一种晶圆上下料装置的制作方法

文档序号:34298366发布日期:2023-05-28 01:34阅读:109来源:国知局
一种晶圆上下料装置的制作方法

本技术涉及晶圆制备,尤其涉及一种晶圆上下料装置。


背景技术:

1、在晶圆制备过程中,晶圆切割在晶圆的封装过程中不可或缺。为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤,事先会在晶圆上贴敷上一层保护膜,以保证更安全的晶圆切割效果。

2、现有技术中,在保护膜的贴附过程中,可使用自动上下料装置来完成晶圆的上下料。但是,如果对晶圆的暂时存放不当,则会损坏晶圆,造成材料损耗,降低贴膜质量和贴膜效率。

3、因此,亟需提供一种晶圆上下料装置,以解决上述问题。


技术实现思路

1、基于以上所述,本实用新型的目的在于提供一种晶圆上下料装置,以解决因对晶圆的暂时存放不当而导致的损坏晶圆、造成材料损耗等问题。

2、为达上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

3、一种晶圆上下料装置,包括:

4、支撑单元,其包括支撑架和支撑平台,所述支撑平台可抽拉地设置于所述支撑架上;

5、储料单元,其包括储料仓,所述储料仓安装于所述支撑平台上,所述储料仓上设置有多个卡槽,所述卡槽被配置为限位晶圆;

6、上下料单元,其包括吸盘,所述吸盘能够吸取所述晶圆,所述吸盘相对所述支撑架可水平移动、可升降、可转动设置,以带动所述晶圆在所述储料仓和放料台的放料位之间移动。

7、进一步地,多个所述卡槽沿竖直方向间隔设置于所述储料仓内。

8、进一步地,所述支撑单元还包括检测组件,所述检测组件设置于所述支撑架上,所述检测组件能够检测所述储料仓内的物料状态。

9、进一步地,所述检测组件包括传感器,所述传感器安装于所述支撑架上,所述传感器能够检测所述储料仓内的物料状态。

10、进一步地,所述检测组件还包括感应支架,所述感应支架安装于所述支撑架上,所述传感器安装于所述感应支架上。

11、进一步地,所述支撑平台包括平台本体和滑轨,所述平台本体的两侧各设置有所述滑轨,所述储料仓安装于所述平台本体上,所述滑轨可滑动地设置于所述支撑架上。

12、进一步地,所述上下料单元包括吸盘组件,所述吸盘组件包括转座和所述吸盘,所述转座相对所述支撑架可水平移动、可升降、可转动设置,所述吸盘与所述转座连接。

13、进一步地,所述上下料单元还包括升降组件,所述升降组件包括升降座,所述升降座相对所述支撑架可水平移动、可升降设置,所述转座可转动地设置于所述升降座上。

14、进一步地,所述上下料单元还包括水平组件,所述水平组件包括水平座,所述水平座相对所述支撑架可水平移动设置,所述升降座可升降地设置于所述水平座上。

15、进一步地,所述升降组件还包括丝杠和丝母,所述丝杠可转动地设置于所述水平座上,所述丝杠和所述丝母螺纹连接,所述丝母可相对所述水平座升降,所述升降座与所述丝母连接。

16、本实用新型的有益效果为:

17、本实用新型提供的晶圆上下料装置包括支撑单元、储料单元和上下料单元,支撑单元包括支撑架和支撑平台,支撑平台可抽拉地设置于支撑架上,储料单元包括储料仓,储料仓安装于支撑平台上,储料仓上设置有多个卡槽,卡槽被配置为限位晶圆,上下料单元包括吸盘,吸盘能够吸取晶圆,吸盘相对支撑架可水平移动、可升降、可转动设置,以带动晶圆在储料仓和放料台的放料位之间移动。通过抽拉支撑平台,便于将储料仓放置于支撑架上;通过卡槽将晶圆限位于储料仓内,便于存放晶圆,降低晶圆的损坏率,减少材料损耗,提高贴膜质量和贴膜效率。



技术特征:

1.一种晶圆上下料装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置,其特征在于,多个所述卡槽(211)沿竖直方向间隔设置于所述储料仓(21)内。

3.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述支撑单元(1)还包括检测组件(13),所述检测组件(13)设置于所述支撑架(11)上,所述检测组件(13)能够检测所述储料仓(21)内的物料状态。

4.根据权利要求3所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述检测组件(13)包括传感器(131),所述传感器(131)安装于所述支撑架(11)上,所述传感器(131)能够检测所述储料仓(21)内的物料状态。

5.根据权利要求4所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述检测组件(13)还包括感应支架(132),所述感应支架(132)安装于所述支撑架(11)上,所述传感器(131)安装于所述感应支架(132)上。

6.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述支撑平台(12)包括平台本体(121)和滑轨(122),所述平台本体(121)的两侧各设置有所述滑轨(122),所述储料仓(21)安装于所述平台本体(121)上,所述滑轨(122)可滑动地设置于所述支撑架(11)上。

7.根据权利要求1所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述上下料单元(3)包括吸盘组件(31),所述吸盘组件(31)包括转座(312)和所述吸盘(311),所述转座(312)相对所述支撑架(11)可水平移动、可升降、可转动设置,所述吸盘(311)与所述转座(312)连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述上下料单元(3)还包括升降组件(32),所述升降组件(32)包括升降座(321),所述升降座(321)相对所述支撑架(11)可水平移动、可升降设置,所述转座(312)可转动地设置于所述升降座(321)上。

9.根据权利要求8所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述上下料单元(3)还包括水平组件(33),所述水平组件(33)包括水平座(331),所述水平座(331)相对所述支撑架(11)可水平移动设置,所述升降座(321)可升降地设置于所述水平座(331)上。

10.根据权利要求9所述的晶圆上下料装置,其特征在于,所述升降组件(32)还包括丝杠(323)和丝母(324),所述丝杠(323)可转动地设置于所述水平座(331)上,所述丝杠(323)和所述丝母(324)螺纹连接,所述丝母(324)可相对所述水平座(331)升降,所述升降座(321)与所述丝母(324)连接。


技术总结
本技术涉及晶圆制备技术领域,公开一种晶圆上下料装置。所述晶圆上下料装置包括支撑单元、储料单元和上下料单元,支撑单元包括支撑架和支撑平台,支撑平台可抽拉地设置于支撑架上,储料单元包括储料仓,储料仓安装于支撑平台上,储料仓上设置有多个卡槽,卡槽被配置为限位晶圆,上下料单元包括吸盘,吸盘能够吸取晶圆,吸盘相对支撑架可水平移动、可升降、可转动设置,以带动晶圆在储料仓和放料台的放料位之间移动。通过抽拉支撑平台,便于将储料仓放置于支撑架上;通过卡槽将晶圆限位于储料仓内,便于存放晶圆,降低晶圆的损坏率,减少材料损耗,提高贴膜质量和贴膜效率。

技术研发人员:高军鹏,吴天才,陈涛
受保护的技术使用者:中山市易天自动化设备有限公司
技术研发日:20221224
技术公布日:2024/1/12
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