一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置的制作方法

本技术属于半导体器件制造，尤其涉及一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置。

背景技术：

1、半导体制造行业中，晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片，其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆的加工制造过程中，对于污染物的管控尤其重要，因为污染物往往会造成晶圆的缺陷。因此，为减少晶圆受到外部环境中粉尘等污染物的影响，通常需使用晶圆盒包装机将晶圆包装以进行存储。

2、目前的晶圆包装基本都采用人工包装，整个包装过程包括包装袋整形并放入晶圆运输盒、对包装袋进行热真空热封、包装袋再整形、包装袋表面缠绕胶带和贴标签等步骤；其中，现有的晶圆在进行包装的时候，首先要对包装袋进行对应的切割与定位，现有的方式为将包装袋传动到指定的位置，然后人工操作完成切割定位。但是，由于现有的定位装置人工操作容易出现误差，人工操作的工作量大，人为误差多，从而导致了生产效率降低等问题。

3、因此，本申请设计了一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置来解决上述的技术问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，包括：

3、机体框架，所述机体框架的底端设有用于升降调节的升降组件；

4、若干滚轮，若干滚轮分成两组，并分别对称布置在所述机体框架顶端两侧，用于支撑包装袋；每一侧的若干所述滚轮等间距布置；

5、驱动机构，包括安装在所述机体框架内腔底端的驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过磁性传动组件与所述滚轮传动连接；

6、定位杆，所述定位杆设在所述机体框架的顶端，所述定位杆的顶端高于所述滚轮的顶面。

7、优选的，所述磁性传动组件包括与所述驱动电机的输出端传动连接的第一传动杆，所述第一传动杆的两端分别与纵向设置的第二传动杆传动连接，所述第二传动与转动连接在所述机体框架上的第三传动杆传动连接，所述第三传动杆分别与所述滚轮传动连接。

8、优选的，所述驱动电机与所述第一传动杆、所述第二传动杆与所述第一传动杆、所述第三传动杆与所述第二传动杆之间分别通过主动磁力轮和从动磁力轮传动连接，所述主动磁力轮与所述从动磁力轮垂直传动。

9、优选的，所述第三传动杆上设置有若干与所述滚轮对应设置的所述主动磁力轮，所述主动磁力轮通过设置有所述从动磁力轮的第四传动杆与所述滚轮传动连接。

10、优选的，所述滚轮的中心固接有固定轴，所述固定轴与所述机体框架顶端的安装座转动连接；所述固定轴远离所述滚轮的一端固接有所述从动磁力轮，所述从动磁力轮与设在第四传动杆顶端的所述主动磁力轮传动连接。

11、优选的，位于所述机体框架同一侧的若干所述滚轮与所述第三传动杆的轴向平行布置。

12、优选的，所述滚轮的转动方向沿所述第一传动杆与所述第三传动杆的中轴的夹角中线方向设置。

13、优选的，所述升降组件包括安装在所述机体框架底端的顶升气缸，所述顶升气缸远离所述机体框架的一固接有用于对接其他结构的安装板。

14、与现有技术相比，本实用新型具有如下优点和技术效果：本实用新型在使用时，需要定位的晶圆盒包装袋被生产线传送到本装置上，落到滚轮上，转动的滚轮带动包装袋沿相同方向移动继续向前，在向前的过程中包装袋被滚轮带动对中定位，同时高出滚轮的定位杆对包装袋进行限位，防止包装袋脱离，实现晶圆盒包装袋的自动定位，定位的精准性好，生产效率高；升降组件可以实现机体框架的升降运动，便于其他结构的对接应用，可用于晶圆盒包装袋的转移和定位，机械结构简单，方便操作，提升效率；通过磁性传动组件将驱动电机的动力传递给滚轮，传动效率高，功率损耗低，噪音小，传动部件磨损产生的粉尘少，保证了包装袋的洁净度。

15、本实用新型结构简单、使用方便、传动效率高，磨损率低，对生产环境的影响小，实现了包装袋的自动定位，提高了生产效率，降低了人工固定位导致的失误，节约了人力成本，便于提高生产效益。

技术特征：

1.一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：所述磁性传动组件包括与所述驱动电机(4)的输出端传动连接的第一传动杆(6)，所述第一传动杆(6)的两端分别与纵向设置的第二传动杆(7)传动连接，所述第二传动与转动连接在所述机体框架(1)上的第三传动杆(8)传动连接，所述第三传动杆(8)分别与所述滚轮(2)传动连接。

3.根据权利要求2所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：所述驱动电机(4)与所述第一传动杆(6)、所述第二传动杆(7)与所述第一传动杆(6)、所述第三传动杆(8)与所述第二传动杆(7)之间分别通过主动磁力轮(9)和从动磁力轮(10)传动连接，所述主动磁力轮(9)与所述从动磁力轮(10)垂直传动。

4.根据权利要求3所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：所述第三传动杆(8)上设置有若干与所述滚轮(2)对应设置的所述主动磁力轮(9)，所述主动磁力轮(9)通过设置有所述从动磁力轮(10)的第四传动杆(11)与所述滚轮(2)传动连接。

5.根据权利要求4所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：所述滚轮(2)的中心固接有固定轴(12)，所述固定轴(12)与所述机体框架(1)顶端的安装座(13)转动连接；所述固定轴(12)远离所述滚轮(2)的一端固接有所述从动磁力轮(10)，所述从动磁力轮(10)与设在第四传动杆(11)顶端的所述主动磁力轮(9)传动连接。

6.根据权利要求2所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：位于所述机体框架(1)同一侧的若干所述滚轮(2)与所述第三传动杆(8)的轴向平行布置。

7.根据权利要求5所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：所述滚轮(2)的转动方向沿所述第一传动杆(6)与所述第三传动杆(8)的中轴的夹角中线方向设置。

8.根据权利要求1所述的磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，其特征在于：所述升降组件包括安装在所述机体框架(1)底端的顶升气缸(14)，所述顶升气缸(14)远离所述机体框架(1)的一固接有用于对接其他结构的安装板(15)。

技术总结
本技术公开一种磁力轮传动的晶圆盒包装袋定位装置，包括：机体框架，机体框架的底端设有用于升降调节的升降组件；若干滚轮，若干滚轮分成两组，并分别对称布置在机体框架顶端两侧，用于支撑包装袋；每一侧的若干滚轮等间距布置；驱动机构，包括安装在机体框架内腔底端的驱动电机，驱动电机的输出轴通过磁性传动组件与滚轮传动连接；定位杆，定位杆设在机体框架的顶端，定位杆的顶端高于滚轮的顶面。本技术结构简单、使用方便、传动效率高，磨损率低，对生产环境的影响小，实现了包装袋的自动定位，提高了生产效率，降低了人工固定位导致的失误，节约了人力成本，便于提高生产效益。

技术研发人员：任潮群,陈泳,韦国强,崔建敏,崔国江,杨冬野
受保护的技术使用者：苏州芯慧联半导体科技有限公司
技术研发日：20230727
技术公布日：2024/1/5