杠和所述丝母螺纹连接，所述丝母可相对所述水平座升降，所述升降座与所述丝母连接。

16、本实用新型的有益效果为：

17、本实用新型提供的晶圆上下料装置包括支撑单元、储料单元和上下料单元，支撑单元包括支撑架和支撑平台，支撑平台可抽拉地设置于支撑架上，储料单元包括储料仓，储料仓安装于支撑平台上，储料仓上设置有多个卡槽，卡槽被配置为限位晶圆，上下料单元包括吸盘，吸盘能够吸取晶圆，吸盘相对支撑架可水平移动、可升降、可转动设置，以带动晶圆在储料仓和放料台的放料位之间移动。通过抽拉支撑平台，便于将储料仓放置于支撑架上；通过卡槽将晶圆限位于储料仓内，便于存放晶圆，降低晶圆的损坏率，减少材料损耗，提高贴膜质量和贴膜效率。

技术特征：

1.一种晶圆上下料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置，其特征在于，多个所述卡槽(211)沿竖直方向间隔设置于所述储料仓(21)内。

3.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述支撑单元(1)还包括检测组件(13)，所述检测组件(13)设置于所述支撑架(11)上，所述检测组件(13)能够检测所述储料仓(21)内的物料状态。

4.根据权利要求3所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述检测组件(13)包括传感器(131)，所述传感器(131)安装于所述支撑架(11)上，所述传感器(131)能够检测所述储料仓(21)内的物料状态。

5.根据权利要求4所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述检测组件(13)还包括感应支架(132)，所述感应支架(132)安装于所述支撑架(11)上，所述传感器(131)安装于所述感应支架(132)上。

6.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述支撑平台(12)包括平台本体(121)和滑轨(122)，所述平台本体(121)的两侧各设置有所述滑轨(122)，所述储料仓(21)安装于所述平台本体(121)上，所述滑轨(122)可滑动地设置于所述支撑架(11)上。

7.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述上下料单元(3)包括吸盘组件(31)，所述吸盘组件(31)包括转座(312)和所述吸盘(311)，所述转座(312)相对所述支撑架(11)可水平移动、可升降、可转动设置，所述吸盘(311)与所述转座(312)连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述上下料单元(3)还包括升降组件(32)，所述升降组件(32)包括升降座(321)，所述升降座(321)相对所述支撑架(11)可水平移动、可升降设置，所述转座(312)可转动地设置于所述升降座(321)上。

9.根据权利要求8所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述上下料单元(3)还包括水平组件(33)，所述水平组件(33)包括水平座(331)，所述水平座(331)相对所述支撑架(11)可水平移动设置，所述升降座(321)可升降地设置于所述水平座(331)上。

10.根据权利要求9所述的晶圆上下料装置，其特征在于，所述升降组件(32)还包括丝杠(323)和丝母(324)，所述丝杠(323)可转动地设置于所述水平座(331)上，所述丝杠(323)和所述丝母(324)螺纹连接，所述丝母(324)可相对所述水平座(331)升降，所述升降座(321)与所述丝母(324)连接。

技术总结
本技术涉及晶圆制备技术领域，公开一种晶圆上下料装置。所述晶圆上下料装置包括支撑单元、储料单元和上下料单元，支撑单元包括支撑架和支撑平台，支撑平台可抽拉地设置于支撑架上，储料单元包括储料仓，储料仓安装于支撑平台上，储料仓上设置有多个卡槽，卡槽被配置为限位晶圆，上下料单元包括吸盘，吸盘能够吸取晶圆，吸盘相对支撑架可水平移动、可升降、可转动设置，以带动晶圆在储料仓和放料台的放料位之间移动。通过抽拉支撑平台，便于将储料仓放置于支撑架上；通过卡槽将晶圆限位于储料仓内，便于存放晶圆，降低晶圆的损坏率，减少材料损耗，提高贴膜质量和贴膜效率。

技术研发人员：高军鹏,吴天才,陈涛
受保护的技术使用者：中山市易天自动化设备有限公司
技术研发日：20221224
技术公布日：2024/1/12